JP7113386B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
以下、図面を参照しながら、本開示の実施形態に係る半導体装置を説明する。ここでは、炭化珪素半導体装置を例に説明する。なお、本実施形態の半導体装置は、炭化珪素以外の半導体を用いた装置であってもよい。例えばシリコン半導体装置であってもよい。
図1Bおよび図1Cは、それぞれ、半導体装置1000におけるメイン領域20および温度センス領域21の模式的な断面図である。図1Bは、図1AにおけるIb-Ib’線に沿った断面構造を示す。図1Cは、図1AにおけるIc-Ic’線に沿った断面構造を示す。
各単位セル31は、第1炭化珪素半導体層100内において、第2導電型のボディ領域(ベース領域ともいう)103と、第1導電型のソース領域104と、第1導電型のドリフト領域102とを有する。
温度センサ部32は、図1Bに示すように、第2導電型のセンスボディ領域203と、第1導電型の第1領域205と、第1導電型の第2領域206と、第2導電型の第3領域211と、第1電極15および第2電極16と、第1導電型の温度センス通電層208とを備える。第1領域205および第2領域206と、これらの間に位置する第3領域211とは、第1導電型がn型、第2導電型がp型の場合にはnpn接合を形成し、第1導電型がp型、第2導電型がn型の場合にはpnp接合を形成する。
図1Bに示すように、分離部33は、第1炭化珪素半導体層100内にセンスボディ領域203と離間して配置された第2導電型の分離ボディ領域303と、第1炭化珪素半導体層100のうち分離ボディ領域303とセンスボディ領域203との間に位置する第1導電型の第4領域311とを有する。分離ボディ領域303は、ソース電極14に電気的に接続されている。第4領域311の少なくとも一部上に、第1導電型の分離強化層308が配置されていてもよい。
図1Cに示すように、配線部34は、第2導電型の配線下ボディ領域403と、第1導電型のボディキャップ層408とを有する。
次いで、図2A~図2Cを参照しながら、半導体装置1000の平面構造を説明する。
ここで、本実施形態における温度センサ部32の動作を、例えば特許文献1に開示された従来の半導体装置における温度センサと比較して説明する。
前述したように、例えば特許文献1は、SiC半導体装置において、SiC基板内に温度センサとして機能するpnダイオードを設ける構成を開示している。本明細書では、このようなpnダイオードを「温度センサダイオード」と呼ぶ。
本実施形態では、温度センス領域における寄生バイポーラトランジスタの動作を抑制しつつ、温度センサ部32を動作させることが可能である。また、温度センサ部32を動作させるためにアノード-カソード間に印加する電圧Vacを、拡散電位VD1よりも低く抑えることができる。
次いで、温度センス通電層208および分離強化層308の構造についての本発明者による検討結果を説明する。ここでは、第1導電型がn型、第2導電型がp型の場合を例に説明するが、第1導電型がp型、第2導電型がn型であってもよい。
次に、図6Aから図6Kを参照しながら、半導体装置1000の製造方法の一例を説明する。以下の説明では、第1導電型をn型、第2導電型をp型とするが、第1導電型がp型であり、第2導電型がn型であってもよい。また、各層の材料、厚さ、不純物の種類、濃度なども例示である。
本実施形態の半導体装置は、分離部33に分離強化層308を備えていなくてもよい。また、メイン領域20にチャネル層108を備えていなくてもよい。その場合には、各単位セル31において、ゲート絶縁膜110は第1炭化珪素半導体層100の表面と接するように配置される。ゲート電極112に正電圧が印加されると、ソース領域104とJFET領域との間において、メインボディ領域103とゲート絶縁膜110の界面近傍に電子が誘起されて反転状態となり、反転層が形成される(反転チャネル構造)。
3 ゲートパッド
5 第1パッド
6 第2パッド
14 ソース電極
15 第1電極
16 第2電極
20 メイン領域
21 温度センス領域
31 単位セル
32 温度センサ部
33 分離部
34 配線部
41 ソース接続部
42 分離ボディ接続部
43 第1接続部
44 第2接続部
45 配線下ボディ接続部
51 ソースコンタクト用開口部
52 分離ボディコンタクト用開口部
55 配線下開口部
53 第1開口部
54 第2開口部
61 第3開口部
62 第4開口部
100 第1炭化珪素半導体層
101 半導体基板
102 ドリフト領域
103 メインボディ領域
104 ソース領域
107 メインボディコンタクト領域
108 チャネル層
110 ゲート絶縁膜
111 JFET領域
112 ゲート電極
113 層間絶縁層
120 ドレイン電極
200 第2炭化珪素半導体層
203 センスボディ領域
205 第1領域
206 第2領域
207 センスボディコンタクト領域
208 温度センス通電層
211 第3領域
303 分離ボディ領域
307 分離ボディコンタクト領域
308 分離強化層
311 第4領域
312 第5領域
403 配線下ボディ領域
407 配線下ボディコンタクト領域
408 ボディキャップ層
1000、2000 半導体装置
Claims (11)
- メイン領域および温度センス領域を含む半導体装置であって、
第1導電型の半導体基板と、
前記半導体基板の主面上に位置する第1の半導体層と、
前記半導体基板の前記メイン領域に配置され、かつ、互いに並列に接続された複数の単位セルと、
前記半導体基板の前記温度センス領域に配置された温度センサ部と
を備え、
前記複数の単位セルのそれぞれは、
前記第1の半導体層内に配置され、かつ、前記第1の半導体層の表面に接する第2導電型のメインボディ領域と、
前記メインボディ領域内に位置する第1導電型のソース領域と、
前記第1の半導体層のうち前記メインボディ領域および前記ソース領域以外の領域に配置された第1導電型のドリフト領域と、
前記第1の半導体層上に配置されたゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜上に配置されたゲート電極と、
前記第1の半導体層上に配置され、かつ、前記ソース領域と電気的に接続されたソース電極と、
前記半導体基板の裏面側に配置されたドレイン電極と
を有し、
前記温度センサ部は、
前記第1の半導体層内に配置され、かつ、前記第1の半導体層の表面に接する第2導電型のセンスボディ領域と、
前記センスボディ領域内に、互いに間隔を空けて配置された第1導電型の第1領域および第1導電型の第2領域と、
前記センスボディ領域内において、前記第1領域および前記第2領域の間に位置する第2導電型の第3領域と、
前記第1の半導体層上に配置され、かつ、前記第1領域の一部、前記第3領域、および前記第2領域の一部と接する第1導電型の温度センス通電層と、
前記第1領域および前記センスボディ領域に電気的に接続された第1電極と、
前記第2領域に電気的に接続された第2電極と
を有し、
前記温度センス通電層は、前記ドリフト領域よりも高い濃度で第1導電型不純物を含む、半導体装置。 - 前記温度センス領域は、前記温度センサ部と、前記メイン領域における前記複数の単位セルとを電気的に分離する分離部をさらに有し、
前記分離部は、
前記第1の半導体層内に前記センスボディ領域と離間して配置され、かつ、前記第1の半導体層の表面に接する第2導電型の分離ボディ領域であって、前記ソース電極と電気的に接続された分離ボディ領域と、
前記第1の半導体層のうち前記分離ボディ領域と前記センスボディ領域との間に位置する第1導電型の第4領域と
を有する、請求項1に記載の半導体装置。 - 前記分離部は、前記第1の半導体層上に配置され、かつ、前記第4領域と接する第1導電型の分離強化層をさらに有し、
前記分離強化層は、前記ドリフト領域よりも高い濃度で第1導電型不純物を含み、
前記分離強化層は、前記温度センス通電層と電気的に分離されている、請求項2に記載の半導体装置。 - 前記第4領域は、前記ドリフト領域よりも高い濃度で第1導電型不純物を含む、請求項2または3に記載の半導体装置。
- 前記温度センス通電層の不純物濃度は1×1017cm-3以上1×1019cm-3以下である、請求項1から4のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記温度センス通電層は島状である、請求項1から5のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記半導体基板の前記主面の法線方向から見たとき、前記第1領域は、前記第2領域を包囲するように配置されており、前記第1領域と前記第2領域との間に前記第3領域が配置されている、請求項1から6のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記複数の単位セルのそれぞれは、前記第1の半導体層と前記ゲート絶縁膜との間に、少なくとも前記メインボディ領域と接して配置された第1導電型のチャネル層をさらに備え、
前記チャネル層は、前記ドリフト領域よりも高い濃度で第1導電型不純物を含む、請求項1から7のいずれかに記載の半導体装置。 - 前記温度センサ部は、前記センスボディ領域内に位置し、かつ、前記センスボディ領域よりも高い濃度で第2導電型不純物を含む第2導電型のセンスボディコンタクト領域をさらに有し、
前記センスボディコンタクト領域は、前記第1電極と接している、請求項1から8のいずれかに記載の半導体装置。 - 前記メインボディ領域および前記センスボディ領域の深さ方向における第2導電型の不純物の濃度プロファイルは等しい、請求項1から9のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記第1の半導体層は炭化珪素半導体層である、請求項1から10のいずれかに記載の半導体装置。
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