JP6288335B2 - 液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置 - Google Patents

Description

本発明は、インクジェット式記録ヘッドなどの液体噴射ヘッド、および、液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置に関するものである。

液体噴射装置は、液体を液滴としてノズルから噴射可能な液体噴射ヘッドを備え、この液体噴射ヘッドから各種の液体を噴射する装置である。この液体噴射装置の代表的なものとして、例えば、インクジェット式記録ヘッド（以下、記録ヘッドという）を備え、この記録ヘッドのノズルから液体状のインクをインク滴として噴射させて記録を行うインクジェット式記録装置（プリンター）等の画像記録装置を挙げることができる。また、その他、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターに用いられる色材、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイに用いられる有機材料、電極形成に用いられる電極材等、様々な種類の液体の噴射に液体噴射装置が用いられている。そして、画像記録装置用の記録ヘッドでは液状のインクを噴射し、ディスプレイ製造装置用の色材噴射ヘッドではＲ（Red）・Ｇ（Green）・Ｂ（Blue）の各色材の溶液を噴射する。また、電極形成装置用の電極材噴射ヘッドでは液状の電極材料を噴射し、チップ製造装置用の生体有機物噴射ヘッドでは生体有機物の溶液を噴射する。

上記のような記録ヘッドとしては、液体状のインクをノズルから噴射する記録ヘッド本体と、該記録ヘッド本体が取り付けられ、インクカートリッジ等のインクが封入された液体供給源から記録ヘッド本体へインクを導入する液体導入部材と、を備えたものがある。記録ヘッド本体は、圧電素子（圧力発生手段の一種）を駆動することにより圧力室内のインクに圧力変化を与え、この圧力変化を利用してノズル面に形成されたノズルからインク滴を噴射する。液体導入部材は、その内部に、液体供給源からのインクを記録ヘッド本体側に送るインク流路を備えている。

また、インク流路としては、ノズル面に対して斜めに交差する方向に延在した傾斜流路を一部に備えたものがある（例えば、特許文献１）。このような一部に傾斜流路を備えたインク流路によって、平面視（ノズル面に平行な面内）において開口位置が異なる上流側の流路と下流側の流路とを接続している。

特開２００９−１０７１８９号公報

しかしながら、上記のようなノズル面に対して傾斜した傾斜流路を備えたインク流路は、その成形が難しく、液体導入部材を容易に作成することができなかった。また、金型の構造上、傾斜流路の傾斜角度に限界があるため、その分、傾斜流路の長さが長くなり易い。このため、成形する際に液体導入部材が大きくなり易く、その結果、記録ヘッドを小型化し難くなっていた。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、容易に作成することができ、かつ、小型化が可能な液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置を提供することにある。

本発明の液体噴射ヘッドは、液体供給源からの液体を導入する液体導入流路、該液体導入流路からの液体を濾過するフィルターが設けられたフィルター室、および、該フィルター室の液体を下流側に送る接続流路を備えた液体導入部材と、
該液体導入部材に接続され、前記接続流路からの液体を液体流路を通じて圧力室に導入し、該圧力室に圧力変動を生じさせることでノズル面に形成されたノズルから液滴として噴射可能な液体噴射ヘッド本体と、を備え、
前記接続流路の一部に、前記ノズル面に対して平行に延在する平行流路部が形成されたことを特徴とする。

本発明によれば、フィルター室における接続流路の連通部と、接続流路と液体流路の接続部との位置が平面視（ノズル面に平行な面内）において異なっている場合でも、ノズル面に対して傾斜させることなく接続流路を作成することができる。これにより、液体導入部材を容易に作成することができる。また、接続流路の構成が簡単になる上、傾斜流路における傾斜角度のような制約がないので、接続流路の高さ（ノズル面に対して垂直な方向の寸法）をできるだけ抑えることができる。これにより、液体導入部材が大きくなることを抑制でき、液体噴射ヘッドを小型化することができる。

また、上記構成において、前記液体噴射ヘッド本体は、第１の液体流路および第２の液体流路を備え、
前記フィルター室には、下流側が前記第１の液体流路と接続された第１の接続流路の上流側が連通されると共に、下流側が前記第２の液体流路と接続された第２の接続流路の上流側が連通され、
前記フィルター室における前記第１の接続流路の連通部と前記第２の接続流路の連通部との距離が、前記第１の接続流路および前記第１の液体流路の接続部と前記第２の接続流路および前記第２の液体流路の接続部との距離よりも長く、
前記第１の接続流路および第２の接続流路のうち少なくとも一方の接続流路に平行流路部が形成されたことが望ましい。

この構成によれば、フィルターの面積（フィルター室の断面積）を十分に確保しつつ、液体噴射ヘッド本体を小型化することができる。その結果、液体噴射ヘッドをより小型化することができる。

そして、本発明の液体噴射装置は、上記何れかの構成の液体噴射ヘッドを備えたことを特徴とする。

プリンターの構成を説明する斜視図である。 記録ヘッドを斜め上方から観た分解斜視図である。 フィルター室と単位ヘッドの位置関係を説明する記録ヘッドの平面模式図である。 記録ヘッドの要部を拡大した断面図である。 第２の実施形態における記録ヘッドの要部を拡大した断面図である。

以下、本発明を実施するための形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下の説明は、本発明の液体噴射装置として、インクジェット式記録ヘッド（以下、記録ヘッド）を搭載したインクジェット式プリンター（以下、プリンター）を例に挙げて行う。

プリンター１の構成について、図１を参照して説明する。プリンター１は、記録紙等の記録媒体２（着弾対象の一種）の表面に対して液体状のインクを噴射して画像等の記録を行う装置である。このプリンター１は、インクを噴射する記録ヘッド３、この記録ヘッド３が取り付けられるキャリッジ４、キャリッジ４を主走査方向に移動させるキャリッジ移動機構５、記録媒体２を副走査方向に移送するプラテンローラー６等を備えている。ここで、上記のインクは、本発明における液体の一種であり、液体供給源としてのインクカートリッジ７に貯留されている。このインクカートリッジ７は、記録ヘッド３に対して着脱可能に装着される。なお、インクカートリッジ７がプリンター１の本体側に配置され、当該インクカートリッジ７からインク供給チューブを通じて記録ヘッド３に供給される構成を採用することもできる。

上記のキャリッジ移動機構５はタイミングベルト８を備えている。そして、このタイミングベルト８はＤＣモーター等のパルスモーター９により駆動される。従ってパルスモーター９が作動すると、キャリッジ４は、プリンター１に架設されたガイドロッド１０に案内されて、主走査方向（記録媒体２の幅方向）に往復移動する。

図２は、上記記録ヘッド３の構成を示す分解斜視図である。本実施形態における記録ヘッド３は、液体導入部材１３と、記録ヘッド本体１４（本発明における液体噴射ヘッド本体に相当）と、固定板１５とを備えている。本実施形態の記録ヘッド３では、副走査方向に沿って細長な２つの記録ヘッド本体１４が、主走査方向に並列して液体導入部材１３の下方に取り付けられている。また、一方の記録ヘッド本体１４には、１種類のインク（例えば、ブラックのインク）が導入され、他方の記録ヘッド本体１４には、３種類のインク（例えば、シアン、マゼンタ、および、イエローのインク）が導入される。

液体導入部材１３は、カートリッジ保持部材１７、中間部材１８、フィルター下部材１９、ブッシュ２０、ホルダー２１等を積層した状態で備えている。また、液体導入部材１３の内部には、インクカートリッジ７からのインクを導入する液体導入流路２３、該液体導入流路２３からのインクを濾過するフィルター２４が設けられたフィルター室２５、および、該フィルター室２５のインクを下流側（記録ヘッド本体１４側）に送る接続流路２６が設けられている。なお、以下の説明では、便宜上、各部材の積層方向を上下方向として説明する。

カートリッジ保持部材１７は、その上面にインクカートリッジ７が装着されるカートリッジ装着部２８を備え、内部に液体導入流路２３の一部を構成するインク流路（図示せず）を備えた流路部材である。このカートリッジ装着部２８には、インク導入針２９が各色のインクカートリッジ７のインクに対応させて、主走査方向に横並びに配設されている。本実施形態では、４種類のインクカートリッジ７が装着されるため、４本のインク導入針２９がカートリッジ装着部２８に設けられている。このインク導入針２９は、インクカートリッジ７内に挿入される中空針状の部材であり、先端部に開設された導入孔（図示せず）からインクカートリッジ７内に貯留されたインクをカートリッジ保持部材１７内のインク流路内に導入する。

中間部材１８は、カートリッジ保持部材１７の下方に接続された板状の流路部材である。この中間部材１８の内部には、図４に示すように、フィルター室２５の上流側を構成する上流側フィルター室２５ａと、該上流側フィルター室２５ａとインク流路とを接続する中間流路３０と、が形成されている。これら上流側フィルター室２５ａおよび中間流路３０は、４本のインク導入針２９に対応して、それぞれ４つ形成されている。また、これらの上流側フィルター室２５ａは、後述する下流側フィルター室２５ｂと対をなしてフィルター室２５を構成する空間であり、図３に示すように、一方の記録ヘッド本体１４に対応して、中間部材１８の主走査方向における一側（一方の記録ヘッド本体１４側）に１つ、他方の記録ヘッド本体１４の各色に対応して、中間部材１８の主走査方向における他側（他方の記録ヘッド本体１４側）に３つ設けられている。他方の記録ヘッド本体１４に対応する３つの上流側フィルター室２５ａは、その下側の開口面積が一方の記録ヘッド本体１４側に対応する上流側フィルター室２５ａより小さく形成され、副走査方向に沿って並設されている。また、図４に示すように、各上流側フィルター室２５ａは、上流側（中間流路３０との連通部分）から下方（フィルター２４側）に向けて拡径している。

各中間流路３０の上流側は、インク導入針２９に対応して、主走査方向に横並びに配設され、それぞれカートリッジ保持部材１７のインク流路と連通している。また、各中間流路３０の下流側は、それぞれ上流側フィルター室２５ａの平面視における略中央部に連通している。すなわち、各中間流路３０は、カートリッジ保持部材１７のインク流路との連通位置から対応するフィルター室２５ａに向けて中間部材１８の面方向においてそれぞれ延在している。なお、インク導入針２９、インク流路および中間流路３０からなる一連の流路が本発明における液体導入流路２３に相当する。

フィルター下部材１９は、フィルター２４を挟んで中間部材１８の下側に接続される流路部材である。このフィルター下部材１９の内部には、図４に示すように、フィルター室２５の下流側を構成する下流側フィルター室２５ｂと、該下流側フィルター室２５ｂとホルダー２１の連通流路３５（後述）とを連通するインク供給流路３２と、が形成されている。下流側フィルター室２５ｂの上端は、図２または図４に示すように、フィルター下部材１９の上面における各上流側フィルター室２５ａに対応する位置に開口している。この下流側フィルター室２５ｂの上端開口形状は、上流側フィルター室２５ａの下端開口形状と略同じ形状に揃えられている。そして、各下流側フィルター室２５ｂと上流側フィルター室２５ａとは、これらの間に挟まれたフィルター２４を介して連通してフィルター室２５を形成する。

本実施形態のフィルター室２５は、図３に示すように、主走査方向（記録ヘッド本体１４の幅方向に沿った方向）に長く、副走査方向（記録ヘッド本体１４の長手方向に沿った方向）に短い略楕円形状に形成されている。また、フィルター室２５の主走査方向の幅は、記録ヘッド本体１４の同方向の幅よりも長くなっている。そして、各フィルター室２５の一側（液体導入部材１３の中央側）の端部は、平面視（ノズル面５８に平行な面内）において、記録ヘッド本体１４の直上に重なって配置されている。また、各フィルター室２５の他側（液体導入部材１３の外側）の端部は、平面視において、記録ヘッド本体１４から外れた位置に配置されている。

さらに、各フィルター室２５（各下流側フィルター室２５ｂ）には、それぞれ２本のインク供給流路３２が連通している。本実施形態では、図３または図４に示すように、フィルター室２５の主走査方向における両端部にインク供給流路３２の上端（上流側）が連通している。具体的には、各フィルター室２５の主走査方向における一側の端部（液体導入部材１３の中央側）に第１のインク供給流路３２ａの上端が連通し、他側（液体導入部材１３の外側）に第２のインク供給流路３２ｂの上端が連通している。すなわち、フィルター室２５における第１のインク供給流路３２ａの連通部は、平面視において、記録ヘッド本体１４（インク導入口６９）と重なり合って配置される。一方、フィルター室２５における第２のインク供給流路３２ｂの連通部は、平面視において、記録ヘッド本体１４（インク導入口６９）から外れた位置に配置される。このようにフィルター室２５の両端部にインク供給流路３２ａ，３２ｂを設けることで、フィルター室２５から各インク供給流路３２ａ，３２ｂへのインクの排出性およびクリーニング時の気泡排出性を向上させることができる。なお、本実施形態の液体導入部材１３は、フィルター室２５を４つ備えているため、これらのフィルター室２５に対応して、インク供給流路３２は８本設けられている。また、各インク供給流路３２の下端（下流側）はフィルター下部材１９の下面から下方（ホルダー２１側）に向けて突出している。

フィルター下部材１９の下方に配置されるブッシュ２０は、インク供給流路３２の下端の突出した部分と後述するホルダー２１の筒状部分３６との間に挟まれるエラストマーやゴムなどの弾性体からなる板状の部材である。図２または図４に示すように、このブッシュ２０のインク供給流路３２に対応する部分には、貫通孔４１が設けられている。この貫通孔４１を介してインク供給流路３２と連通流路３５（後述）とが液密に連通する。

ブッシュ２０の下方に配置される中継基板４２は、記録ヘッド本体１４から延出したフレキシブルケーブル７３の上端が電気的に接続された基板である。この中継基板４２は、図示しない制御部からの信号を、フレキシブルケーブル７３を介して記録ヘッド本体１４に送る。また、図２または図４に示すように、中継基板４２の連通流路３５に対応する部分には、挿通孔４３が開設されている。この挿通孔４３には、連通流路３５が形成された筒状部分３６が挿通される。そして、連通流路３５は、中継基板４２の上方でブッシュ２０を介してインク供給流路３２と連通する。

ホルダー２１は、ブッシュ２０および中継基板４２を挟んでフィルター下部材１９の下側と接続される箱体状の部材である。本実施形態におけるホルダー２１は、図２に示すように、その上面から下方の途中まで凹んだ収容空間３３を有しており、この収容空間３３の内部に中間部材１８、フィルター２４、ブッシュ２０、中継基板４２を積層した状態で収容している。そして、収容空間３３の内部にこれらの部材を収容した状態で、ホルダー２１の上方からカートリッジ保持部材１７が取り付けられている。また、図４に示すように、ホルダー２１の内部には、ヘッド収容部３４が設けられている。このヘッド収容部３４は、その大きさが記録ヘッド本体１４の大きさとほぼ同じに揃えられている。また、ヘッド収容部３４の下面側は開口している。そして、当該開口部から記録ヘッド本体１４がヘッド収容部３４に収容されている。本実施形態では、２つの記録ヘッド本体１４が取り付けられるため、これに対応して２つのヘッド収容部３４が設けられている。

また、ホルダー２１の内部には、図４に示すように、フィルター下部材１９のインク供給流路３２と後述する記録ヘッド本体１４のインク導入口６９とを接続する連通流路３５が設けられている。この連通流路３５の上部は、収容空間３３の底面から上方に向けて突出した筒状部分３６の内部に形成されている。本実施形態の連通流路３５は、図３に示すように、８本のインク供給流路３２に対応して、８本設けられている。また、連通流路３５には、筒状部分３６内に形成された流路と、当該筒状部分３６内の流路と収容空間３３とを連通する導入部３９が含まれる。そして、図４に示すように、上端がブッシュ２０の貫通孔４１を介して第１のインク供給流路３２ａと連通する第１の連通流路３５ａは、縦方向（ノズル面５８に対して垂直な方向）に延在し、下端（導入部３９）がヘッド収容部３４内の天井面に開口している。一方、上端が第２のインク供給流路３２ｂと連通する第２の連通流路３５ｂは、その途中に、横方向（ノズル面に平行な方向）に延在する流路が設けられたクランク状に形成され、下端がヘッド収容部３４内の天井面に開口している。具体的には、第２の連通流路３５ｂは、第２のインク供給流路３２ｂとの連通部から収容空間３３の底面に向けて縦方向（ノズル面５８に対して垂直な方向）に延在した縦流路部３７と、該縦流路部３７の下端から第１の連通流路３５ａ側へ向けてノズル面５８に対して平行な方向に延在した平行流路部３８と、該平行流路部３８の下流端からヘッド収容部３４まで縦方向に延在した導入部３９とを備えている。本実施形態の平行流路部３８は、ヘッド収容部３４に対して主走査方向に外れた位置から収容空間３３の底面内を主走査方向に沿って、ヘッド収容部３４と重なる位置まで延在している。このため、第１の連通流路３５ａの上端と第２の連通流路３５ｂの上端との距離は、第１の連通流路３５ａの下端と第２の連通流路３５ｂの下端との距離よりも長くなっている。そして、導入部３９の下端（下流側）は、ヘッド収容部３４内の天井面に開口している。

なお、貫通孔４１を介して連通する第１のインク供給流路３２ａおよび第１の連通流路３５ａが本発明における第１の接続流路２６ａに相当し、貫通孔４１を介して連通する第２のインク供給流路３２ｂおよび第２の連通流路３５ｂが本発明における第２の接続流路２６ｂに相当する。そして、フィルター室２５における第１の接続流路２６ａの連通部と第２の接続流路２６ｂの連通部との距離が、第１の接続流路２６ａの下端（第１の接続流路２６ａおよび後述する第1の液体流路７５ａの接続部）と第２の接続流路２６ｂの下端（第２の接続流路２６ｂおよび後述する第２の液体流路７５ｂの接続部）との距離よりも長くなっている。

次に記録ヘッド本体１４について、図４を用いて説明する。なお、本実施形態では、１種類のインクが導入される一方の記録ヘッド本体１４と、３種類のインクが導入される他方の記録ヘッド本体１４とを備えているが、断面における一連の流路の構成が同じであるため、図４では他方の記録ヘッド本体１４側の構成が省略されている。また、記録ヘッド本体１４には複数のノズル５７を列設してなるノズル列が２列設けられているが、一側のノズル列に対応する構成と他側のノズル列に対応する構成とが左右方向（記録ヘッド本体１４の幅方向）に対称であるため、一側の構成に着目して説明する。

本実施形態における記録ヘッド本体１４は、図２または図４に示すように、圧力発生ユニット５０および流路ユニット５１を備え、これらの部材が積層された状態でヘッドケース５６に取り付けて構成されている。ヘッドケース５６は、記録ヘッド本体１４の大部分を構成する合成樹脂製の箱体状部材である。このヘッドケース５６の中心部分にはノズル列方向に沿って長尺な矩形状の開口を有する貫通空部６８が、ヘッドケース５６の高さ方向を貫通する状態で形成されている。この貫通空部６８には、フレキシブルケーブル７３の一端部が収容されている。

さらに、ヘッドケース５６には、インク導入口６９および液室形成空部７０、が形成されている。このインク導入口６９は、液室形成空部７０ごとに設けられた流路であり、その下端が液室形成空部７０に連通している。また、インク導入口６９の上端は、ヘッド収容部３４内に開口した連通流路３５（接続流路２６）の下端と図示しない接着剤やパッキン等を用いて液密に接続される。液室形成空部７０は、連通基板５３の各共通液体流路６２にそれぞれ対応して形成され、対応する共通液体流路６２と連通して共通液室７１（リザーバーあるいはマニホールドとも言う）を画成する。なお、１種類のインクが導入される一方の記録ヘッド本体１４では、貫通空部６８を挟んで両側に１つずつ共通液室７１（共通液体流路６２）が形成されるため、これに対応して、貫通空部６８を挟んで両側に１つずつ、合計２つの液室形成空部７０が形成される。一方、３種類のインクが導入される他方の記録ヘッド本体１４では、貫通空部６８を挟んで両側に隔壁によって区画された共通液室７１（共通液体流路６２）が３つずつ形成されるため、これに対応して、液室形成空部７０は、貫通空部６８を挟んで両側に３つずつ形成される。そして、各液室形成空部７０の上端部に対応するインク導入口６９が連通する。

流路ユニット５１は、ノズルプレート５２、連通基板５３、および、コンプライアンス基板５４を有している。連通基板５３は、共通液体流路６２、個別連通口６３等が形成された板材である。共通液体流路６２は、その上流側が対応する液室空部と連通して共通液室７１を形成する。個別連通口６３は、共通液体流路６２と各圧力室６１とを接続する流路であり、各圧力室６１に対応して、ノズル列方向に沿って複数形成されている。また、共通液体流路６２の下面は、コンプライアンス基板５４によって封止されている。このコンプライアンス基板５４は、可撓性を有する合成樹脂や金属等から成る薄手のシート材である。そして、このコンプライアンス基板５４は、共通液室７１内のインクの圧力変動を吸収するコンプライアンス部として機能する。

本実施形態のノズルプレート５２は、一側のノズル列に対応する共通液体流路６２の下面を構成するコンプライアンス基板５４と、他側のノズル列に対応する共通液体流路６２の下面を構成するコンプライアンス基板５４との間に配置されている。このノズルプレート５２は、ドット形成密度に対応したピッチで複数のノズル５７を列状に開設した、シリコン基板等から作成される板材である。この列設された複数のノズル５７によって、ノズル列（ノズル群の一種）が構成される。本実施形態では、ノズルプレート５２にノズル列が２列形成されている。なお、ノズルプレート５２の下面が本発明におけるノズル面５８に相当する。

圧力発生ユニット５０は、圧力室６１が形成された圧力室形成基板５９（圧力室形成部材の一種）、弾性膜（図示せず）、所謂撓み振動型の圧電素子６５（圧力発生手段の一種）、および保護基板６０が積層されてユニット化された状態で、ヘッドケース５６の下部に収容されている。各圧電素子６５からは、電極配線が貫通空部６８側にそれぞれ延出されており、これらの電極配線にフレキシブルケーブル７３の一端側の端子が接続されている。また、各圧力室６１は、個別連通口６３とは反対側で、連通基板５３に形成されたノズル連通路６６を介してそれぞれノズル５７と連通している。

そして、接続流路２６からインク導入口６９を介して記録ヘッド本体１４内に導入されたインクは、共通液室７１および個別連通口６３を通じて圧力室６１に導入される。圧力室６１にインクが充填された状態で、制御部からの駆動信号を中継基板４２およびフレキシブルケーブル７３を介して圧電素子６５に供給すると、圧電素子６５が撓み、圧力室６１内に圧力変動が生じる。記録ヘッド本体１４は、この圧力変動を利用することでノズル５７からインク滴を噴射させている。

なお、インク導入口６９、共通液室７１、および、個別連通口６３からなる一連の液体流路７５のうち、第１の接続流路２６ａと接続される液体流路７５ａが本発明における第１の液体流路７５ａに相当し、第２の接続流路２６ｂと接続される液体流路７５ｂが本発明における第２の液体流路７５ｂに相当する。

また、各記録ヘッド本体１４は、ノズルプレート５２（あるいはノズル列）に臨む位置に開口部を有する金属製の固定板１５に接続されている。具体的には、各記録ヘッド本体１４がヘッド収容部３４に収容された状態で、ホルダー２１の底面および各記録ヘッド本体１４の底面が固定板１５の上面に接続されている。これにより、各記録ヘッド本体１４がホルダー２１に固定される。

このように、第２の接続流路２６ｂの一部に、ノズル面５８に対して平行に延在する平行流路部３８が形成されたので、ノズル面５８に対して傾斜させることなく接続流路２６ｂを作成することができる。これにより、液体導入部材１３を容易に作成することができる。また、接続流路２６ｂの構成が簡単になる上、傾斜流路における傾斜角度のような制約がないので、接続流路２６の高さ（ノズル面５８に対して垂直な方向の寸法）をできるだけ抑えることができる。これにより、液体導入部材１３が大きくなることを抑制でき、記録ヘッド３を小型化することができる。さらに、フィルター室２５における第１の接続流路２６ａの連通部と第２の接続流路２６ｂの連通部との距離が、第１の接続流路２６ａおよび第1の液体流路７５ａの接続部と第２の接続流路２６ｂおよび第２の液体流路７５ｂの接続部との距離よりも長くなっているので、フィルター２４の面積を十分に確保しつつ、記録ヘッド本体１４を小型化することができる。その結果、記録ヘッド３をより小型化することができる。

ところで、上記実施形態では、第２の接続流路２６ｂに平行流路部３８が設けられたが、すなわち、平面視において、第1の液体流路７５ａのインク導入口６９と第１のインク供給流路３２ａとが重なり合って配置され、第２の液体流路７５ｂのインク導入口６９と第２のインク供給流路３２ｂとがずれて配置されたが、これには限られない。要は、第１の接続流路および第２の接続流路のうち少なくとも一方の接続流路に平行流路部が形成されていればよい。例えば、第１の接続流路に平行流路部を設けてもよい。この場合、平面視において、第２の液体流路のインク導入口と第２のインク供給流路とが重なり合って配置され、第１の液体流路のインク導入口と第１のインク供給流路とがずれて配置される。

また、図５に示す第２の実施形態の記録ヘッド３′のように、第１の接続流路２６ａ′と第２の接続流路２６ｂ′との両方に平行流路部３８ａ′，３８ｂ′を設けるようにしてもよい。第２の実施形態の記録ヘッド３′では、記録ヘッド本体１４の幅方向において、フィルター室２５′の中心が記録ヘッド本体１４の中心と揃えられている。そして、平面視において、第1の液体流路７５ａのインク導入口６９の中心と第１のインク供給流路３２ａ′の中心とがずれて配置され、第２の液体流路７５ｂのインク導入口６９の中心と第２のインク供給流路３２ｂ′の中心とがずれて配置されている。具体的には、第1の液体流路７５ａのインク導入口６９は第１のインク供給流路３２ａ′よりも第２の接続流路２６ｂ′側に配置され、第２の液体流路７５ｂのインク導入口６９は第２のインク供給流路３２ｂ′よりも第１の接続流路２６ａ′側に配置されている。

第２の実施形態における平行流路部３８ａ′，３８ｂ′は、第1の液体流路７５ａのインク導入口６９と第１のインク供給流路３２ａ′を接続する第１の連通流路３５ａ′、および、第２の液体流路７５ｂのインク導入口６９と第２のインク供給流路３２ｂ′を接続する第２の連通流路３５ｂ′に設けられている。具体的には、第１の連通流路３５ａ′は、第１のインク供給流路３２ａ′との連通部から収容空間３３′の底面に向けて縦方向（ノズル面５８に対して垂直な方向）に延在した縦流路部３７ａ′と、該縦流路部３７ａ′の下端から第２の連通流路３５ｂ′側へ向けて横方向（ノズル面５８に対して平行な方向）に延在した平行流路部３８ａ′と、該平行流路部３８ａ′の下流端からヘッド収容部３４′まで縦方向に延在した導入部３９ａ′を備えている。また、第２の連通流路３５ｂ′は、第２のインク供給流路３２ｂ′との連通部から収容空間３３′の底面に向けて縦方向（ノズル面５８に対して垂直な方向）に延在した縦流路部３７ｂ′と、該縦流路部３７ｂ′の下端から第１の連通流路３５ａ′側へ向けて横方向（ノズル面５８に対して平行な方向）に延在した平行流路部３８ｂ′と、該平行流路部３８ｂ′の下流端からヘッド収容部３４′まで縦方向に延在した導入部３９ｂ′を備えている。なお、本実施形態では、第１の連通流路３５ａ′と第２の連通流路３５ｂ′とは、左右方向（記録ヘッド本体１４の幅方向）に対称に形成されている。また、その他の構成は、上記した実施形態と同じであるため、説明を省略する。

また、以上では、液体噴射ヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッド３を例に挙げて説明したが、インク以外の液体を噴射するものにも適用することができる。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイ、ＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも本発明を適用することができる。

１…プリンター，３…記録ヘッド，７…インクカートリッジ，１３…液体導入部材，１４…記録ヘッド本体，１５…固定板，１７…連通基板，１８…カートリッジ保持部材，１８…中間部材，１９…フィルター下部材，２０…ブッシュ，２１…ホルダー，２３…液体導入流路，２４…フィルター，２５…フィルター室，２５ａ…上流側フィルター室，２５ｂ…下流側フィルター室，２６…接続流路，２８…カートリッジ装着部，２９…インク導入針，３０…中間流路，３２…インク供給流路，３３…収容空間，３４…ヘッド収容部，３５…連通流路，３６…筒状部分，３７…縦流路部，３８…平行流路部，３９…導入部，４１…貫通孔，４２…中継基板，４３…挿通孔，５０…圧力発生ユニット，５１…流路ユニット，５２…ノズルプレート，５３…連通基板，５４…コンプライアンス基板，５６…ヘッドケース，５７…ノズル，５８…ノズル面，５９…圧力室形成基板，６０…保護基板，６１…圧力室，６２…共通液体流路，６３…個別連通口，６５…圧電素子，６６…ノズル連通路，６８…貫通空部，６９…インク導入口，７０…液室形成空部，７１…共通液室，７５…液体流路

Claims (5)

1. 液体供給源からの液体を導入する第１液体導入流路と、該第１液体導入流路からの液体を濾過する第１フィルターが設けられた第１フィルター室と、および、該第１フィルター室の液体を下流側に送る第１接続流路と、
   液体供給源からの液体を導入する第２液体導入流路と、該第２液体導入流路からの液体を濾過する第２フィルターが設けられた第２フィルター室と、および、該第２フィルター室の液体を下流側に送る第２接続流路と、
   第１圧力室と、前記第１圧力室に前記第１接続流路からの液体を導入する第１液体流路と、前記第１圧力室に圧力変動を生じさせることでノズル面に形成された第１ノズルから液滴を噴射させる第１圧力発生手段と、
   第２圧力室と、前記第２圧力室に前記第２接続流路からの液体を導入する第２液体流路と、前記第２圧力室に圧力変動を生じさせることでノズル面に形成された第２ノズルから液滴を噴射させる第２圧力発生手段と、
   を備える液体噴射ヘッドであって、
   前記第１接続流路の一部に、前記ノズル面に対して平行に延在する第１平行流路部が形成され、
   前記第２接続流路の一部に、前記ノズル面に対して平行に延在する第２平行流路部が形成され、
   前記ノズル面に平行な面内において、前記第１接続流路の前記第１フィルター室側の端部と前記第２接続流路の前記第２フィルター室側の端部との距離が、前記第１接続流路の前記第１液体流路側の端部と前記第２接続流路の前記第２液体流路側の端部との距離よりも、第１の方向に沿って長く、
   前記ノズル面に平行な面内において、前記第１フィルター室は、前記第１の方向に垂直な第２の方向よりも、前記第１の方向に沿って長い形状を有しており、
   前記ノズル面に平行な面内において、前記第２フィルター室は、前記第１の方向に垂直な第２の方向よりも、前記第１の方向に沿って長い形状を有していることを特徴とする液体噴射ヘッド。
   
2. 液体供給源からの液体を導入する第１液体導入流路と、該第１液体導入流路からの液体を濾過する第１フィルターが設けられた第１フィルター室と、および、該第１フィルター室の液体を下流側に送る第１接続流路と、
   液体供給源からの液体を導入する第２液体導入流路と、該第２液体導入流路からの液体を濾過する第２フィルターが設けられた第２フィルター室と、および、該第２フィルター室の液体を下流側に送る第２接続流路と、
   第１圧力室と、前記第１圧力室に前記第１接続流路からの液体を導入する第１液体流路と、前記第１圧力室に圧力変動を生じさせることでノズル面に形成された第１ノズルから液滴を噴射させる第１圧力発生手段と、
   第２圧力室と、前記第２圧力室に前記第２接続流路からの液体を導入する第２液体流路と、前記第２圧力室に圧力変動を生じさせることでノズル面に形成された第２ノズルから液滴を噴射させる第２圧力発生手段と、
   を備える液体噴射ヘッドであって、
   前記第１接続流路の一部に、前記ノズル面に対して平行に延在する第１平行流路部が形成され、
   前記第２接続流路の一部に、前記ノズル面に対して平行に延在する第２平行流路部が形成され、
   前記ノズル面に平行な面内において、前記第１接続流路の前記第１フィルター室側の端部と前記第２接続流路の前記第２フィルター室側の端部との距離が、前記第１接続流路の前記第１液体流路側の端部と前記第２接続流路の前記第２液体流路側の端部との距離よりも、第１の方向に沿って長く、
   前記ノズル面に平行な面内において、前記第１フィルターは、前記第１の方向に垂直な第２の方向よりも、前記第１の方向に沿って長い形状を有しており、
   前記ノズル面に平行な面内において、前記第２フィルターは、前記第１の方向に垂直な第２の方向よりも、前記第１の方向に沿って長い形状を有していることを特徴とする液体噴射ヘッド。
   
3. 液体供給源からの液体を導入する第１液体導入流路と、該第１液体導入流路からの液体を濾過する第１フィルターが設けられた第１フィルター室と、および、該第１フィルター室の液体を下流側に送る第１接続流路と、
   液体供給源からの液体を導入する第２液体導入流路と、該第２液体導入流路からの液体を濾過する第２フィルターが設けられた第２フィルター室と、および、該第２フィルター室の液体を下流側に送る第２接続流路と、
   第１圧力室と、前記第１圧力室に前記第１接続流路からの液体を導入する第１液体流路と、前記第１圧力室に圧力変動を生じさせることでノズル面に形成された第１ノズルから液滴を噴射させる第１圧力発生手段と、
   第２圧力室と、前記第２圧力室に前記第２接続流路からの液体を導入する第２液体流路と、前記第２圧力室に圧力変動を生じさせることでノズル面に形成された第２ノズルから液滴を噴射させる第２圧力発生手段と、
   を備える液体噴射ヘッドであって、
   前記第１接続流路の一部に、前記ノズル面に対して平行に延在する第１平行流路部が形成され、
   前記第２接続流路の一部に、前記ノズル面に対して平行に延在する第２平行流路部が形成され、
   前記ノズル面に平行な面内において、前記第１接続流路の前記第１フィルター室側の端部と前記第２接続流路の前記第２フィルター室側の端部との距離が、前記第１接続流路の前記第１液体流路側の端部と前記第２接続流路の前記第２液体流路側の端部との距離よりも、第１の方向に沿って長く、
   前記ノズル面に垂直な方向において、前記第１フィルター室は、前記第１液体流路と、前記第１接続流路と、前記第１液体導入流路と、重なり、
   前記ノズル面に垂直な方向において、前記第２フィルター室は、前記第２液体流路と、前記第２接続流路と、前記第２液体導入流路と、重なることを特徴とする液体噴射ヘッド。
   
4. 液体供給源からの液体を導入する第１液体導入流路と、該第１液体導入流路からの液体を濾過する第１フィルターが設けられた第１フィルター室と、および、該第１フィルター室の液体を下流側に送る第１接続流路と、
   液体供給源からの液体を導入する第２液体導入流路と、該第２液体導入流路からの液体を濾過する第２フィルターが設けられた第２フィルター室と、および、該第２フィルター室の液体を下流側に送る第２接続流路と、
   第１圧力室と、前記第１圧力室に前記第１接続流路からの液体を導入する第１液体流路と、前記第１圧力室に圧力変動を生じさせることでノズル面に形成された第１ノズルから液滴を噴射させる第１圧力発生手段と、
   第２圧力室と、前記第２圧力室に前記第２接続流路からの液体を導入する第２液体流路と、前記第２圧力室に圧力変動を生じさせることでノズル面に形成された第２ノズルから液滴を噴射させる第２圧力発生手段と、
   を備える液体噴射ヘッドであって、
   前記第１接続流路の一部に、前記ノズル面に対して平行に延在する第１平行流路部が形成され、
   前記第２接続流路の一部に、前記ノズル面に対して平行に延在する第２平行流路部が形成され、
   前記ノズル面に平行な面内において、前記第１接続流路の前記第１フィルター室側の端部と前記第２接続流路の前記第２フィルター室側の端部との距離が、前記第１接続流路の前記第１液体流路側の端部と前記第２接続流路の前記第２液体流路側の端部との距離よりも、第１の方向に沿って長く、
   前記ノズル面に垂直な方向において、前記第１フィルターは、前記第１液体流路と、前記第１接続流路と、前記第１液体導入流路と、重なり、
   前記ノズル面に垂直な方向において、前記第２フィルターは、前記第２液体流路と、前記第２接続流路と、前記第２液体導入流路と、重なることを特徴とする液体噴射ヘッド。
   
5. 請求項１から４のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドを備えたことを特徴とする液体噴射装置。

Images