JP2014215068A - 保護膜検出装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】表面に保護膜が被覆された被加工物を保持する保持テーブル2と、保持テーブル2に保持された被加工物の表面に水蒸気を噴射する水蒸気噴射手段100と、水蒸気噴射手段100により水蒸気が噴射された被加工物の表面全面を撮像する撮像手段101と、撮像手段101により撮像された表面の画像情報から画像処理により保護膜が被覆されている被覆領域と保護膜が被覆されていないために水蒸気が付着することで水滴の凹凸が形成され光の散乱が生じる非被覆領域との光の強度差により非被覆領域を検出する検出手段102と、検出手段102により非被覆領域が検出された場合にその旨を報知する報知手段103とを備え、非被覆領域がある状態で被加工物の表面側からレーザー加工を施して非被覆領域にデブリが付着するのを防止する。
【選択図】図1
Description
を備える。
2:保持テーブル 20:吸引部 21:固定部 210:押さえ部
3:レーザー照射手段 30:基台 31:照射ヘッド
4:加工送り手段
40:ボールネジ 41:ガイドレール 42:モータ 43:スライド部
5:割り出し送り手段
50:ボールネジ 51:ガイドレール 52:モータ 53:基台
6 カセット載置領域 60:カセット 61:仮置き領域 62:ガイド部
7:搬出入手段 70:挟持部
8:保護膜被覆手段
80:保護膜被覆用テーブル 81:固定部
82:樹脂供給部 820:ノズル 821:アーム部
9:搬送機構 90:回動軸 91:伸縮アーム 92:吸着部
10:保護膜検出装置
100:水蒸気噴射手段 100a:噴射領域
101:撮像手段 102:検出手段 103:報知手段
W:ウェーハ
Wa:表面 L:分割予定ライン D:デバイス
Wb:裏面
T:テープ F:フレーム
Claims (2)
- 被加工物の表面に保護膜が被覆されたか否かを検出する保護膜検出装置であって、
表面に該保護膜が被覆された被加工物を保持する保持テーブルと、
該保持テーブル上に保持された被加工物の該表面に水蒸気を噴射する水蒸気噴射手段と、
該水蒸気噴射手段により水蒸気が噴射された該被加工物の該表面全面を撮像する撮像手段と、
該撮像手段により撮像された該表面の画像情報から、画像処理により、保護膜が被覆されている被覆領域と、該保護膜が被覆されていないために水蒸気が付着することで水滴の凹凸が形成され光の散乱が生じる非被覆領域との光の強度差により、該非被覆領域を検出する検出手段と、
該検出手段により該非被覆領域が検出された場合に、その旨を報知する報知手段と、
を備える保護膜検出装置。 - 前記撮像手段は、被加工物の外径と同等の長さの測定視野を有するラインセンサであり、
前記水蒸気噴射手段は、該被加工物の外径と同等の長さの噴射領域を有する噴射孔を備えており、
該撮像手段及び該水蒸気噴射手段は、保持テーブルが移動する方向に並列に配設されており、
被加工物が保持される該保持テーブルが、該水蒸気噴射手段、該撮像手段の順にその下方を通過することで、該被加工物の該表面の全面に水蒸気を噴射した直後に、被加工物の該表面の全面の撮像を行うことを特徴とする、請求項1記載の保護膜検出装置。
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