JP2009208330A - 液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ノズル開口の配置レイアウトの自由度を向上させることが可能な液体噴射ヘッド、及び、これを備えた液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル開口１３を開設したノズルプレート４、及び、ノズル開口に連通する圧力発生室８を形成した圧力発生室プレート９を備えた記録ヘッド１において、ノズルプレートと圧力発生室プレートとの間に、圧力発生室とノズル開口とを連通する連通貫通口２４が開設されたノズル連通プレート５を複数設け、この連通貫通口によって１つの圧力発生室に対し複数のノズル開口を連通させる。
【選択図】図２

Description

本発明は、例えば、インクジェット式記録ヘッドなどの液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置に関し、特に、ノズル開口を開設したノズルプレート、及び、ノズル開口に連通する圧力発生室を形成した圧力発生室プレートを備えた液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置に関する。

例えば、インクジェット式記録ヘッド（以下、単に記録ヘッドという）を代表とする液体噴射ヘッドには、リザーバ（液室）から圧力発生室を経てノズル開口に至る一連の液体流路をノズル開口に対応して複数備え、圧力発生手段の駆動によって圧力発生室内の液体に生じた圧力変動を利用してノズル開口からインクなどの液体を噴射（吐出）させるように構成されたものがある。

上記の記録ヘッドでは、記録画像の画質や記録速度の向上に対応するべく複数のノズル開口をより高密度に配置することが望ましい。しかしながら、ノズル開口の高密度化を図ろうとすると、必然的に圧力発生室の形成ピッチを小さくする必要がある。圧力発生室の形成ピッチを小さくすると、これに伴って圧力発生室同士を区画する隔壁の壁厚が薄くなってしまう。これにより、インクを噴射する際の圧力発生室内の圧力変動が隔壁を通じて隣り合う圧力発生室に伝わってインクの噴射特性に影響を及ぼす所謂クロストークが問題となる。このクロストークを抑制する観点から圧力発生室の形成ピッチの狭小化には限界があった。このような事情から、従来の記録ヘッドでは、ノズル開口の高密度配置が困難であった。

上記の問題点を解決すべく、１つの圧力発生室に対し複数のノズル開口（以下、ノズルセットという。）を形成する構成が提案されている（例えば、特許文献１参照）。この構成では、一度の噴射動作で駆動対象の圧力発生室に対応する各ノズル開口から同時にインクが噴射され、これらのインクが記録紙等の記録媒体に着弾して複数のドットが同時に形成される。このように構成することで、圧力発生室の列設ピッチを変更することなくノズル形成密度を高めることができる。

特開２００３−０８０７００号公報

しかしながら、１つの圧力発生室に対し複数のノズル開口を形成する構成においても、平面視で投影した状態において圧力発生室の領域内にノズル開口が配設されているため、同一圧力発生室に対応するノズル開口同士の形成密度を高めることができる反面、隣り合う圧力発生室の間には隔壁が存在するため、この隔壁の領域内（隔壁の直下）にノズル開口を配置することができなかった。したがって、隣り合う圧力発生室間におけるノズル開口の配置間隔は、依然として圧力発生室の形成ピッチに左右されてしまう問題があった。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、ノズル開口の配置レイアウトの自由度を向上させることが可能な液体噴射ヘッド、及び、これを備えた液体噴射装置を提供することにある。

本発明の液体噴射ヘッドは、上記目的を達成するために提案されたものであり、ノズル開口を開設したノズルプレート、及び、ノズル開口に連通する圧力発生室を形成した圧力発生室プレートを備えた液体噴射ヘッドであって、
前記ノズルプレートと前記圧力発生室プレートとの間に、前記圧力発生室と前記ノズル開口とを連通する連通貫通口が開設されたノズル連通プレートを有し、
前記連通貫通口は、１つの圧力発生室に対し複数のノズル開口を連通させることを特徴とする。

この構成によれば、ノズルプレートと圧力発生室プレートとの間に、圧力発生室とノズル開口とを連通する連通貫通口が開設されたノズル連通プレートを有し、連通貫通口は、１つの圧力発生室に対し複数のノズル開口を連通させるので、圧力発生室の形成ピッチに左右されずにノズル開口の配置レイアウトの自由度を向上させることが可能となる。これにより、例えば、圧力発生室の列設ピッチよりも小さい一定のピッチでノズル開口を圧力発生室列設方向に複数配置することができる。

上記構成において、前記複数のノズル連通プレートのうち最もノズルプレート側のノズル連通プレートの連通貫通口の中心が、最も圧力発生室プレート側のノズル連通プレートの連通貫通口の中心に対してずれた状態で両連通貫通口が連通する構成を採用することができる。

この構成によれば、各ノズル連通プレートの連通貫通口の中心を互いにずらして配置することで、ノズル開口の種々のレイアウトに対応することができる。

また、上記構成において、前記連通貫通口を介して同一圧力発生室に連通する複数のノズル開口のうちの少なくとも一部を、当該圧力発生室の領域外に配置する構成を採用することができる。

さらに、同一圧力発生室に連通するノズル開口が多角形状に配置されてノズルセットを構成し、
前記多角形状の向きが交互に異なる状態で圧力発生室の列設方向に前記ノズルセットを複数配置する構成を採用することもできる。

そして、本発明の液体噴射装置は、上記各構成の液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする。

以下、本発明を実施するための最良の形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下の説明は、本発明における液体噴射ヘッドとして、インクジェット式記録装置（本発明の液体噴射装置の一種）に搭載されるインクジェット式記録ヘッド（以下、単に記録ヘッドという。）を例に挙げて行う。

図１は記録ヘッド１をノズルプレート側から見た要部拡大平面図、図２は図１におけるＡ−Ａ線断面図、図３は図１におけるＢ−Ｂ線断面図である。

本実施形態における記録ヘッド１は、圧力発生ユニット２と、流路ユニット３と、ノズルユニット１１（ノズルプレート４及びノズル連通プレート５）とから構成されており、これらを重ね合わせた状態で一体化してある。圧力発生ユニット２は、圧電振動子６（圧力発生手段の一種）と、振動板７と、圧力発生室８を区画するための圧力発生室プレート９とを積層し、焼成等により一体化することで構成されている。

また、流路ユニット３は、圧力発生室８にインクを供給する供給側連通口１２及び圧力発生室８からノズル開口１３側へインクを供給するための第３連通口１５を形成した連通口プレート１０、供給口１６や第２連通口１７を形成した供給口プレート１８と、リザーバ２０や第１連通口２１を形成したリザーバプレート２２とを積層することで構成されている。また、リザーバプレート２２とノズルプレート４との間には、連通貫通口２４（２４ａ，２４ｂ）が開設された複数のノズル連通プレート５（５ａ，５ｂ）が配設されている。

振動板７は、弾性を有する板材で構成されており、圧力発生室８の一方の開口を封止している。圧力発生室８とは反対側となる振動板７の外側表面には、各圧力発生室８に対応させた状態で複数の圧電振動子６が配設されている。例示した圧電振動子６は所謂撓み振動モードの振動子であり、駆動電極６ａと共通電極６ｂとによって圧電体６ｃを挟んで構成されている。そして、圧電振動子６の駆動電極に駆動信号が印加されると、駆動電極と共通電極との間には電位差に応じた電場が発生する。この電場は圧電体に付与され、圧電体が付与された電場の強さに応じて変形する。

圧力発生室プレート９は、圧力発生室８を区画するための空部がプレートの厚さ方向に貫通した状態で形成されている。圧力発生室８は、一定のピッチ、例えば、ドット形成密度の１８０ｄｐｉに相当する間隔で列状に開設され、列設方向と直交する左右方向に細長い長孔である。隣り合う圧力発生室８同士の間は、圧力発生室プレート９の一部からなる隔壁２５で仕切られている。この隔壁２５に関し、隣り合う圧力発生室８における圧力変動の相互間への影響を抑制可能な程度の厚みが確保されている。

連通口プレート１０は、第３連通口１５と供給側連通口１２とを開設した板材によって構成されており、圧力発生室８の他方の開口を封止している。第３連通口１５（ノズル開口側連通口）は、圧力発生室８のノズル開口１３側の一端部に連通し、ノズル開口１３よりも大きい寸法に設定された貫通孔である。そして、この第３連通口１５は、第２連通口１７及び第１連通口２１と一連となってノズル連通路２６として機能し、圧力発生室８側からのインクをノズル開口１３側へ供給する。また、供給側連通口１２は、第３連通口１５とは反対側の圧力発生室８の他端部に連通する貫通穴である。この供給側連通口１２は、供給口プレート１８の供給口１６と共にリザーバ２０と圧力発生室８を連通し、リザーバ２０側からのインクを圧力発生室８に供給する。

供給口プレート１８には、板厚方向を貫通する供給口１６が、連通口プレート１０の供給側連通口１２に対応させて複数開設されている。また、板厚方向を貫通する第２連通口１７が、連通口プレート１０の第３連通口１５及びリザーバプレート２２の第１連通口２１に対応させて形成されている。供給口１６の内径は、供給側連通口１２の内径よりも小さく絞られており、この供給口１６を通過するインクに対して流体抵抗（流動抵抗）を付与するように設計されている。

リザーバプレート２２は、ステンレス材等の金属材料によって構成された板状部材である。このリザーバプレート２２には、リザーバ２０を区画するための空部が板厚方向を貫通した状態で形成されている。この空部の上下の開口が供給口プレート１８と第１ノズル連通プレート５ａとによって封止されてリザーバ２０が区画形成されるようになっている。このリザーバ２０は、複数の圧力発生室８に共通な液室として機能する部分であり、インクの種類（色）毎に設けられる。また、リザーバプレート２２には、板厚方向を貫通する第１連通口２１が上記の第２連通口１７に対応させて形成されている。

これらの連通口プレート１０、供給口プレート１８、リザーバプレート２２は、接着剤等によって接合されて一体化され、本実施形態における流路ユニット３を構成する。

ノズルプレート４は、シリコンから作製された板状部材である。このノズルプレート４には、複数のノズル開口１３を列設してノズル列（ノズル開口群）が形成されている。本実施形態において１つのノズル列（ノズル群）は、圧力発生室８の形成ピッチよりも小さいピッチ、例えば３６０ｄｐｉで開設された３６０個のノズル開口１３によって構成されている。このノズルプレート４は、後述するノズル連通プレート５（第１ノズル連通プレート５ａ及び第２ノズル連通プレート５ｂ）を介して流路ユニット３に接合される。
なお、ノズルプレート４は、例示したシリコン以外に金属や有機プラスチックフィルム等から構成してもよい。

ここで、複数のノズル開口１３、本実施形態の場合２つのノズル開口１３（１３ａ，１３ｂ）によって、１組のノズルセット２３が構成されている。同一のノズルセット２３を構成する各ノズル開口１３ａ，１３ｂは、後述するノズル連通プレート５の連通貫通口２４（２４ａ，２４ｂ）及び上記ノズル連通路２６を介して同一の圧力発生室８に連通している。図１に示すように、本実施形態において、ノズルセット２３を構成する２つのノズル開口１３ａ，１３ｂのうち、一方のノズル開口１３ａは、ノズルプレート４側から圧力発生室プレート９側を投影的に見た状態（以下、「平面視」と記載した場合はこの状態を示す。）において圧力発生室８の領域内（ノズルプレート４において、圧力発生室８に対向する領域内）に配置されているのに対し、他方のノズル開口１３ｂは、圧力発生室８の領域外、具体的には、隣り合う圧力発生室８を区画する隔壁２５の領域内（投影視において隔壁２５と重なる位置）に配置されている。

上記のようなノズル開口１３の配置レイアウトを実現するために、上記記録ヘッド１では、ノズルプレート４と圧力発生室プレート９との間であって、より詳しくはノズルプレート４とリザーバプレート２２との間に、圧力発生室８とノズル開口１３とを連通する連通貫通口２４が開設されたノズル連通プレート５を有していることに特徴を有している。本実施形態におけるノズル連通プレート５は、シリコンから作製された板材であり、複数枚、具体的には第１ノズル連通プレート５ａと第２ノズル連通プレート５ｂの合計２枚から構成されている。これらのノズル連通プレート５ａ，５ｂは、シリコンに限らず、ステンレス鋼等の金属材料などを使用することも可能である。

第１ノズル連通プレート５ａには第１連通貫通口２４ａが、第２ノズル連通プレート５ｂには第２連通貫通口２４ｂが、それぞれ開設されている。本実施形態において、これらの連通貫通口２４ａ，２４ｂはドライエッチングによって形成されている。なお、ノズル連通プレート５を金属板等で構成した場合には、プレス加工によって開設することもできる。

図１に示すように、本実施形態における第１連通貫通口２４ａは、ノズル連通路２６と第２連通貫通口２４ｂとを連通する空部であり、圧力発生室列設方向に長尺な楕円形状に形成されている。記録ヘッド１の各構成部品を位置決めして積層した状態において、第１連通貫通口２４ａは、圧力発生室８の幅方向の中心線ＣＬに対して中心が隣の圧力発生室８寄り（図１において右側）に少しずれた状態で配置される。この第１連通貫通口２４ａの長尺方向の一端部（図１において左側の端部）は、平面視において圧力発生室８の領域内に位置する一方、第１連通貫通口２４ａの他端部（図１において右側の端部）は平面視において圧力発生室８の領域外であって隣の圧力発生室８との間の隔壁２５の領域内に位置する。

また、本実施形態における第２連通貫通口２４ｂは、第１連通貫通口２４ａとノズルセット２３の各ノズル開口１３とを連通する空部であり、第１連通貫通口２４ａと比較して圧力発生室列設方向により長く圧力室列設方向に直交する方向により短い楕円形状に形成されている。この第２連通貫通口２４ｂは、記録ヘッド１の各構成部品を位置決めして積層した状態において、圧力発生室８の幅方向の中心線ＣＬに対して中心が第１連通貫通口２４ａの中心よりもさらに隣の圧力発生室８寄りにずれた状態で配置される。即ち、ノズル連通プレート５ａ，５ｂのうち最もノズルプレート４側に位置する第２ノズル連通プレート５ｂの第２連通貫通口２４ｂの中心が、最も圧力発生室プレート９側に位置する第１ノズル連通プレート５ａの第１連通貫通口２４ａの中心に対してずれた状態となっている。

この第２連通貫通口２４ｂの長尺方向の一端部（図１において左側の端部）は平面視において第１連通貫通口２４ａの領域内に位置する一方、第２連通貫通口２４ｂの他端部（図１において右側の端部）は平面視において圧力発生室８と第１連通貫通口２４ａの領域外であって隣の圧力発生室８との間の隔壁２５の領域内、換言すれば隔壁２５に重なる領域に位置する。そして、この第１連通貫通口２４ａは、平面視においてノズルセット２３を構成する各ノズル開口１３ａ，１３ｂを含む状態に形成されている。

本実施形態において、第１ノズル連通プレート５ａ、第２ノズル連通プレート５ｂ、及びノズルプレート４は、例えば陽極接合によって積層した状態で一体化され、ノズルユニット１１を構成する。そして、圧力発生ユニット２と流路ユニット３との間、及び、流路ユニット３とノズルユニット１１との間を接合して一体化される。これにより、図３に示すように、リザーバ２０と圧力発生室８の他端部とが、供給口１６及び供給側連通口１２を通じて連通する。また、圧力発生室８の一端部とノズル開口１３とが、第１連通口２１〜第３連通口１５からなるノズル連通路２６に連通する。さらに、このノズル連通路２６とノズルセット２３の各ノズル開口１３とが、第１連通貫通口２４ａ及び第２連通貫通口２４ｂを介して連通する。そして、リザーバ２０から圧力発生室８を通ってノズル開口１３に連通する一連のインク流路（液体流路）がノズルセット２３毎に形成される。

上記構成の記録ヘッド１では、圧電振動子６を駆動して振動板７を変形させることでこれに対応する圧力発生室８の容積が収縮或いは膨張し、圧力発生室８内のインクに圧力変動が生じる。この圧力変動によりノズルセット２３を構成する各ノズル開口１３からインクが同時に噴射される。

このように、ノズルプレート４と圧力発生室プレート９との間にノズル連通プレート５ａ，５ｂを設け、これらのノズル連通プレート５ａ，５ｂにそれぞれ開設された連通貫通口２４ａ，２４ｂを通じて１つの圧力発生室８に対して複数のノズル開口１３を連通させている。このように構成することで、圧力発生室８の形成ピッチに左右されずにノズル開口１３の配置レイアウトの自由度を向上させることができる。即ち、図４に示すように、同一ノズルセット２３を構成するノズル開口１３ａ，１３ｂのうち、つまり、連通貫通口２４ａ，２４ｂを介して同一圧力発生室８に連通する複数のノズル開口１３のうち、少なくとも一つのノズル開口１３を、平面視における圧力発生室８の領域を外れた隔壁２５の領域内に配置するレイアウトを採用することもできる。特に、本実施形態のように、各ノズル連通プレート５ａ，５ｂの連通貫通口２４ａ，２４ｂの中心を互いにずらして配置することで、ノズル開口１３の種々のレイアウトに対応することができる。

図４に例示したノズル開口１３のレイアウトでは、圧力発生室列設方向におけるノズル開口１３の形成ピッチＰ１が、圧力発生室８の形成ピッチＰ２の１／２となっている。したがって、圧力発生室列設方向におけるドット形成密度（記録解像度）を、本発明を適用しない従来構成と比較して見かけ上２倍にすることができる。また、隣り合う圧力発生室８の間の隔壁２５の領域内にノズル開口１３を配置することができるので、隔壁の領域内にノズル開口を配置しない従来の構成のように圧力発生室を千鳥状にずらして配置することで圧力発生室列設方向のノズル開口の配置ピッチを一定にする構成と比較して記録ヘッドの小型化に寄与することができる。

そして、上記の記録ヘッド１を搭載するプリンタでは、複数のノズル開口１３の組みから成るノズルセット２３に対して圧力発生室８を１つずつ対応させて設けたので、一度の噴射動作で駆動対象の圧力発生室８に対応するノズルセット２３の各ノズル開口１３から同時にインクを噴射することができ、各ノズル開口１３から噴射されたインクによって、従来よりも少ないインク量で記録紙等の記録媒体上の所定の領域を効率良くドットで埋めることができる。これにより、インクの消費、つまり、画像等を記録する際の記録媒体に着弾するインクの総量を抑えることができ、その結果、インクに含まれる水分による記録紙の歪みや記録画像の滲みを抑制することが可能となる。また、インクの消費を抑えることができるので、ランニングコストの低減や環境保全に寄与することが可能となる。

なお、上記実施形態では、圧力発生手段として、所謂撓み振動モードの圧電振動子６を例示したが、これには限られない。例えば、図５〜図７に示す第２実施形態のように、電界方向に直交する方向に変位する所謂縦振動モードの圧電振動子６´を採用することも可能である。この第２実施形態においては、振動板７′を、金属製の支持板７ａに弾性フィルム７ｂを積層した複合板材によって構成している。そして、エッチング処理によって圧力発生室８に対応する部分に周囲の支持板７ａ本体から独立した島部７ｃを形成し、この島部７ｃに圧電振動子６′の先端面を接合している。この第２実施形態では、ノズルプレート４と圧力発生室プレート９との間にノズル連通プレート５ａ，５ｂが設けられており、これらのノズル連通プレート５ａ，５ｂにそれぞれ開設された連通貫通口２４ａ，２４ｂを通じて１つの圧力発生室８に対し、ノズルセット２３を構成する複数のノズル開口１３を連通させている。

さらに、図８〜１０に示す第３実施形態のように、ノズルセット２３を合計３つのノズル開口１３ａ，１３ｂ，１３ｃから構成し、これらのノズル開口１３を、多角形状（この例では、三角形状（二等辺三角形状又は正三角形状））に配置するレイアウトを採ることも可能である。なお、図９は、図８におけるＡ−Ａ線が全てのノズル開口１３を横断するようにジグザグに切った状態の断面図である。図８に示すように、この第３実施形態においては、三角形状の向きが交互に異なる状態で圧力発生室８の列設方向にノズルセット２３を複数配置している。即ち、同一ノズルセット２３内のノズル開口１３のうち三角形の頂角に対応する第１ノズル開口１３ａが圧力発生室８の長手方向中央部に対して外側に位置する第１ノズルセット２３ａと、第１ノズル開口１３ａが圧力発生室の中央部に対して内側に位置する第２ノズルセット２３ｂとが圧力発生室８の列設方向に交互に配置されている。この構成では、第２ノズル開口１３ｂと第３ノズル開口１３ｃが、圧力発生室８の領域外（隔壁２５の領域内）に配置されている。

本実施形態における第１連通貫通口２４ａは、ノズルセット２３の各ノズル開口１３に共通な略三角形状の貫通穴であり、１辺の長さが圧力発生室８の幅方向の寸法よりも少し大きく設定されている。これに対し、第２連通貫通口２４ｂは、ノズルセット２３の各ノズル開口１３に個別に連通する円形の貫通穴であり、ノズル開口１３の内径よりも一回り大きい内径に設定されている。この第２連通貫通口２４ｂは、平面視において第１連通口２４ａと少なくとも一部が重なると共にノズルセット１３の対応するノズル開口１３を含む状態に形成されている。

本実施形態の構成によれば、隣り合う圧力発生室８の間でノズル開口１３や連通貫通口２４が互いに干渉することなく、最小限のスペースで、圧力発生室列設方向におけるノズル開口１３の形成密度を高めることができる。即ち、例示したノズル開口１３のレイアウトでは、圧力発生室列設方向で見たノズル開口１３の形成ピッチが、圧力発生室８の列設ピッチの１／３となっている。したがって、圧力発生室列設方向におけるドット形成密度（記録解像度）を、本発明を適用しない従来構成と比較して見かけ上３倍にすることができる。また、三角形状以外の多角形状にすることでさらにドット形成密度を上げることができる。

なお、上記各実施形態においては、ノズル連通プレート５を第１ノズル連通プレート５ａと第２ノズル連通プレート５ｂの合計２枚から構成した例を示したが、これには限られず、１枚又は３枚以上のノズル連通プレート５を設ける構成を採用することも可能である。要は、隣り合う圧力発生室の流路（圧力発生室８、ノズル連通路２６、連通貫通口２４、及び、ノズル開口１３を含む）に干渉することなく、１つ又は複数の連通貫通口によって複数のノズル開口が１つの圧力発生室に連通される構成であれば良い。
このように、圧力発生手段から圧力発生室を構成する部材は従来と同じものを使いながらも、ノズル数を効率よく増やすことができる。

また、以上では、本発明に係る液体噴射ヘッドとして、プリンタ（液体噴射装置の一種）に搭載される記録ヘッド１を例示したが、本発明は、他の液体噴射ヘッドにも適用することができる。例えば、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレー、ＦＥＤ（面発光ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも本発明を適用することができる。

記録ヘッドをノズルプレート側から見た要部拡大平面図である。 図１におけるＡ−Ａ線断面図である。 図１におけるＢ−Ｂ線断面図である。 ノズル開口の配置レイアウトを説明する図である。 第２の実施形態における記録ヘッドの要部拡大平面図である。 図５におけるＡ−Ａ線断面図である。 図５におけるＢ−Ｂ線断面図である。 第３の実施形態における記録ヘッドの要部拡大平面図である。 図８におけるＡ−Ａ線断面図である。 図８におけるＢ−Ｂ線断面図である。

符号の説明

１…記録ヘッド，４…ノズルプレート，５…ノズル連通プレート，８…圧力発生室，９…圧力発生室プレート，１１…ノズルユニット，１３…ノズル開口，２３…ノズルセット，２４…連通貫通口，２５…隔壁

Claims (5)

1. ノズル開口を開設したノズルプレート、及び、ノズル開口に連通する圧力発生室を形成した圧力発生室プレートを備えた液体噴射ヘッドであって、
   前記ノズルプレートと前記圧力発生室プレートとの間に、前記圧力発生室と前記ノズル開口とを連通する連通貫通口が開設されたノズル連通プレートを有し、
   前記連通貫通口は、１つの圧力発生室に対し複数のノズル開口を連通させることを特徴とする液体噴射ヘッド。
2. 前記複数のノズル連通プレートのうち最もノズルプレート側のノズル連通プレートの連通貫通口の中心が、最も圧力発生室プレート側のノズル連通プレートの連通貫通口の中心に対してずれた状態で両連通貫通口が連通することを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
3. 前記連通貫通口を介して同一圧力発生室に連通する複数のノズル開口のうちの少なくとも一部が、前記ノズルプレートの圧力発生室に対向する領域外に配置されたことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
4. 同一圧力発生室に連通するノズル開口が多角形状に配置されてノズルセットを構成し、
   前記多角形状の向きが交互に異なる状態で圧力発生室の列設方向に前記ノズルセットを複数配置したことを特徴とする請求項１から請求項３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
5. 請求項１から請求項４の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置。

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