JP2009249192A - 4H−SiC単結晶の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】Si融液を溶媒とし、これにCを溶解させた溶液から4H−SiC種結晶上に4H−SiC単結晶を成長させる方法において、
上記溶媒として、Si融液にTiとAl、Sn、Geのいずれか1種である元素Xとを添加したSi−Ti−X3元溶媒を用い、4H−SiC種結晶のSi面上に、1780℃以上の成長温度で4H−SiC単結晶を成長させることを特徴とする4H−SiC単結晶の製造方法。
【選択図】図1
Description
上記溶媒として、Si融液にTiとAl、Sn、Geのいずれか1種である元素Xとを添加したSi−Ti−X3元溶媒を用い、4H−SiC種結晶のSi面上に、1780℃以上の成長温度で4H−SiC単結晶を成長させることを特徴とする4H−SiC単結晶の製造方法が提供される。
Si−Ti−X(X=Al、Sn、Geのいずれか1種)の3元溶媒を用いたことにより、Ti添加によるC溶解量の増加により実用的な成長速度を得ると同時に、Al、Sn、Geの界面活性化作用により多結晶化や混晶化を防止して平坦成長を助長する。
しかし、本発明者は種々の実験を行なった結果、本発明の溶媒のようにTiを添加した溶媒組成では、種結晶であるSiC種結晶の成長面ポラリティーも平坦成長に大きく影響することを新規に見出した。SiC単結晶はSi面とC面とが交互に繰返し積層した結晶構造を持っていることは良く知られている。4H−SiC単結晶を種結晶として4H−SiC単結晶を成長させる場合に特有の現象として、成長面のポラリティーがSi面でないと平坦成長が確保できない。この現象は、4H−SiC単結晶を種結晶とする場合に特有であり、他の結晶多形、例えば6H−SiC単結晶を種結晶とする場合には、成長面のポラリティーの影響はなく、本発明の溶媒組成を用いて、Si面でもC面でも平坦成長を確保することが可能である。
成長温度を1780℃以上の高温としたことにより複数の結晶多形が混在する混晶化を防止する。種結晶の結晶多形4Hを引き継いで4H−SiC単結晶を成長させるには、成長温度を1780℃以上とする必要がある。1780℃より低い温度で成長させると、種結晶の結晶多形4Hは引き継がれず、4H−SiC以外の結晶多形(3Cや15Rなど)との混晶が発生する。
(2)種結晶の結晶成長面のポラリティー:Si面
(3)成長温度:1780℃以上
表1に示すように、本発明の上記要件を満たす実施例(試料No.1〜5)は、いずれも良好な平坦成長により4H−SiC単結晶が得られた。
Claims (1)
- Si融液を溶媒とし、これにCを溶解させた溶液から4H−SiC種結晶上に4H−SiC単結晶を成長させる方法において、
上記溶媒として、Si融液にTiとAl、Sn、Geのいずれか1種である元素Xとを添加したSi−Ti−X3元溶媒を用い、4H−SiC種結晶のSi面上に、1780℃以上の成長温度で4H−SiC単結晶を成長させることを特徴とする4H−SiC単結晶の製造方法。
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Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009280436A (ja) * | 2008-05-21 | 2009-12-03 | Toyota Motor Corp | 炭化珪素単結晶薄膜の製造方法 |
WO2014034080A1 (ja) * | 2012-08-26 | 2014-03-06 | 国立大学法人名古屋大学 | 3C-SiC単結晶およびその製造方法 |
WO2014136903A1 (ja) * | 2013-03-08 | 2014-09-12 | 日立化成株式会社 | 炭化珪素単結晶の製造方法 |
CN106337205A (zh) * | 2015-07-09 | 2017-01-18 | 丰田自动车株式会社 | SiC单晶及其制造方法 |
JP2017095311A (ja) * | 2015-11-25 | 2017-06-01 | トヨタ自動車株式会社 | SiC単結晶の製造方法 |
KR20180035659A (ko) * | 2016-09-29 | 2018-04-06 | 주식회사 엘지화학 | 실리콘계 용융 조성물 및 이를 이용하는 실리콘카바이드 단결정의 제조 방법 |
KR20180035594A (ko) * | 2016-09-29 | 2018-04-06 | 주식회사 엘지화학 | 실리콘계 용융 조성물 및 이를 이용하는 실리콘카바이드 단결정의 제조 방법 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103088426A (zh) * | 2013-01-23 | 2013-05-08 | 保定科瑞晶体有限公司 | 一种减少碳化硅晶体籽晶生长面缺陷的方法 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002356397A (ja) * | 2001-05-31 | 2002-12-13 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 炭化珪素(SiC)単結晶の製造方法 |
JP2005350324A (ja) * | 2004-06-14 | 2005-12-22 | Toyota Motor Corp | SiC単結晶の製造方法 |
JP2006347852A (ja) * | 2005-06-20 | 2006-12-28 | Toyota Motor Corp | 炭化珪素単結晶の製造方法 |
JP2007039267A (ja) * | 2005-08-02 | 2007-02-15 | Chikao Kimura | 液相成長法 |
JP2007076986A (ja) * | 2005-09-16 | 2007-03-29 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 炭化珪素単結晶の製造方法 |
JP2007131504A (ja) * | 2005-11-14 | 2007-05-31 | Shikusuon:Kk | SiCエピタキシャルウエーハおよびそれを用いた半導体デバイス |
JP2007153719A (ja) * | 2005-12-08 | 2007-06-21 | Toyota Motor Corp | 炭化珪素単結晶の製造方法 |
JP2007277049A (ja) * | 2006-04-07 | 2007-10-25 | Toyota Motor Corp | SiC単結晶の製造方法 |
-
2008
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002356397A (ja) * | 2001-05-31 | 2002-12-13 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 炭化珪素(SiC)単結晶の製造方法 |
JP2005350324A (ja) * | 2004-06-14 | 2005-12-22 | Toyota Motor Corp | SiC単結晶の製造方法 |
JP2006347852A (ja) * | 2005-06-20 | 2006-12-28 | Toyota Motor Corp | 炭化珪素単結晶の製造方法 |
JP2007039267A (ja) * | 2005-08-02 | 2007-02-15 | Chikao Kimura | 液相成長法 |
JP2007076986A (ja) * | 2005-09-16 | 2007-03-29 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 炭化珪素単結晶の製造方法 |
JP2007131504A (ja) * | 2005-11-14 | 2007-05-31 | Shikusuon:Kk | SiCエピタキシャルウエーハおよびそれを用いた半導体デバイス |
JP2007153719A (ja) * | 2005-12-08 | 2007-06-21 | Toyota Motor Corp | 炭化珪素単結晶の製造方法 |
JP2007277049A (ja) * | 2006-04-07 | 2007-10-25 | Toyota Motor Corp | SiC単結晶の製造方法 |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009280436A (ja) * | 2008-05-21 | 2009-12-03 | Toyota Motor Corp | 炭化珪素単結晶薄膜の製造方法 |
WO2014034080A1 (ja) * | 2012-08-26 | 2014-03-06 | 国立大学法人名古屋大学 | 3C-SiC単結晶およびその製造方法 |
JPWO2014034080A1 (ja) * | 2012-08-26 | 2016-08-08 | 国立大学法人名古屋大学 | 3C−SiC単結晶およびその製造方法 |
WO2014136903A1 (ja) * | 2013-03-08 | 2014-09-12 | 日立化成株式会社 | 炭化珪素単結晶の製造方法 |
JPWO2014136903A1 (ja) * | 2013-03-08 | 2017-02-16 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 炭化珪素単結晶の製造方法 |
CN106337205A (zh) * | 2015-07-09 | 2017-01-18 | 丰田自动车株式会社 | SiC单晶及其制造方法 |
JP2017019686A (ja) * | 2015-07-09 | 2017-01-26 | トヨタ自動車株式会社 | SiC単結晶及びその製造方法 |
JP2017095311A (ja) * | 2015-11-25 | 2017-06-01 | トヨタ自動車株式会社 | SiC単結晶の製造方法 |
KR20180035659A (ko) * | 2016-09-29 | 2018-04-06 | 주식회사 엘지화학 | 실리콘계 용융 조성물 및 이를 이용하는 실리콘카바이드 단결정의 제조 방법 |
KR20180035594A (ko) * | 2016-09-29 | 2018-04-06 | 주식회사 엘지화학 | 실리콘계 용융 조성물 및 이를 이용하는 실리콘카바이드 단결정의 제조 방법 |
KR101976122B1 (ko) | 2016-09-29 | 2019-05-07 | 주식회사 엘지화학 | 실리콘계 용융 조성물 및 이를 이용하는 실리콘카바이드 단결정의 제조 방법 |
KR102091629B1 (ko) | 2016-09-29 | 2020-03-20 | 주식회사 엘지화학 | 실리콘계 용융 조성물 및 이를 이용하는 실리콘카바이드 단결정의 제조 방법 |
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