JP2009212345A - ワークチャック、露光装置及びフラットパネル製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1の吸着領域81a側で仕切り壁811Aと、これに最も近い第1列の突起812Aとの間隔aを、第2の吸着領域81b側で仕切り壁811Aと、これに最も近い第1列の突起812Bとの間隔bより小さくしているので、第1の吸着領域81aにおけるワークの撓み量と、第2の吸着領域81bにおけるワークの撓み量とを近づけることができ、従ってワークが保持面に吸着固定されたときに発生する吸着歪を抑えることにより、ワーク被露光面に露光されるマスクパターンの精度低下や色むら等を抑制することができる。
【選択図】図4
Description
前記ワークを保持する保持面において、前記ワークの中心に近い第1の吸着領域と前記第1の吸着領域に対して前記ワークの中心から離れた側で隣接する第2の吸着領域との境界で前記ワークの裏面に当接する仕切り壁と、前記第1の吸着領域において前記ワークの裏面に当接する複数の第1の突起と、前記第2の吸着領域において前記ワークの裏面に当接する複数の第2の突起とを有し、
前記第1の突起及び前記第2の突起は、前記仕切り壁に沿った列方向と、前記列方向に交差する行方向とに配置されており、
前記ワークを保持した状態で、前記第1の吸着領域内の圧力F1は、前記第2の吸着領域内の圧力F2より小さく、
前記仕切り壁と、前記仕切り壁に最も近い第1列の前記第1の突起との間隔aは、前記仕切り壁と、前記仕切り壁に最も近い第1列の前記第2の突起との間隔b以下であることを特徴とする。
2 ワークステージ
3 照明光学系
4 装置ベース
6 Z軸送り台
7 機構
8 ワークチャック
11 マスクステージベース
12 マスクステージ支持台
13 マスク保持枠
14 マスク位置調整手段
31 高圧水銀ランプ
32 凹面鏡
33a オプチカルインテグレータ
34 露光制御用シャッター
35 平面ミラー
36 平面ミラー
37 曲面ミラー
61 上下粗動装置
62 Z軸粗動ステージ
63 上下微動装置
64 Z軸微動ステージ
71 リニアガイド
72 Y軸送り台
73 駆動装置
74 誤差検出手段
81a 吸着領域
81b 吸着領域
81c 吸着領域
85 フォーク溝
86 正負圧制御装置
88 周縁辺
111 開口
218 突起
631 モータ
632 軸
633 ナット
731 モータ
732 ボールねじ軸
741 ミラー
742 ミラー
743 レーザ干渉計
744 レーザ干渉計
811A〜811C 仕切り壁
812A〜812D 突起
813A〜813D 低部
814C1 正負圧配管
814b〜814d 正負圧配管
815 正負圧孔
861 真空ポンプ
862p ストップバルブ
862v ストップバルブ
863p エアーレギュレータ
863v エアーレギュレータ
864 フィルタ
865 負圧配管路
866 正圧配管路
867C 電磁切換弁
867a ポート電磁切換弁
867b〜867d 電磁切換弁
869 負圧位置
869V 電磁ソレノイド
870 正圧位置
870P 電磁ソレノイド
896 制御装置
L 光路
M マスク
P マスクパターン
P1 入力ポート
P2 入力ポート
P3 出力ポート
S1 スプリング
SB ネジ
VP 吸着領域パターン
W ワーク
WE ワーク被露光面
WS ワーク保持面
WV ワーク被吸着面
Claims (4)
- 露光すべきパターンを有するマスクに対向配置され、被露光材としてのワークを保持することにより、前記ワーク上に前記マスクのパターンを露光する露光装置用のワークチャックにおいて、
前記ワークを保持する保持面において、前記ワークの中心に近い第1の吸着領域と前記第1の吸着領域に対して前記ワークの中心から離れた側で隣接する第2の吸着領域との境界で前記ワークの裏面に当接する仕切り壁と、前記第1の吸着領域において前記ワークの裏面に当接する複数の第1の突起と、前記第2の吸着領域において前記ワークの裏面に当接する複数の第2の突起とを有し、
前記第1の突起及び前記第2の突起は、前記仕切り壁に沿った列方向と、前記列方向に交差する行方向とに配置されており、
前記ワークを保持した状態で、前記第1の吸着領域内の圧力F1は、前記第2の吸着領域内の圧力F2より小さく、
前記仕切り壁と、前記仕切り壁に最も近い第1列の前記第1の突起との間隔aは、前記仕切り壁と、前記仕切り壁に最も近い第1列の前記第2の突起との間隔b以下であることを特徴とするワークチャック。 - 前記第1の吸着領域は、前記第2の吸着領域に囲われていることを特徴とする請求項1に記載のワークチャック。
- 請求項1又は2に記載のワークチャックを用いたことを特徴とする露光装置。
- 請求項1又は2に記載のワークチャックを用いて行うことを特徴とするフラットパネル製造方法。
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