JP2009158763A - 保護膜被覆装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】紫外光の波長の光を吸収する成分を含む液状の樹脂により保護膜10aが形成されるウエーハ10の加工面に対して、光照射手段76によって紫外光の波長領域の光を照射し、その反射光の有無を検出手段77で検出し、反射光が検出された場合に保護膜10aが被覆されていない旨を報知手段78によって報知させるようにしたので、ウエーハ10の加工面上で保護膜10aが被覆されていない領域や部分があった場合には紫外光の波長領域の反射光が保護膜10aに吸収されずに検出されることで、加工面に保護膜10aが被覆されていない状態を確認でき、この結果を報知させることで、被覆手段の点検、保護膜の被覆し直し等の対処を採ることができるようにした。
【選択図】 図5
Description
10 ウエーハ
10a 保護膜
74 被覆手段
76 光照射手段
77 検出手段
78 報知手段
711 保持テーブル
Claims (2)
- ウエーハの加工面にレーザ光線を照射してレーザ加工を施す前にウエーハの加工面に保護膜を被覆する保護膜被覆装置であって、
ウエーハを保持する保持テーブルと、
該保持テーブルに保持されたウエーハの加工面に所定の波長の光を吸収する成分を含む液状の樹脂を前記保護膜として被覆する被覆手段と、
ウエーハの加工面に所定の波長領域の光を照射する光照射手段と、
該光照射手段で照明されたウエーハの加工面からの所定の波長の反射光の有無を検出する検出手段と、
該検出手段により前記反射光が検出された場合に前記保護膜が被覆されていない旨を報知する報知手段と、
を備えることを特徴とする保護膜被覆装置。 - 前記所定の波長領域は、紫外光の波長領域、または赤外光の波長領域であることを特徴とする請求項1に記載の保護膜被覆装置。
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