JP2007039267A - 液相成長法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の液相成長法は、イオン化された第1の元素を含むプラズマに直流電流を重畳することにより、基板上(S) に形成される導電性の溶媒(A) に前記プラズマ中のイオン化された第1の元素を供給する工程と、この溶媒に供給された第1の元素と、この溶媒に予め含まれる第2の元素とを反応せしめて溶質を形成する工程と、この形成された溶質を前記溶媒中に形成される温度差と前記溶質の濃度差に基づき前記溶媒(A) 中を移動せしめて、前記溶質の成長層を前記基板(S) の表面に形成せしめる工程とを含んでいる。
【選択図】図1
Description
本発明の基本原理は、従来、ほぼ化学的平衡状態のもとで行われてきた既存の液相エピタキシャル成長機構に、電気エネルギーを導入することによって、大幅な化学的非平衡状態を実現し、その結果、従来に比べてかなり低温・低蒸気圧の実用的な温度範囲で、液相結晶成長可能にしたものである。
2 反応ガス導入管
3 ガス排出管
4,5 導波管
6 導電性の回転台
7 バイアス電極
8 回転シャフト
9 接触子
10 直流電源
11 電動機
12 ガードリング
Claims (8)
- イオン化された第1の元素を含むプラズマに直流電流を重畳することにより、基板上に形成される導電性の溶媒に前記プラズマ中の前記イオン化された第1の元素を供給する工程と、
この溶媒に供給された前記第1の元素と、この溶媒に予め含まれる第2の元素とを反応せしめて溶質を形成する工程と、
この形成された溶質を、前記溶媒中に形成される温度差と前記溶質の濃度差とに基づき前記溶媒中を移動せしめて、前記溶質の成長層を前記基板の表面に形成せしめる工程と
を含むことを特徴とする液相成長法。 - 請求項1において、
前記導電性の溶媒は、金属の第3の元素を含み、この第3の元素が前記溶質の成長層の内部に不純物として取り込まれることを特徴とする液相成長法。 - 請求項1または2のいずれかにおいて、
前記溶媒に予め含まれる第2の元素が、前記プラズマからもこの溶媒に供給されることを特徴とする液相成長法。 - 請求項1乃至3のいずれかにおいて、
前記基板は、水平に保持され、鉛直軸の周りに回転せしめられることを特徴とする液相成長法。 - 請求項1乃至4のいずれかにおいて、
前記溶質は、シリコン・カーバイドであることを特徴とする液相成長法。 - 請求項2乃至5のいずれかにおいて、
前記第1の元素はカーボンであり、前記第2の元素はシリコンであり、前記導電性の溶媒はアルミ・シリコンであることを特徴とする液相成長法。 - 請求項6において、
前記アルミ・シリコン中のアルミニュウム原子が、前記第3の元素による不純物として前記シリコン・カーバイドの成長層の中に取り込まれることを特徴とする液相成長法。 - 請求項5において、
前記導電性の溶媒は鉄系元素とシリコンとを含み、シリコンカーバイドの液相成長層の内部に1015/cc 以下の低濃度の鉄系元素が不純物として取り込まれることを特徴とする液相成長法。
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