JP5118580B2 - 高さ位置検出装置および高さ位置検出方法 - Google Patents
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Description
a.検出面47aがレーザビーム拡散手段46に近いほど、大きくなる。
b.環状のスポット形状S3のビーム径が小さいほど、大きくなる。
という結果が得られる。
40 高さ位置検出装置
41 レーザビーム発振手段
42 環状スポット形成手段
42a,42b 円錐レンズ
43 ビームスプリッタ
44 集光器
45 ピンホールマスク
46 レーザビーム拡散手段
47 検出手段
47a 検出面
48 制御手段
49a 第1の経路
49b 第2の経路
W ワーク
Claims (3)
- 保持手段に保持されたワークの上面高さ位置を検出するための高さ位置検出装置であって、
レーザビームを発振するレーザビーム発振手段と、
該レーザビーム発振手段によって発振されたレーザビームのスポット形状を環状に形成する環状スポット形成手段と、
該環状スポット形成手段によってスポット形状が環状に形成されたレーザビームを第1の経路に導くビームスプリッタと、
前記第1の経路に導かれたレーザビームを集光して前記保持手段に保持されたワークに照射する集光器と、
前記保持手段に保持されたワークで反射したレーザビームが前記ビームスプリッタによって分光される第2の経路に配設されたピンホールマスクと、
前記第2の経路上で前記ピンホールマスクよりも後段位置に配設されてレーザビームを拡散させるレーザビーム拡散手段と、
前記レーザビームの環状スポットの略中心位置に配置され前記レーザビーム拡散手段によって拡散されたレーザビームの強度を検出する所定面積の検出面を有する検出手段と、
該検出手段によって検出された反射光の強度に基づいて前記保持手段に保持されたワークの上面高さ位置を算出する制御手段と、
を備えることを特徴とする高さ位置検出装置。 - 前記環状スポット形成手段は、レーザビームの光軸に沿って所定の間隔をあけて直列に配設された一対の円錐レンズからなることを特徴とする請求項1に記載の高さ位置検出装置。
- 保持手段に保持されたワークの上面高さ位置をレーザビームを用いて検出する高さ位置検出方法であって、
レーザビームを発振させるステップと、
発振されたレーザビームのスポット形状を環状に形成するステップと、
スポット形状が環状に形成されたレーザビームを第1の経路に導くステップと、
前記第1の経路に導かれたレーザビームを集光して前記保持手段に保持されたワークに照射させるステップと、
前記保持手段に保持されたワークで反射したレーザビームを分光させて前記第1の経路とは異なる第2の経路に導くステップと、
前記第2の経路上で、ワークの下面で反射した環状スポット形状のレーザビームは遮断させるとともにワークの上面で反射した環状スポット形状のレーザビームは通過させるステップと、
前記第2の経路上で、ワークの上面で反射した環状スポット形状のレーザビームを拡散させるステップと、
拡散されたレーザビームの強度を、所定面積の検出面を有する検出手段によって検出するステップと、
検出されたレーザビームの強度に基づいて前記保持手段に保持されたワークの上面高さ位置を算出するステップと、
を含むことを特徴とする高さ位置検出方法。
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