JP2009236824A - 加速度センサの構造及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
本発明は、錘部と、前記錘部の周囲を離間して囲む枠部と、前記錘部と前記枠部とを接続する梁部と、前記錘部の垂直上向きの変位を制限する変位制限部及び該変位制限部に接続され、該錘部、前記枠部、前記梁部と離間する可撓部と、を備えたストッパ部とを有することを特徴とする加速度センサを提供する。
【選択図】図1
Description
102 … 第2の基板
103 … 第3の基板
104 … 積層基板
110 … 枠部
111 … 第1の枠部分
112 … 第2の枠部分
113 … 第3の枠部分
120 … 錘部
121 … 第1の錘部分
122 … 第2の錘部分
123 … 第3の錘部分
130 … 梁部
140 … ストッパ部
141 … 変位制限部
142 … 可撓部
143 … 開口部
144 … 接続部
150 … 溝部
151 … 溝部分
160 … 段差
170 … 第2の溝部
Claims (15)
- 錘部と、
前記錘部の周囲を離間して囲む枠部と、
前記錘部と前記枠部とを接続する梁部と、
前記錘部の垂直上向きの変位を制限する変位制限部、及び該変位制限部に接続され、該錘部、前記枠部、前記梁部と離間する可撓部とを備えたストッパ部と
を有することを特徴とする加速度センサ。 - 請求項1に記載の加速度センサにおいて、
前記変位制限部と前記可撓部との接続部分の幅が前記梁部の幅より狭いことを特徴とする加速度センサ。 - 請求項1に記載の加速度センサにおいて、
前記変位制限部と前記可撓部との接合部分に複数の開口部が形成されることを特徴とする加速度センサ。 - 請求項1に記載の加速度センサにおいて、
前記可撓部の面積が前記変位制限部の面積よりも大きいことを特徴とする加速度センサ。 - 錘部と、
前記錘部の周囲を離間して囲む枠部と、
前記錘部と前記枠部とを接続する梁部と、
前記錘部の垂直上向きの変位を制限する変位制限部と、
前記枠部に接続部を介して接続され、該錘部、前記梁部、及び前記変位制限部と離間して該錘部を覆う可撓部と
を備えたことを特徴とする加速度センサ。 - 請求項5に記載の加速度センサにおいて、
前記枠部と前記可撓部との接続部分の幅が前記梁部の幅より狭いことを特徴とする加速度センサ。 - 請求項5に記載の加速度センサにおいて、
前記可撓部の面積が前記変位制限部の面積よりも大きいことを特徴とする加速度センサ。 - 第1の基板、該第1の基板上に設けられた第2の基板、及び該第2の基板上に設けられた第3の基板を有する積層基板に形成された加速度センサであって、
前記第1の基板は、錘部を構成する第1の錘部分と、該第1の錘部分を離間して囲み枠部を構成する第1の枠部分とを分離する第1の溝部を有し、
前記第2の基板は、前記錘部を構成し前記第1の錘部分の一部と接続する第2の錘部分と、該第2の錘部分を離間して囲み前記第1の枠部分と接続するとともに前記枠部を構成する第2の枠部分とを分離する第2の溝部を有し、
前記第3の基板は、前記錘部を構成し前記第2の錘部分と接続する第3の錘部分と、該第3の錘部を離間して囲み前記第2の枠部分と接続するとともに前記枠部を構成する第3の枠部と、該第3の錘部分と該第3の枠部分とを接続する梁部と、前記第3の枠部分から延在し前記第1の錘部分を覆う変位制限部と、該第3の錘部分、該第3の枠部分、及び該梁部から離間されて該変位制限部から延在し該第1の錘部分を覆う可撓部とを画成する第3の溝部を有する
ことを特徴とする加速度センサ。 - 請求項8に記載の加速度センサにおいて、
前記第2の基板はシリコン酸化膜であることを特徴とする加速度センサ。 - 請求項8に記載の加速度センサにおいて、
前記第3の溝部は、前記ストッパと前記可撓部との間に及ぶことを特徴とする加速度センサ。 - 請求項8に記載の加速度センサにおいて、
前記第3の基板は、前記ストッパと前記可撓部との接続部分に開口部が形成されることを特徴とする加速度センサ。 - 第1の基板、該第1の基板上に設けられた第2の基板、及び該第2の基板上に設けられた第3の基板を有する積層基板に形成された加速度センサであって、
前記第1の基板は、錘部を構成する第1の錘部分と、該第1の錘部分を離間して囲み枠部を構成する第1の枠部分とを分離する第1の溝部を有し、
前記第2の基板は、前記錘部を構成し前記第1の錘部分の一部と接続する第2の錘部分と、該第2の錘部分を離間して囲み前記第1の枠部分と接続するとともに前記枠部を構成する第2の枠部分とを分離する第2の溝部を有し、
前記第3の基板は、前記錘部を構成し前記第2の錘部分と接続する第3の錘部分と、該第3の錘部を離間して囲み前記第2の枠部分と接続するとともに前記枠部を構成する第3の枠部と、該第3の錘部分と該第3の枠部分とを接続する梁部と、前記第3の枠部分から延在し前記第1の錘部分を覆う変位制限部と、該第3の錘部分、該梁部、及び該変位制限部から離間されて該第3の枠部分から延在し該第1の錘部分を覆う可撓部とを画成する第3の溝部を有する
ことを特徴とする加速度センサ。 - 請求項12に記載の加速度センサにおいて、
前記第2の基板はシリコン酸化膜であることを特徴とする加速度センサ。 - 第1の基板と、該第1の基板上に配置される第2の基板と、該第2の基板上に配置される第3の基板とからなる積層基板を準備する第1の工程と、
前記第3の基板に、錘部を構成する第3の錘部分と、該第3の錘部分を離間して囲み枠部を構成する第3の枠部分と、該第3の錘部分と該第3の枠部分とを接続する梁部と、該錘部及び該梁部と離間して該第3の枠部分に接続されるストッパ部であって該錘部の変位を制限する変位制限部及び該変位制限部に接続され該錘部、該梁部、及び該枠部から離間して該錘部を覆う可撓部とを有する該ストッパ部と、を画成する第1の溝部を形成する第2の工程と、
前記1の基板に、前記錘部を構成し前記ストッパ部と離間して重なる第1の錘部分と、前記枠部を構成し該第1の錘部分と離間して囲む第1の枠部分と、を画成する第2の溝部を形成する第3の工程と、
前記第2の基板を、前記枠部を構成し前記第1の枠部分と前記第3の枠部分とを接続する第2の枠部分、前記錘部を構成し前記第1の錘部分と第3の錘部分とを接続する第2の錘部分、が形成されるように除去する第4の工程と
を有することを特徴とする加速度センサの製造方法。 - 請求項14に記載の加速度センサの製造方法において、
前記第2の基板はシリコン酸化膜であることを特徴とする加速度センサの製造方法。
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