JP2020138423A - 液体吐出ヘッド、及び、液体吐出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】小型化が可能な液体吐出ヘッド、及び、液体吐出装置を提供する。【解決手段】下流の流路内の圧力に応じて弁体を開閉する弁機構（２２）と、ノズルプレート（４０）と、収容空間を有するホルダー（２３）と、を備え、ノズルは、ノズルプレートに垂直な方向を第１方向とした場合に、第２方向と第３方向とに沿ったノズルプレートに複数並べられ、弁機構は、第３方向に隙間を空けて並べられた第１弁機構（２２−１）と第２弁機構（２２−２）と、を含み、第１弁機構及び第２弁機構は、下流液室内の圧力に応じて変位する下流側蓋部材（６９）を、互いに対向する面に有し、第１方向において、ノズルプレートと第１弁機構の弁体との間隔と、ノズルプレートと第２弁機構の弁体との間隔と、は揃えられ、ホルダーは、第１弁機構と第２弁機構との隙間のうち第３方向から見て下流側蓋部材と重なる領域において壁を有しない。【選択図】図９

Description

本発明は、インクジェット式記録ヘッドなどの液体吐出ヘッド、これを備えた液体吐出装置に関する。

液体吐出装置は液体吐出ヘッドを備え、この液体吐出ヘッドから各種の液体を液滴として吐出（噴射）する装置である。この液体吐出装置としては、例えば、インクジェット式プリンターやインクジェット式プロッター等の画像記録装置があるが、最近ではごく少量の液体を所定位置に正確に着弾させることができるという特長を生かして各種の製造装置にも応用されている。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターを製造するディスプレイ製造装置，有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイやＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極を形成する電極形成装置，バイオチップ（生物化学素子）を製造するチップ製造装置に応用されている。そして、画像記録装置用の液体吐出ヘッドでは色材を含む液体を吐出し、ディスプレイ製造装置用の色材吐出ヘッドではＲ（Red）・Ｇ（Green）・Ｂ（Blue）などの各色材を含む液体を吐出する。また、電極形成装置用の電極材吐出ヘッドでは電極材料を含む液体を吐出し、チップ製造装置用の生体有機物吐出ヘッドでは生体有機物を含む液体を吐出する。

液体吐出ヘッドとしては、液体供給部材から液体吐出ヘッドのノズルに至るまでの流路に、当該流路を開閉する弁体を有する弁機構を備えたものがある。例えば、特許文献１に開示されている液体吐出装置では、負圧調整弁とも呼ばれる弁ユニットをキャリッジに備え、キャリッジカバーによって弁ユニットが被覆されている。弁ユニットは、一般的には、液体の種類（例えば、インクの色）毎に設けられ、また、上記ノズル列に対応させて当該ノズル列の並ぶ方向に複数設けられている。このキャリッジカバーの内部は、区画壁によってそれぞれの弁ユニットが収容される空間に仕切られている。つまり、キャリッジカバーの内部において隣り合う弁ユニットの間には壁が設けられている。

特開２００６−１０２９８６号公報

上記構成では、弁ユニット間に壁がある分、弁ユニットの並ぶ方向において液体吐出ヘッドが大型化し、その結果、当該液体吐出ヘッドを備える液体吐出装置も大型化するという問題があった。

本発明の液体吐出ヘッドは、上記目的を達成するために提案されたものであり、弁体よりも下流の流路内の圧力に応じて前記弁体を開閉する弁機構と、
前記弁機構から供給された液体を吐出する複数のノズルが設けられたノズルプレートと、
複数の前記弁機構を収容する収容空間を有するホルダーと、
を備え、
複数の前記ノズルは、互いに直交する３つの方向である第１方向、第２方向、第３方向のうち前記ノズルプレートに垂直な方向を第１方向とした場合に、前記第２方向と前記第３方向とに沿った前記ノズルプレートに複数並べられ、
前記弁機構は、前記第３方向に隙間を空けて並べられた第１弁機構と、第２弁機構と、を含み、
前記第１弁機構及び前記第２弁機構は、前記弁体より下流の下流液室の一部を区画すると共に当該下流液室内の圧力に応じて変位する下流側蓋部材を、互いに対向するようにそれぞれ有し、
前記第１方向において、前記ノズルプレートと第１弁機構の前記弁体との間隔と、前記ノズルプレートと第２弁機構の前記弁体との間隔と、は揃えられ、
前記ホルダーは、前記第１弁機構と前記第２弁機構との前記隙間のうち、前記第３方向から見て前記下流側蓋部材と重なる領域において壁を有しないことを特徴とする（第１の構成）。

本発明の液体吐出ヘッドによれば、第１弁機構と第２弁機構との間に壁が無いので、これらの弁機構を近づけて配置することができ、液体吐出ヘッドの小型化が可能となる。また、各弁機構において、ノズルプレートと弁体との間隔が揃えられているので、弁体より下流、即ち、ノズル側に供給される液体の供給圧が各弁機構の間で揃えられる。これにより、ノズル列間の吐出特性のばらつきを抑制することができる。

また、本発明の液体吐出ヘッドは、弁体よりも下流の流路内の圧力に応じて前記弁体を開閉する弁機構と、
前記弁機構から供給された液体を吐出する複数のノズルが設けられたノズルプレートと、
を備え、
複数の前記ノズルは、互いに直交する３つの方向である第１方向、第２方向、第３方向のうち前記ノズルプレートに垂直な方向を第１方向とした場合に、前記第２方向と前記第３方向とに沿った前記ノズルプレートに複数並べられ、
前記弁機構は、前記第３方向に隙間を空けて並べられた第１弁機構と、第２弁機構と、を含み、
前記第１弁機構及び前記第２弁機構は、前記弁体より下流の下流液室の一部を区画すると共に当該下流液室内の圧力に応じて変位する下流側蓋部材を、互いに対向するようにそれぞれ有し、
前記第１方向において、前記ノズルプレートと第１弁機構の前記弁体との間隔と、前記ノズルプレートと第２弁機構の前記弁体との間隔と、は揃えられ、
第１弁機構の前記下流側蓋部材と、前記第２弁機構の前記下流側蓋部材とは、第３方向における位置が異なり、かつ、第２方向から見て互いに少なくとも一部で重なることを特徴とする（第２の構成）。

本発明の液体吐出ヘッドによれば、第１弁機構と第２弁機構との互いに対向する面に設けられた下流側蓋部材の第３方向における位置がそれぞれ異なり、かつ、第２方向から見て互いに少なくとも一部で重なるので、これらの弁機構を近づけて配置することができ、液体吐出ヘッドの小型化が可能となる。また、各弁機構において、ノズルプレートと弁体との間隔が揃えられているので、弁体より下流、即ち、ノズル側に供給される液体の供給圧が各弁機構の間で揃えられる。これにより、ノズル列間の吐出特性のばらつきを抑制することができる。

また、上記第１又は第２の構成において、前記弁機構からの液体を前記ノズルに導入する液体導入部が、複数の前記ノズルがノズル列を形成する前記第２方向に沿って複数並べられてなる液体導入部の組が、前記第３方向に沿って複数組並べられ、
前記第２方向において隣接する前記液体導入部の形成間隔が、前記第３方向において隣接する前記液体導入部の形成間隔以上である構成を採用することが望ましい（第３の構成）。

この構成によれば、第３方向においては、液体導入部に接続される弁機構同士の間隔を近づけることができるので、液体吐出ヘッドの小型化が可能となり、また、第２方向においては、弁体の配置間隔をより離すことができるので、各弁体に対応する流側蓋部材の受圧面積をより大きく確保することができる。これにより、液体吐出ヘッドの小型化と各ノズルにおける吐出特性の均一化を両立することができる。

さらに、本発明の液体吐出ヘッドは、液体を吐出する複数のノズルが設けられたノズルプレートと、
前記ノズル側に液体を導入するための複数の液体導入部と、
を備え、
複数の前記ノズルは、前記ノズルプレートに垂直な第１方向に直交する第２方向に沿って並べられてノズル列を形成し、前記ノズル列は、前記第１方向及び前記第２方向のそれぞれに直交する第３方向に沿って複数並べられ、
前記液体導入部が前記第２方向に沿って複数並べられてなる液体導入部の組が、前記第３方向に沿って複数組並べられ、
前記第２方向において隣接する前記液体導入部の形成間隔が、前記第３方向において隣接する前記液体導入部の形成間隔以上であることを特徴とする（第４の構成）。

この構成によれば、第３方向においては、液体導入部同士の間隔を近づけることにより、液体吐出ヘッドの小型化が可能となり、また、第２方向においては、液体導入部の配置間隔をより離すことにより、各液体導入部から同一列のノズル列に液体が供給される構成において、当該ノズル列を構成する各ノズルへの供給圧をより均一化することが可能となる。これにより、各ノズルにおける吐出特性の均一化が可能となる。

上記第４の構成において、弁体よりも下流の流路内の圧力に応じて前記弁体を開閉して、前記液体導入部への液体の供給を制御する弁機構を複数備え、
複数の前記弁機構は、前記液体導入部の組にそれぞれ接続されて前記第３方向に並べて配置され、
前記第１方向において、前記ノズルプレートと第１弁機構の前記弁体との間隔と、前記ノズルプレートと第２弁機構の前記弁体との間隔と、が揃えられた構成を採用することが望ましい（第５の構成）。

この構成によれば、第３方向においては、液体導入部に接続される弁機構同士の間隔を近づけることができるので、液体吐出ヘッドの小型化が可能となり、また、第２方向においては、弁体の配置間隔をより離すことができるので、各弁体に対応する流側蓋部材の受圧面積をより大きく確保することができる。これにより、液体吐出ヘッドの小型化と各ノズルにおける吐出特性の均一化を両立することができる。

上記第３から第５の何れか一の構成において、前記液体導入部の組を構成する前記液体導入部の数は、前記第３方向に並ぶ前記液体導入部の組の数より少なく、
前記第２方向において隣接する前記液体導入部の形成間隔が、前記第３方向において隣接する前記液体導入部の形成間隔よりも大きい構成を採用することできる（第６の構成）。

この構成によれば、第３方向における液体導入部の数が多い構成においても、各ノズルへの供給圧をより均一化しつつ、液体導入部同士の間隔を近づけることにより、液体吐出ヘッドの小型化が可能とる。

さらに、上記第２から第６の何れか一の構成において、複数の前記弁機構を収容する収容空間を有するホルダーを備え、
前記ホルダーは、前記第１弁機構と前記第２弁機構との前記隙間のうち、前記第３方向から見て前記下流側蓋部材と重なる領域において壁を有しない構成を採用することが望ましい（第７の構成）。

この構成によれば、第１弁機構と第２弁機構との間に壁が無いので、これらの弁機構を近づけて配置することができ、液体吐出ヘッドの小型化が可能となる。

本発明の液体吐出装置は、上記何れか一の構成の液体吐出ヘッドを備えることを特徴とする（第８の構成）。

上記構成によれば、小型化が図られた液体吐出ヘッドを備えるので、液体吐出装置の小型化が可能となる。

液体吐出装置の一形態の構成を説明する平面図である。 液体吐出ヘッドの一形態の構成を説明する断面図である。 液体吐出ヘッドの一形態の構成を説明する平面図である。 ヘッド本体部の構成を説明する断面図である。 流路基板を模式的に示した平面図である。 弁ユニットの構成を説明する斜視図である。 弁ユニットの右側方図である。 弁ユニットの左側方図である。 隣り合う２つの弁ユニットの位置関係を説明する断面図である。

以下、本発明を実施するための形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下の説明では、本発明の液体吐出装置として、液体吐出ヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッドを搭載したインクジェット式記録装置を例に挙げる。

図１は、液体吐出装置１の一形態の構成を示す平面図である。本実施形態における液体吐出装置１は、記録用紙、布、あるいは樹脂フィルム等の媒体（液体の着弾対象：図示せず）の表面に液体吐出ヘッド１０（図２等参照）から液体状のインク（本発明における液体の一種）を吐出させて画像やテキスト等の記録を行う装置である。この液体吐出装置１は、フレーム２と、印刷時の媒体を支持するプラテン３と、を備えており、図示しない搬送機構によってプラテン３上に媒体が搬送される。また、フレーム２内には、プラテン３と平行にガイド部材４が設けられており、このガイド部材４には、液体吐出ヘッド１０を収容したキャリッジ５が移動可能に支持されている。このキャリッジ５は、図示しないキャリッジ移動機構によってガイド部材４に沿って媒体の搬送方向と交差する主走査方向に往復移動するように構成されている。キャリッジ移動機構は、パルスモーター６と、このパルスモーター６の駆動により回転する駆動プーリー７と、この駆動プーリー７とはフレーム２における反対側に設けられた遊転プーリー８と、駆動プーリー７及び遊転プーリー８の間に架け渡されたタイミングベルト９と、を有する。

本実施形態における液体吐出装置１は、媒体に対してキャリッジ５を相対的に往復移動させながら液体吐出ヘッド１０のノズル４７（図４参照）から媒体に向けてインクを吐出させて記録動作を行う。以下においては、互いに直交するＸ方向、Ｙ方向、及びＺ方向のうち、媒体の搬送方向、即ち、媒体と液体噴射ヘッド１０との相対移動方向をＹ方向（本発明における第２方向に相当）とし、当該搬送方向に直交する方向をＸ方向（本発明における第３方向に相当）とし、ＸＹ平面に垂直な方向をＺ方向（本発明における第１方向に相当）とする。

フレーム２の一側には、液体を貯留した液体貯留容器の一種であるインクカートリッジ１３を着脱可能に搭載するカートリッジホルダー１４が設けられている。インクカートリッジ１３は、図示しないエアーポンプ１６からの空気が各インクカートリッジ１３内に供給され、この加圧空気によって内部が加圧されることにより、当該インクカートリッジ１３内のインクがインク供給チューブ１７を通じて液体吐出ヘッド１０側に供給されるように構成されている。インクカートリッジ１３からインク供給チューブ１７から送られてくるインクは、まずキャリッジ５に搭載された弁ユニット２２（本発明における弁機構の一種）に導入される。弁ユニット２２に導入されたインクは、後述するように供給圧が一定となるように調整されて液体吐出ヘッド１０内部のインク流路に供給される。なお、液体貯留容器としては、例示したものには限られず、カートリッジ型、パック型、タンク型等、種々の構成のものを採用することができる。また、液体貯留容器と液体吐出ヘッド１０との間でポンプの駆動によりインクが循環する構成を採用することも可能である。

インク供給チューブ１７は、例えば、合成樹脂で作製された可撓性を有する中空部材であり、このインク供給チューブ１７の内部には、各インクカートリッジ１３に対応するインク流路が形成されている。また、液体吐出装置１本体側と液体吐出ヘッド１０側との間には、液体吐出装置１本体側の制御部（図示せず）から液体吐出ヘッド１０側に駆動信号等を伝送するＦＦＣ（フレキシブルフラットケーブル）１８が配線されている。

フレーム２の内側において、液体吐出ヘッド１０の移動範囲における一側（本実施形態においては、カートリッジホルダー１４側）に設けられたホームポジションには、液体吐出ヘッド１０のノズル４７が形成されたノズル面を封止するキャッピング機構１１が配設されている。キャッピング機構１１は、ホームポジションで待機状態にある液体吐出ヘッド１０のノズル面をキャップ１２により封止してノズル４７からインクの溶媒が蒸発することを抑制する。また、キャッピング機構１１は、液体吐出ヘッド１０のノズル面を封止した状態で封止空部内を吸引ポンプ等の吸引手段よって負圧化し、ノズル４７からインクや気泡を強制的に吸引するクリーニング動作を行うことができる。

次に、本実施形態における液体吐出ヘッド１０の構成について説明する。
図２は、液体吐出ヘッド１０の断面図である。また、図３は、液体吐出ヘッドの平面図である。なお、図３において、弁ユニット２２及びホルダー２３の図示は省略されており、各弁ユニット２２が配置される領域が破線で示されている。本実施形態における液体吐出ヘッド１０は、ヘッド本体部２０、液体導入部材２１、弁ユニット２２、及びホルダー２３等を備えている。

液体導入部材２１は、弁ユニット２２側から供給されるインクをヘッド本体部２０側に導入する図示しないインク導入路が内部に形成された部材である。図３に示されるように、液体導入部材２１の上面には、弁ユニット２２の装着領域２４が区画されている。装着領域２４には、上記インク導入路の上流側開口部が開設され、当該開口部には、図示しないフィルターを介在させて複数の液体導入針２５（本発明における液体導入部の一種）が取り付けられている。本実施形態においては、各弁ユニット２２が配置される領域に液体導入針２５がＹ方向に沿って複数並べられて設けられており、これらのＹ方向に並ぶ複数の液体導入針２５の組が、各弁ユニット２２の配置領域に対応してＸ方向に沿って複数組並べて配置されている。本実施形態においては、Ｙ方向に並設された２本の液体導入針２５の組がＸ方向に５組並べて配置されており、これにより、合計１０本の液体導入針２５が装着領域２４に設けられている。

これらの液体導入針２５は、装着領域２４に装着された弁ユニット２２の下面に設けられた液体導出部２７の内部に挿入され、当該弁ユニット２２から供給されるインクをヘッド本体部２０側に導入する。各液体導入針２５は、中空針状で先端部には導入穴が開設されている。また、液体導入針２５の根本側は、先端部から下流側開口に向かうほど拡径する裾広がり形状となっている。なお、液体導入針２５がインクを導入する構成としては、このような針状の液体導入針２５を用いた構成に限られず、例えば、液体導入部材２１のインク導入部分に不織布やスポンジ等の多孔質材が配設され、これに対応して弁ユニット２２のインクの導出部２７にも同様な多孔質材が設けられ、両者の多孔質部材同士が接触して毛細管現象により液体の授受を行う所謂フォーム形式の構成を採用することもできる。

このように、装着領域２４における液体導入針２５の配置に関し、Ｙ方向において隣接する液体導入針２５の形成間隔を、Ｘ方向において隣接する液体導入針２５の形成間隔以上に設定することにより、Ｘ方向においては、液体導入針２５同士の間隔を近づけることにより、液体吐出ヘッド１０の小型化が可能となる。また、Ｙ方向においては、液体導入針２５の配置間隔をより離すことにより、後述するように各液体導入部２５から同一列または複数列のノズル列４８にインクが供給される構成において、当該ノズル列４８を構成する各ノズル４７への供給圧を偏りなくより均一化することが可能となる。これにより、各ノズル４７における吐出特性の均一化が可能となる。また、Ｙ方向において隣接する液体導入針２５の形成間隔を、Ｘ方向において隣接する液体導入針２５の形成間隔よりも大きく設定することにより、Ｘ方向に並ぶ液体導入針２５の数が多い、即ち、Ｘ方向に並ぶ弁ユニット２２の数が多い構成においても、各ノズル４７への供給圧をより均一化しつつ、Ｘ方向において隣接する液体導入針２５同士の間隔を近づけることにより、液体吐出ヘッド１０の小型化が可能とる。

図４は、ヘッド本体部２０の構成を説明する断面図である。また、図５は、流路基板３９を模式的に示した平面図である。本実施形態におけるヘッド本体部２０は、ヘッドケース２９と流路ユニット３０とを有している。ヘッドケース２９は、アクチュエーターユニット３１を収容した収容室３２と、液体導入部材２１から供給されるインクを流路ユニット３０に導入する導入流路３３と、が形成された合成樹脂製の部材である。ヘッドケース２９のＺ方向における下面には、流路ユニット３０が接合されている。また、ヘッドケース２９のＺ方向における上面には、図２に示されるように、液体導入部材２１が積層されている。

アクチュエーターユニット３１は、駆動素子（或は圧力発生素子又はアクチュエーターとも言える）として機能する圧電素子３５と、この圧電素子３５が接合される固定板３６と、圧電素子３５に駆動信号を供給する配線部材３７と、を備えている。なお、本実施形態における圧電素子３５は、電界方向に交差する方向に変位する所謂縦振動モードの圧電素子であり、駆動信号が供給されると圧電体及び電極の積層方向とは交差する方向に変位、即ち、伸縮する。この圧電素子３５の先端部分は、流路ユニット３０のダイヤフラム５１に接合されている。

流路ユニット３０は、流路基板３９のＺ方向における一方の面にノズルプレート４０が接合されると共に、流路基板３９のＺ方向における他方の面に振動板４１が接合されて構成されている。この流路ユニット３０には、共通液室４３と、個別供給路４４と、圧力室４５と、ノズル連通口４６と、ノズル４７と、が設けられている。本実施形態において、ノズル４７はノズルプレート４０に形成され、共通液室４３、個別供給路４４、圧力室４５、及びノズル連通口４６は流路基板３９に形成されている。なお、流路基板３９は、複数の基板が積層されて構成されても良い。また、圧力室４５は、共通液室４３、個別供給路４４及びノズル連通口４６とは別の基板に形成されても良い。

上記ノズルプレート４０は、複数のノズル４７がＹ方向に沿って所定のピッチで並べて形成された板材であり、例えば、シリコン単結晶基板やステンレス鋼等の金属板から作製されている。このノズルプレート４０には、Ｙ方向に並ぶ複数のノズル４７から構成されたノズル列４８（ノズル群）が複数設けられている。ノズル列４８は、液体噴射装置１で扱うインクの種類（即ち、色）の数等に応じてノズルプレート４０に複数列設けられる。

流路基板３９は、例えば、シリコン単結晶基板から作製された板材である。この流路基板３９には、複数の圧力室４５が、上記ノズル４７にそれぞれ対応させてＹ方向に並べて形成されている。図５に示されるように、流路基板３９において、圧力室４５が形成された領域からＸ方向の外側に外れた領域には共通液室４３が形成され、共通液室４３と各圧力室４５とが、圧力室４５毎に設けられた個別供給路４４を介して連通されている。共通液室４３は、複数の圧力室４５に共通に設けられた液室であり、ヘッドケース２９の導入流路３３を通じて供給されるインクを貯留する。本実施形態において、ヘッドケース２９には、弁ユニット２２の２つの導出部２７にそれぞれ連通された２本の導入流路３３が共通液室４３に対応して設けられており、これらの導入流路３３は、共通液室４３におけるＹ方向の両端部とそれぞれ連通している。これにより、共通液室４３には、Ｙ方向における両端部からインクが導入されるので、例えば共通液室４３に１つの導入流路３３からインクが導入される構成と比較して、共通液室４３から各圧力室４５へのインクの供給圧が偏ることなくより均一化することが可能となる。その結果、ノズル４７から噴射されるインクの量や飛翔速度等の吐出特性がばらつくことが抑制される。

個別供給路４４のＹＺ平面における流路断面積は、圧力室４５のＹＺ平面における断面積よりも小さく設定されている。圧力室４５において個別供給路４４側とは反対側には、流路基板３９の厚さ方向であるＺ方向を貫通したノズル連通口４６が形成されている。このノズル連通口４６は、圧力室４５とノズルプレート４０のノズル４７とを１対１で連通させる流路である。なお、流路基板３９におけるこれらの圧力室４５、個別供給路４４、および、ノズル連通口４６は、例えば異方性エッチングにより形成されている。

上記振動板４１は、支持板４９と弾性膜５０とが積層された二重構造である。本実施形態では、例えば金属板の一種であるステンレス板が支持板４９とされ、この支持板４９の表面に樹脂フィルムが弾性膜５０として接合された複合板材により振動板４１が構成されている。この振動板４１には、圧力室４５の容積を変化させるダイヤフラム５１が設けられている。ダイヤフラム５１は、エッチング加工等によって支持板４９を部分的に除去することで作製される。即ち、このダイヤフラム５１は、圧電素子３５の先端面が接合される部分が島部５２として残された状態で、その周囲の支持板４９が環状に除去されて弾性膜５０のみをされることで構成されている。そして、この島部５２に圧電素子３５の先端面が接合されているので、この圧電素子３５が伸縮すると、これに応じてダイヤフラム５１が変位し、これにより圧力室４５の容積が変動する。この容積変動に伴って圧力室４５内のインクに圧力変動（換言すると、圧力変化）が生じる。

そして、上記構成の液体吐出ヘッド１０では、共通液室４３から圧力室４５を通ってノズル４７に至るまでの流路内がインクで満たされた状態で、配線部材３７を通じて印加される駆動信号に応じて圧電素子３５が駆動されることにより、圧力室４５内のインクに圧力変動が生じ、この圧力振動によって所定のノズル４７からインクが噴射される。

次に、弁ユニット２２について説明する。
図６は、弁ユニット２２の斜視図、図７は、弁ユニット２２の右側方図、図８は、弁ユニット２２の左側方図である。また、図９は、液体導入部材２１の装着領域２４に配置された複数の弁ユニット２２のうちの隣り合う２つの弁ユニット２２の位置関係について説明する図であり、Ｚ方向に直交する方向における断面図である。なお、図６から図８においては、主にユニット本体５６の構成が図示されており、圧力調整弁５７や可撓フィルム６５等の図示は省略されている。また、図９において、隣り合う２つの弁ユニット２２のうちのＸ方向における一方（図９中、左側）に配置された弁ユニット２２を、適宜、第１弁ユニット２２−１（本発明における第１弁機構に相当）と称し、Ｘ方向における他方（図９中、右側）に配置された弁ユニット２２を、適宜、第２弁ユニット２２−２（本発明における第２弁機構に相当）と称する。したがって、液体導入部材２１の装着領域２４に３つ以上の弁ユニット２２が装着される構成において、Ｘ方向に隣り合う弁ユニット２２同士の配置関係はそれぞれ図９に示されたものと同様となる。

本実施形態における弁ユニット２２は、ユニット本体５６を有している。このユニット本体５６のＹ方向における一方の面には、２つの導入部２６ａ，２６ｂがＺ方向における位置を異ならせて設けられている。この導入部２６には、それぞれ一端がインクカートリッジ１３に接続されたインク供給チューブ１７の他端が接続される。また、ユニット本体５６のＺ方向における下面には、上述したように、液体導入部材２１の装着領域２４に設けられた液体導入針２５が挿入される２つの導出部２７ａ，２７ｂがＹ方向における位置を異ならせて設けられている。つまり、弁ユニット２２の導出部２７ａ，２７ｂには、装着領域２４においてＹ方向に並ぶ液体導入針２５の組がそれぞれ接続される。

ユニット本体５６には、第１導入部２６ａから第１導出部２７ａに至る第１供給経路と、第２導入部２６ｂから第２導出部２７ｂに至る第２供給経路と、の２つのインク供給経路が設けられている。これらの供給経路は互いに独立した流路を構成しており、それぞれに圧力調整弁５７ａ，５７ｂが設けられている。即ち、１つの弁ユニット２２は、２つの圧力調整弁５７ａ，５７ｂをそれぞれ備えている。これらの圧力調整弁５７ａ，５７ｂは、ユニット本体５６において、Ｙ方向の位置を異ならせて配置されており、また、Ｚ方向の位置は揃えられている。なお、圧力調整弁５７ａ，５７ｂのＺ方向の位置が揃えられているときに、ＸＹ平面上の少なくとも１つの方向から見て、圧力調整弁５７ａの少なくとも一部と圧力調整弁５７ｂの少なくとも一部とが重なっていればよく、さらにそれぞれの連通口６０が重なっていてもよい。このため、弁ユニット２２が液体導入部材２１の装着領域２４に装着された状態（換言すると、装着領域２４に設けられた液体導入針２５が導出部２７ａ，２７ｂに挿入された状態）では、ノズルプレート４０から各圧力調整弁５７ａ，５７ｂまでの間隔、より詳しくは、ノズルプレート４０から各圧力調整弁５７ａ，５７ｂの圧力調整弁５７ａ，５７ｂまでの間隔が揃えられている。つまり、ノズルプレート４０に対する水頭が、各圧力調整弁５７ａ，５７ｂで揃えられている。このため、各圧力調整弁５７ａ，５７ｂより下流、即ち、ノズル４７側に供給されるインクの供給圧が揃えられるので、ノズル列４８における各ノズル４７の吐出特性のばらつきを抑制することができる。

ユニット本体５６の両側面には、圧力調整弁５７ａ，５７ｂを収容する弁収容室５８ａ，５８ｂ（換言すると、上流液室）がＹ方向における位置を異ならせて設けられている。即ち、第１導入部２６ａから第１導出部２７ａに至る第１供給経路に対応する圧力調整弁５７ａを収容する第１弁収容室５８ａが、本実施形態においてはユニット本体５６の右側面であって、Ｙ方向における導入部２６側に偏らせて設けられている。また、第２導入部２６ｂから第２導出部２７ｂに至る第２供給経路に対応する圧力調整弁５７ｂを収容する第２弁収容室５８ｂが、本実施形態においてはユニット本体５６の左側面であって、Ｙ方向における導入部２６側とは反対側に偏らせて設けられている。これらの弁収容室５８ａ，５８ｂは、ユニット本体５６の側面から反対側の側面に向けて窪ませて形成された、略円形の開口形状を有する凹部である。ユニット本体５６において弁収容室５８ａ，５８ｂとは反対側の側面には、それぞれ圧力調整室５９ａ，５９ｂ（本発明における下流液室の一種）が形成されている。これらの圧力調整室５９ａ，５９ｂは、弁収容室５８ａ，５８ｂの開口面積よりも大きい開口面積に設定された略円形の開口形状を有する凹部であり、それぞれ対応する弁収容室５８ａ，５８ｂと連通口６０を通じて連通している。

上記ユニット本体５６の両側面には、例えば、ポリフェニレンサルファイドフィルムまたはポリイミドフィルム等の合成樹脂製フィルムで構成された可撓フィルム６５が、熱溶着または接着剤により接合されている。これにより、ユニット本体５６の両側面に開口している圧力調整室５９ａ，５９ｂや弁収容室５８ａ，５８ｂ等の流路は、可撓フィルム６５によって閉鎖されている。この可撓フィルム６５において、圧力調整室５９の開口部分を塞いで当該圧力調整室５９の一部を区画している部分（換言すると、圧力調整室５９の圧力変化に応じて変位する部分）と、後述する受圧板６７とが、下流側蓋部材６９として機能する。同様に、可撓フィルム６５において、弁収容室５８の開口部分を塞いで当該弁収容室５８の一部を区画している部分は、上流側蓋部材７０として機能する。

２つの導入部２６ａ，２６ｂのうち、Ｚ方向における上側の第１導入部２６ａから導入されたインクは、ユニット本体５６の右側面に形成された第１連通路６１を介して弁収容室５８ａに流入する。弁収容室５８ａに流入したインクは、後述する圧力調整弁５７ａが連通口６０を開くと、当該連通口６０を介して圧力調整室５９ａに流入し、当該圧力調整室５９ａに開口した導出口６３を通じて第１導出部２７ａに送り出される。同様に、Ｚ方向における下側の第２導入部２６ｂから導入されたインクは、ユニット本体５６の右側面に形成された第２連通路６２ａと、当該第２連通路６２ａと連通孔６４を介して連通しユニット本体５６の左側面に形成された第２連通路６２ｂと、を通じて弁収容室５８ｂに流入する。そして、後述する圧力調整弁５７ｂが連通口６０を開くと、連通口６０を介して圧力調整室５９ｂに流入し、当該圧力調整室５９ｂに開口した導出口６３を通じて導出部２７ｂに送り出される。

図９に示されるように、ユニット本体５６の側面における各弁収容室５８（５８ａ，５８ｂ）の開口部よりも少し反対の側面側に窪んだ位置には、当該弁収容室５８を塞ぐ状態でバネ受け座７２がそれぞれ嵌め込まれている。このバネ受け座７２には、インクが流通可能な流通孔７５が形成されている。弁収容室５８を閉鎖している可撓フィルム６５とバネ受座７２との間には隙間が形成されており、当該隙間には、さらにフィルター７３が、弁収容室５８の開口部を覆う状態で設けられている。このフィルター７３は、導入部２６側から弁収容室５８側に流入するインクを濾過する。

上記弁収容室５８ａ，５８ｂは、それぞれ圧力調整弁５７ａ，５７ｂ（本発明における弁体の一種）を収容している。圧力調整弁５７は、連通口６０に軸部５４を挿通して、当該軸部５４の先端部を圧力調整室５９内に突出させている。また、圧力調整弁５７は、連通口６０の開口面積よりも広い面積を有する円盤状のシール部５５を弁収容室５８内に備えている。シール部５５は、連通口６０の開口周縁部に対して進退することにより連通口６０を開閉する部分である。シール部５５の連通口６０の開口周縁部に対向する面には、突起状の弾性材が通口６０の開口周縁部に対応させて環状に設けられており、当該弾性材を連通口６０の開口周縁部に接触させることで連通口６０をシールする。シール部５５の背面、即ち、フィルター７３と対向する側の面には、弁付勢部材７４の一端が接続されており、この弁付勢部材７４の他端は、バネ受け座７２に接続されている。この弁付勢部材７４は、圧力調整弁５７を閉弁側、即ち、圧力調整室５９側に付勢している。

圧力調整室５９において連通口６０の開口周縁部には、円筒状の隆起部７６が突設されている。圧力調整室５９内に突出した軸部５４の先端部には、コイルバネ等から構成される受圧板付勢部材６６を介して円盤状の受圧板６７が設けられている。この受圧板付勢部材６６は、隆起部７６の頂面に取り付けられており、下流側蓋部材６９を構成している受圧板６７及び可撓フィルム６５を圧力調整室５９の外側に付勢している。このため、圧力調整弁５７が連通口６０を閉じ、圧力調整室５９内にインクが十分に満たされた状態では、下流側蓋部材６９は、ユニット本体５６における圧力調整室５９の開口面よりも外側に膨出する。即ち、可撓フィルム６５の受圧板６７に対応する部分が、可撓フィルム６５とユニット本体５６との溶着位置よりも外側（弁収容室５８とは反対側）に位置する。この状態では、受圧板６７は、圧力調整弁５７の軸部５４の先端には接触せず、両者の間には所定の間隙が形成される。

上記の構成において、弁ユニット２２の導入部２６（２６ａ，２６ｂ）には、インクカートリッジ１３側からインク供給チューブ１７を通じてインクが供給される。ここで、液体吐出ヘッド１０がノズル４７からインクを吐出しない非記録状態、すなわちインクを消費しない状態においては、弁付勢部材７４による付勢力が、圧力調整弁５７におけるシール部５５に作用する。また、シール部５５には導入部２６側から弁収容室５８に供給されるインクの圧力も加わっている。これにより、圧力調整弁５７のシール部５５は、連通口６０の開口周縁部に接触して当該連通口６０を閉鎖し、閉弁状態となる。

一方、液体吐出ヘッド１０が記録状態、つまり、ノズル４７からインクが吐出されることでインクを消費する状態においては、圧力調整室５９内のインクの減少に伴い、当該圧力調整室５９の内部の圧力が大気圧よりも低下すると、下流側蓋部材６９である可撓フィルム６５が受圧板６７を伴って弁収容室５８側（換言すると、圧力調整室５９の底部側）に変位する。可撓フィルム６５がある程度、より具体的には、受圧板６７と、圧力調整弁５７の軸部５４の先端との間隙に相当する距離だけ弁収容室５８側に変位すると、受圧板６７が圧力調整弁５７の軸部５４の先端部に接触する。この状態から圧力調整室５９の内部の圧力がさらに低下し、その負圧が、受圧板付勢部材６６、弁付勢部材７４、インクの供給圧、及び可撓フィルム６５の変位による反力の和（以下、適宜、バルブ閉成力ともいう。）よりも大きくなると、受圧板６７が当該バルブ閉成力に抗しながら軸部５４を押圧し、圧力調整弁５７を弁収容室５８側に向けて変位させる。これにより、シール部５５による連通口６０の周縁部への接触状態が解かれ、圧力調整弁５７は閉弁状態から開弁状態に変換する。

開弁状態に変換されると、弁収容室５８内におけるインクは、連通口６０を通じて圧力調整室５９内に供給され、これにより圧力調整室５９内部の圧力が上昇する。これに伴い、圧力調整弁５７は、上記のバルブ閉成力によって閉成方向（即ち、圧力調整室５９側）に移動して再び閉弁状態に切り換えられる。その結果、弁収容室５８から圧力調整室５９へのインクの供給が停止される。上記構成において、下流側蓋部材６９の面積、即ち、圧力調整室５９の圧力変化に応じて変位する部分の受圧面積は、上流側蓋部材７０の面積よりも大きく設定されることにより、圧力調整室５９の圧力変化に応じた圧力調整弁５７の開閉動作の精度を向上させることができる。即ち、受圧面積が広いほど、ユニット本体５６や可撓フィルム６５の形状や厚み等の製造誤差の影響を小さくすることができるので、圧力調整弁５７の開閉動作をより安定させることができる。

本実施形態における液体導入部材２１の装着領域２４には、合計５つの弁ユニット２２がＸ方向に並べて装着され、さらに、図２に示されるように、これらの弁ユニット２２を収容空間５３に収容した状態で、ホルダー２３が取り付けられている。ホルダー２３は、下部が開放された箱体状の部材であり、装着領域２４を囲む四方の側壁７８と、これらの側壁７８の上部に設けられた天井面７９とから構成されている。この天井面７９には、収容空間５３に配置された各弁ユニット２２の導入部２６に接続されるインク供給チューブ１７が挿通される挿通口８０が各弁ユニット２２に対応する位置にそれぞれ形成されている。そして、これらの挿通口８０にインク供給チューブ１７が挿通されて、対応する弁ユニット２２の導入部２６に接続される。

ここで、本発明に係る液体吐出ヘッド１０では、各ノズル４７の吐出特性を揃えつつ、液体吐出ヘッド１０の小型化が図られている。本実施形態においては、各弁ユニット２２が配置される装着領域２４における液体導入針２５の配列に関し、図３に示されるように、Ｙ方向において隣接する液体導入針２５の形成間隔（即ち、中心間距離）Ｐ１は、Ｘ方向において隣接する液体導入針２５の形成間隔Ｐ２以上に設定されている。したがって、装着領域２４に装着される弁ユニット２２のＸ方向における配置間隔、即ち、隣り合う弁ユニット２２の導出部２７同士の中心間距離はＰ２となり、また、各弁ユニット２２の下面にＹ方向に並ぶ導出部２７ａ，２７ｂの中心間距離はＰ１に設定されている。

このため、図９に示されるように、隣り合う弁ユニット２２は、下流側蓋部材６９が最も外側に膨出した際に、対向する弁ユニット２２に接触しない範囲内においてできるだけ互いに近づけて配置されている。本実施形態では、Ｘ方向に並ぶ一方の第１弁ユニット２２−１において他方の第２弁ユニット２２−２側の面（本実施形態では右側面）に設けられた下流側蓋部材６９ｂは、第２弁ユニット２２−２の上流側蓋部材７０ｂと対向し、他方の第２弁ユニット２２−２において一方の第１弁ユニット２２−１側の面（本実施形態では左側面）に設けられた下流側蓋部材６９ａは、第１弁ユニット２２−１の上流側蓋部材７０ａと対向している。つまり、Ｘ方向から見たときに、第２弁ユニット２２−２の上流側蓋部材７０ｂは、第１弁ユニット２２−１の下流側蓋部材６９ｂと重なる位置に配置されている。Ｙ方向から見たときに、これらの下流側蓋部材６９ｂと上流側蓋部材７０ｂとはユニット本体５６の外側に最大限に膨出した状態においても接触することなく、両者の間には隙間Ｇが生じる。同様に、Ｘ方向から見たとき、第１弁ユニット２２−１の上流側蓋部材７０ａは、第２弁ユニット２２−２の下流側蓋部材６９ａと重なる位置に配置されており、Ｙ方向から見たときに、両者はユニット本体５６の外側に最大限に膨出した状態においても互いに接触することなく隙間Ｇが生じる。

本実施形態の構成によれば、各弁ユニット２２の下流側蓋部材６９が変位する際に、隣り合う弁ユニット２２の上流側蓋部材７０と接触することが無いので、圧力調整室５９の圧力変化に応じた圧力調整弁５７の開閉動作を支障なく行うことができる。そして、第１弁ユニット２２−１において第２弁ユニット２２−２側の面に設けられた下流側蓋部材６９ｂと、第２弁ユニット２２−２において第１弁ユニット２２−１側の面に設けられた下流側蓋部材６９ａとは、互いにＹ方向における位置を異ならせて配置されているが、Ｙ方向から見たときに、両者はユニット本体５６の外側に最大限に膨出した状態において互いに重なる位置関係及び間隔で配置されている。

このように、下流側蓋部材６９が最も外側に膨出した状態で対向する弁ユニット２２に接触しない範囲内で隣り合う弁ユニット２２同士ができるだけ近づけて配置されているため、ホルダー２３における各弁ユニット２２の間には、壁が設けられていない。即ち、少なくとも、第１弁ユニット２２−１と第２弁ユニット２２−２との間の隙間Ｇのうち、Ｘ方向から見て下流側蓋部材６９（６９ａ，６９ｂ）と重なる領域において壁を有しない。但し、例えば、ホルダー２３における各弁ユニット２２の間に、Ｘ方向から見て下流側蓋部材６９と重なる領域における弁ユニット２２間の隙間Ｇに影響の無い（つまり、当該隙間Ｇを広げない）程度の厚さのリブ等のように、弁ユニット２２の配置位置を規定する部分が、上記領域から外れた位置にあっても良い。

本発明に係る液体吐出ヘッド１０によれば、ホルダー２３においてＸ方向に隣り合う弁ユニット２２の間に壁が無く、弁ユニット２２同士が可及的に近づけて配置されているので、Ｘ方向において液体吐出ヘッド１０の小型化が可能となる。そして、液体吐出ヘッド１０を搭載する液体噴射装置１では、液体吐出ヘッド１０がＸ方向に小型化された分だけ、当該液体吐出ヘッド１０の走査範囲を縮小できるので、Ｘ方向において装置全体としての小型化が可能となる。また、上述したように、各弁ユニット２２において、ノズルプレート４０から圧力調整弁５７までの間隔が揃えられているので、圧力調整弁５７より下流、即ち、ノズル４７側に供給されるインクの供給圧が各弁ユニット２２の間で揃えられる。これにより、ノズル列４８間の吐出特性のばらつきを抑制することができる。さらに、弁ユニット２２は、Ｙ方向に並ぶ２つの圧力調整弁５７ａ，５７ｂを備え、それぞれに対応する下流側蓋部材６９ａ，６９ｂ同士をＹ方向において互いに離れた位置に配置しているので、これらの受圧面積をより大きく確保することができる。これにより、上述したように、圧力調整室５９の圧力変化に応じた圧力調整弁５７の開閉動作の精度を向上させることができる。本実施形態においては、さらに、下流側蓋部材６９ａ，６９ｂが、Ｘ方向における互いに反対側の面に設けられており、また、弁ユニット２２におけるノズルプレート４０から各圧力調整弁５７ａ，５７ｂまでの間隔が揃えられているので、各圧力調整弁５７ａ，５７ｂより下流のインクの供給圧が揃えられ、これにより、ノズル列４８における各ノズル４７の吐出特性のばらつきを抑制することができる。

なお、上記実施形態では、液体吐出ヘッド１０が媒体の幅方向に走査しながらインクの吐出を行う構成を例示したが、これには限られず、媒体の搬送方向に交差する方向に単位ヘッドを複数配列した単位ヘッド群を有し、この単位ヘッド群によって形成されるノズル群の全長が媒体の最大記録幅に対応し、媒体の幅方向への走査が行われない所謂ライン型液体吐出ヘッドにも本発明を適用することができる。
また、上記実施形態では、共通液室４３に２つの導入流路３３が設けられていたが、１つの導入流路３３が設けられるだけでもよく、３つ以上の導入流路３３が設けられるのでもよい。
また、上記実施形態では、液体導入針２５に弁ユニット２２を装着したが、液体貯留容器を装着してもよい。

この他、本発明は、弁ユニットを複数備えた構成を採用する液体吐出ヘッド、これを備える液体吐出装置にも適用することができる。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材吐出ヘッド、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイ、ＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材吐出ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物吐出ヘッド等を複数備える液体吐出ヘッド、及び、これを備える液体吐出装置にも本発明を適用することができる。

１…液体噴射装置，２…フレーム，３…プラテン，４…ガイド部材，５…キャリッジ，６…パルスモーター，７…駆動プーリー，８…遊転プーリー，９…タイミングベルト，１０…液体吐出ヘッド，１１…キャッピング機構，１２…キャップ，１３…インクカートリッジ，１４…カートリッジホルダー，１７…インク供給チューブ，１８…ＦＦＣ，２０…ヘッド本体部，２１…液体導入部材，２２…弁ユニット，２３…ホルダー，２４…装着領域，２５…液体導入針，２６…導入部，２７…導出部，２９…ヘッドケース，３０…流路ユニット，３１…アクチュエーターユニット，３２…収容室，３３…導入流路，３５…圧電素子，３６…固定板，３７…配線部材，３９…流路基板，４０…ノズルプレート，４１…振動板，４３…共通液室，４４…個別供給路，４５…圧力室，４６…ノズル連通口，４７…ノズル，４８…ノズル列，４９…支持板，５０…弾性膜，５１…ダイヤフラム，５２…島部，５３…収容空間，５４…軸部，５５…シール部，５６…ユニット本体，５７…圧力調整弁，５８…弁収容室，５９…圧力調整室，６０…連通口，６１…第１連通路，６２…第２連通路，６３…導出口，６４…連通路，６５…可撓フィルム，６６…受圧板付勢部材，６７…受圧板，６９…下流側蓋部材，７０…上流側蓋部材，７２…バネ受座，７３…フィルター，７４…弁付勢部材，７５…流通孔，７６…隆起部，７８…側壁，７９…天井面，８０…挿通口

Claims (8)

1. 弁体よりも下流の流路内の圧力に応じて前記弁体を開閉する弁機構と、
   前記弁機構から供給された液体を吐出する複数のノズルが設けられたノズルプレートと、
   複数の前記弁機構を収容する収容空間を有するホルダーと、
   を備え、
   複数の前記ノズルは、互いに直交する３つの方向である第１方向、第２方向、第３方向のうち前記ノズルプレートに垂直な方向を第１方向とした場合に、前記第２方向と前記第３方向とに沿った前記ノズルプレートに複数並べられ、
   前記弁機構は、前記第３方向に隙間を空けて並べられた第１弁機構と、第２弁機構と、を含み、
   前記第１弁機構及び前記第２弁機構は、前記弁体より下流の下流液室の一部を区画すると共に当該下流液室内の圧力に応じて変位する下流側蓋部材を、互いに対向するようにそれぞれ有し、
   前記第１方向において、前記ノズルプレートと第１弁機構の前記弁体との間隔と、前記ノズルプレートと第２弁機構の前記弁体との間隔と、は揃えられ、
   前記ホルダーは、前記第１弁機構と前記第２弁機構との前記隙間のうち、前記第３方向から見て前記下流側蓋部材と重なる領域において壁を有しないことを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 弁体よりも下流の流路内の圧力に応じて前記弁体を開閉する弁機構と、
   前記弁機構から供給された液体を吐出する複数のノズルが設けられたノズルプレートと、
   を備え、
   複数の前記ノズルは、互いに直交する３つの方向である第１方向、第２方向、第３方向のうち前記ノズルプレートに垂直な方向を第１方向とした場合に、前記第２方向と前記第３方向とに沿った前記ノズルプレートに複数並べられ、
   前記弁機構は、前記第３方向に隙間を空けて並べられた第１弁機構と、第２弁機構と、を含み、
   前記第１弁機構及び前記第２弁機構は、前記弁体より下流の下流液室の一部を区画すると共に当該下流液室内の圧力に応じて変位する下流側蓋部材を、互いに対向するようにそれぞれ有し、
   前記第１方向において、前記ノズルプレートと第１弁機構の前記弁体との間隔と、前記ノズルプレートと第２弁機構の前記弁体との間隔と、は揃えられ、
   第１弁機構の前記下流側蓋部材と、前記第２弁機構の前記下流側蓋部材とは、第３方向における位置が異なり、かつ、第２方向から見て互いに少なくとも一部で重なることを特徴とする液体吐出ヘッド。
3. 前記弁機構からの液体を前記ノズルに導入する液体導入部が、複数の前記ノズルがノズル列を形成する前記第２方向に沿って複数並べられてなる液体導入部の組が、前記第３方向に沿って複数組並べられ、
   前記第２方向において隣接する前記液体導入部の形成間隔が、前記第３方向において隣接する前記液体導入部の形成間隔以上であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 液体を吐出する複数のノズルが設けられたノズルプレートと、
   前記ノズル側に液体を導入するための複数の液体導入部と、
   を備え、
   複数の前記ノズルは、前記ノズルプレートに垂直な第１方向に直交する第２方向に沿って並べられてノズル列を形成し、前記ノズル列は、前記第１方向及び前記第２方向のそれぞれに直交する第３方向に沿って複数並べられ、
   前記液体導入部が前記第２方向に沿って複数並べられてなる液体導入部の組が、前記第３方向に沿って複数組並べられ、
   前記第２方向において隣接する前記液体導入部の形成間隔が、前記第３方向において隣接する前記液体導入部の形成間隔以上であることを特徴とする液体吐出ヘッド。
5. 弁体よりも下流の流路内の圧力に応じて前記弁体を開閉して、前記液体導入部への液体の供給を制御する弁機構を複数備え、
   複数の前記弁機構は、前記液体導入部の組にそれぞれ接続されて前記第３方向に並べて配置され、
   前記第１方向において、前記ノズルプレートと第１弁機構の前記弁体との間隔と、前記ノズルプレートと第２弁機構の前記弁体との間隔と、が揃えられたことを特徴とする請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記液体導入部の組を構成する前記液体導入部の数は、前記第３方向に並ぶ前記液体導入部の組の数より少なく、
   前記第２方向において隣接する前記液体導入部の形成間隔が、前記第３方向において隣接する前記液体導入部の形成間隔よりも大きいことを特徴とする請求項３から請求項５の何れか一項に記載の液体吐出ヘッド。
7. 複数の前記弁機構を収容する収容空間を有するホルダーを備え、
   前記ホルダーは、前記第１弁機構と前記第２弁機構との前記隙間のうち、前記第３方向から見て前記下流側蓋部材と重なる領域において壁を有しないことを特徴とする請求項２から請求項６の何れか一項に記載の液体吐出ヘッド。
8. 請求項１から請求項７の何れか一項に記載の液体吐出ヘッドを備えることを特徴とする液体吐出装置。

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