JP2006122982A - レーザー処理装置及びレーザー処理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 レーザー光を発光するための光発振部41と光発振部41から発光されたレーザー光をウエハ表面に結像するための光学系ユニット45とを含む光照射部4から、ウエハ表面に液体を供給した状態でレーザー光を照射して所定の処理を行うにあたり、変位計5によりウエハW表面と光学系ユニット45との距離M1を計測し、この計測値に基づいて光学系ユニット45のウエハ表面からの高さ位置を補正して所定のレーザー処理を行う。ウエハ表面に凹凸がある場合でも、ウエハ表面と光学系ユニット45との距離が揃えられるので、レーザー光が均一にウエハに照射されて、面内均一性の高い処理を行うことができる。
【選択図】 図1
Description
基板保持部に水平に保持された基板の表面に液体を供給した状態でレーザー光を照射して、当該表面に対して所定の処理を行うためのレーザー処理装置において、
前記基板保持部に保持された基板に対してレーザー光を発光するための光発振部と、この光発振部から発光されたレーザー光を前記基板表面に結像するための結像部と、を含む光照射部と、
前記基板の表面におけるレーザー光の処理位置を移動させるために、前記基板保持部と前記光照射部とを相対的に水平方向に移動させるための移動機構と、
前記結像部を基板表面に対して接離自在に保持するための昇降機構と、
前記基板保持部に保持された基板表面の複数箇所の高さを計測して基板表面の高さマップを得る高さマップ取得手段と、
レーザー光により基板表面を走査するときに、前記高さマップ取得手段により得られた基板表面の高さマップに基づいて、前記結像部の前記基板表面からの高さ位置を調整するように、前記昇降機構を制御するための制御部と、を備えたことを特徴とする。
前記基板保持部に保持された基板表面の複数個所の高さを計測して基板表面の高さマップを取得する工程と、
前記取得された基板表面の高さに基づいて、結像部の前記基板表面からの高さ位置を補正する工程と、
前記補正された高さ位置に結像部を位置させて、光発振部により基板に対してレーザー光を照射して処理を行う工程と、を含むことを特徴とする。
基板に設定された計測ポイントに、前記距離計測手段からレーザー光を照射して前記計測ポイントにおける前記基板表面の高さを計測する工程と、
次いで前記光照射部から基板の前記計測ポイントに対してレーザー光を照射する前に、前記計測された基板表面の高さに基づいて、前記結像部の前記基板表面からの高さ位置を補正する工程と、
次いで前記補正された高さ位置に前記結像部を位置させて、光照射部により基板の前記計測ポイントに対してレーザー光を照射してレーザー処理を行う工程と、を含むことを特徴とする。
2 チャック
3 カップ
4 レーザ光照射部
45 光学系ユニット
47 昇降機構
5 変位計
51 ハーフミラー
6 液膜形成部
61,62 液供給ノズル
63 案内部材
64 液体回収部
7 X−Yステージ
Claims (17)
- 基板保持部に水平に保持された基板の表面に液体を供給した状態でレーザー光を照射して、当該表面に対して処理を行うためのレーザー処理装置において、
前記基板保持部に保持された基板に対してレーザー光を発光するための光発振部と、この光発振部から発光されたレーザー光を前記基板表面に結像するための結像部と、を含む光照射部と、
前記基板の表面におけるレーザー光の処理位置を移動させるために、前記基板保持部と前記光照射部とを相対的に水平方向に移動させるための移動機構と、
前記結像部を基板表面に対して接離自在に保持するための昇降機構と、
前記基板保持部に保持された基板表面の複数箇所の高さを計測して基板表面の高さマップを得る高さマップ取得手段と、
レーザー光により基板表面を走査するときに、前記高さマップ取得手段により得られた基板表面の高さマップに基づいて、前記結像部の前記基板表面からの高さ位置を調整するように、前記昇降機構を制御するための制御部と、を備えたことを特徴とするレーザー処理装置。 - 前記高さマップ取得手段は距離計測手段を備え、基板表面の高さの計測は、前記距離計測手段の計測位置に、基板上に設定された計測ポイントを位置させるように、基板を前記移動機構により移動させることにより行うことを特徴とする請求項1記載のレーザー処理装置。
- 前記基板上に設定された計測ポイントは、前記レーザー光が走査される各直線上の2箇所の位置を含み、基板の周縁に沿って設けられていることを特徴とする請求項1又は2記載のレーザー処理装置。
- 前記高さマップ取得手段は、前記2箇所の計測ポイントにて計測された基板表面の高さから、基板表面の高さ方向の傾きを直線により近似し、この直線に基づいて高さマップを作成することを特徴とする請求項3記載のレーザー処理装置。
- 基板として円形状の基板が用いられ、前記移動機構は、基板保持部をX、Y方向に移動させるように構成され、制御部は、距離計測手段の計測位置が基板の周縁部に沿って並ぶ多数の計測ポイントに、その並びに沿って順次位置するように移動機構を制御することを特徴とする請求項3または4記載のレーザー処理装置。
- 前記距離計測手段は、基板表面に対してレーザー光を照射して距離を計測するものであり、この距離計測手段から基板に対して照射されるレーザー光の光軸と、前記光照射部から基板に対して照射されるレーザー光の光軸とは同軸上に位置するように構成されていることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか一に記載のレーザー処理装置。
- 前記距離計測手段は、基板表面に対してレーザー光を照射して距離を計測するものであり、この距離計測手段から基板に対して照射されるレーザー光の光軸は、前記光照射部から基板に対して照射されるレーザー光の光軸よりも、レーザー光による処理位置の移動方向の前方側に位置するように構成されていることを特徴とする請求項1ないし6のいずれか一に記載のレーザー処理装置。
- 前記制御部は、前記距離計測手段により計測された一の計測ポイントにおける基板表面の高さに基づいて、光照射部からレーザー光を前記一の計測ポイントに照射する前に、前記昇降機構により結像部の高さ位置を補正することを特徴とする請求項7記載のレーザー処理装置。
- レーザー光による処理は、基板表面にレーザー光を照射して当該基板表面を切削する処理であり、光照射部から基板に対して照射されるレーザー光よりも、レーザー光による処理位置の後方側にレーザー光を照射して、レーザー光により切削処理された被加工物の深さを計測する深さ計測手段を備えることを特徴とする請求項1ないし8のいずれか一に記載のレーザー処理装置。
- 前記制御部は、前記被加工物の深さが予め設定された範囲を超える場合に、アラームを出力することを特徴とする請求項9記載のレーザー処理装置。
- 基板保持部に保持された基板の表面に液体を供給した状態で、光発振部から発光されたレーザー光を結像部により基板表面に結像して、当該表面に対して処理を行うためのレーザー処理方法において、
前記基板保持部に保持された基板表面の複数個所の高さを計測して基板表面の高さマップを取得する工程と、
前記取得された基板表面の高さマップに基づいて、結像部の前記基板表面からの高さ位置を補正する工程と、
前記補正された高さ位置に結像部を位置させて、光発振部により基板に対してレーザー光を照射して処理を行う工程と、を含むことを特徴とするレーザー処理方法。 - 基板保持部に保持された基板の表面に、光発振部から発光された処理用のレーザー光を結像部により結像して、当該表面に対してレーザー処理を行うための光照射部と、基板の表面にレーザー光を照射して前記基板表面の高さを計測する距離計測手段と、を備えたレーザー処理装置において、前記光照射部からのレーザー光と距離計測手段からのレーザー光を同時に基板に照射して、基板表面に対してレーザー処理を行うレーザー処理方法において、
基板に設定された計測ポイントに、前記距離計測手段からレーザー光を照射して前記計測ポイントにおける前記基板表面の高さを計測する工程と、
次いで前記光照射部から基板の前記計測ポイントに対してレーザー光を照射する前に、前記計測された基板表面の高さに基づいて、前記結像部の前記基板表面からの高さ位置を補正する工程と、
次いで前記補正された高さ位置に前記結像部を位置させて、光照射部により基板の前記計測ポイントに対してレーザー光を照射してレーザー処理を行う工程と、を含むことを特徴とするレーザー処理方法。 - 前記基板上に設定された計測ポイントは、前記レーザー光が走査される各直線上の2箇所の位置を含み、基板の周縁に沿って設けられていることを特徴とする請求項11記載のレーザー処理方法。
- 前記基板表面の高さマップを取得する工程は、前記2箇所の計測ポイントにて計測された基板表面の高さから、基板表面の高さ方向の傾きを直線により近似し、この直線に基づいて基板表面の高さマップを作成する工程であることを特徴とする請求項11又は13記載のレーザー処理方法。
- 前記基板表面の高さを計測する手段は距離計測手段であり、距離計測手段の計測位置が基板の周縁部に沿って並ぶ多数の計測ポイントにその並びに沿って順次位置するように、基板を移動させて基板表面の高さを計測することを特徴とする請求項11,13,14記載のレーザー処理方法。
- レーザー光による処理は、基板表面にレーザー光を照射して当該基板表面を切削する処理であり、光照射部から基板に対して照射されるレーザー光よりも、レーザー光による処理位置の後方側にレーザー光を照射することにより、切削処理された被加工物の深さを計測する工程を含むことを特徴とする請求項11ないし15のいずれか一に記載のレーザー処理方法。
- 前記切削処理された被加工物の深さが予め設定された範囲外である場合に、アラームを出力する工程を含むことを特徴とする請求項16記載のレーザー処理方法。
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