JP2009188178A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】N-ドリフト層23の主面に、主たる半導体素子の表面構造および第1Pウェル24bが設けられている。温度検出用ダイオード22は、第1Pウェル24b内のNウェル25内に設けられたP+アノード領域26と、さらにその中のN+カソード領域27により構成されており、主たる半導体素子に対して接合分離されている。第1Pウェル24bは、寄生サイリスタによるラッチアップ破壊を防ぎ得る程度に十分に高濃度で、かつ十分に深くなっている。Nウェル25とP+アノード領域26が短絡し、寄生サイリスタによるラッチアップ破壊を防ぐ。
【選択図】図1
Description
図1は、この発明の実施の形態1にかかる半導体装置の構成を示す断面図である。図1に示すように、この半導体装置100は、第1半導体層であるN-ドリフト層23の第1主面に、第2半導体領域である第1Pウェル24bを備えている。この第1Pウェル24b内には、第3半導体領域であるNウェル25が設けられている。温度検出用ダイオード(温度検出用素子)22は、このNウェル25内に設けられている。
図4は、この発明の実施の形態2にかかる半導体装置の構成を示す断面図である。図4に示すように、この半導体装置200は、図1に示す実施の形態1の半導体装置100において、第1Pウェル24bを図示しない主半導体素子のP型チャネル領域と同時に形成したものである。第2Pウェル24cは、主半導体素子のP型チャネル領域と同時に形成される。従って、実施の形態1では、第1Pウェル24bの深さと第2Pウェル24cの深さは必ずしも同じではない。特に限定しないが、図1に示す例では、第1Pウェル24bが第2Pウェル24cよりも浅くなっている。それに対して、図4に示す実施の形態2では、第1Pウェル24bは、第2Pウェル24cと同じ深さになっている。その他の構成は、実施の形態1と同様である。
図5は、この発明の実施の形態3にかかる半導体装置の構成を示す断面図である。図6は、実施の形態3にかかる半導体装置の平面レイアウトの一例を示す平面図である。図5および図6に示すように、この半導体装置300は、図1に示す実施の形態1の半導体装置100において、Nウェル25の側方をトレンチゲート構造41で囲む構成としたものである。このトレンチゲート構造41によって、横方向のnpnトランジスタが動作するのを抑えることができるので、横方向でラッチアップが起こるのを抑制することができる。
図7は、この発明の実施の形態4にかかる半導体装置の構成を示す断面図である。図7に示すように、この半導体装置400は、図1に示す実施の形態1の半導体装置100において、第1Pウェル24bの側方をトレンチゲート構造41で囲む構成としたものである。このトレンチゲート構造41によって、横方向のnpnトランジスタが動作するのを完全に抑えることができるので、横方向でラッチアップが起こるのを防ぐことができる。トレンチゲート構造41については、実施の形態3と同様である。その他の構成は、実施の形態1と同様である。
図8は、この発明の実施の形態5にかかる半導体装置の構成を示す断面図である。図8に示すように、この半導体装置500は、図1に示す実施の形態1の半導体装置100において、第1Pウェル24bに電極32が接触しており、この電極32を介して、図示しない主半導体素子のエミッタ(ソース)電位と同じ電位が第1Pウェル24bに印加される。つまり、第1Pウェル24bは、主半導体素子の接地電極であるエミッタ(ソース)電極に接続されていることになる。これによって、スイッチング時の電圧変化(dV/dt)が緩やかになるので、高dV/dtに起因するラッチアップが起こるのを抑制することができる。その他の構成は、実施の形態1と同様である。なお、実施の形態2〜4の各構成においても、第1Pウェル24bを主半導体素子の接地電極に接続してもよい。
図9は、この発明の実施の形態6にかかる半導体装置の構成を示す断面図である。図9に示すように、この半導体装置600は、図1に示す構成の温度検出用ダイオード22とその周辺構造を含めた構成のものである。第2Pウェル24cは、ダイバータ51のホール引き抜き領域を構成している。主半導体素子21は、Pチャネル領域61、p+ボディ領域62、n+エミッタ(ソース)領域63、ゲート絶縁膜64、ゲート電極65およびエミッタ(ソース)電極66を備えている。図示例では、ホール引き抜き電極31は、エミッタ(ソース)電極66と一体となっており、同一パターンにより形成されている。
22 温度検出用素子
23 第1半導体層
24b 第2半導体領域
25 第3半導体領域
26 第4半導体領域
27 第5半導体領域
41 トレンチゲート構造
66 接地電極
100,200,300,400,500,600 半導体装置
Claims (4)
- 第1導電型の第1半導体層の主面に表面構造が設けられた主たる半導体素子と、
前記主たる半導体素子の前記表面構造から離れて前記第1半導体層の前記主面に選択的に設けられた第2導電型の第2半導体領域と、
前記第2半導体領域内に設けられた第1導電型の第3半導体領域と、
前記第3半導体領域内に設けられた第2導電型の第4半導体領域と、
前記第4半導体領域内に設けられた第1導電型の第5半導体領域と、
を備え、前記第3半導体領域と前記第4半導体領域が電気的に接続されており、かつ、前記主たる半導体素子の温度を検出するための温度検出用素子は、前記第4半導体領域をアノードおよびカソードのうちの一方とし、前記第5半導体領域をアノードおよびカソードのうちの他方とするダイオードであることを特徴とする半導体装置。 - 前記第2半導体領域は、前記主たる半導体素子の電極に対して絶縁されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記第2半導体領域は、前記主たる半導体素子の接地電極に接続されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記第2半導体領域は、トレンチで囲まれていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載の半導体装置。
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