JP6970580B2 - レーザ加工装置及び出力確認方法 - Google Patents
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Description
レーザ加工装置1の基台10上には、割り出し送り方向であるY軸方向に保持テーブル30を往復移動させるY軸移動ユニット20が備えられている。Y軸移動ユニット20は、Y軸方向の軸心を有するボールネジ200と、ボールネジ200と平行に配設された一対のガイドレール201と、ボールネジ200を回動させるパルスモータ202と、内部のナットがボールネジ200に螺合し底部がガイドレール201に摺接する可動板203とから構成される。そして、パルスモータ202がボールネジ200を回動させると、これに伴い可動板203がガイドレール201にガイドされてY軸方向に移動し、可動板203上にX軸移動ユニット21を介して配設された保持テーブル30が可動板203の移動に伴いY軸方向に移動する。
Z軸移動ユニット22は、Z軸方向の軸心を有するボールネジ220と、ボールネジ220と平行に配設された一対のガイドレール221と、ボールネジ220を回動させるパルスモータ222と、内部のナットがボールネジ220に螺合し側部がガイドレール221に摺接する可動板223とから構成される。そして、パルスモータ222がボールネジ220を回動させると、これに伴い可動板223がガイドレール221にガイドされてZ軸方向に移動し、これに伴ってレーザビーム発振手段60がZ軸方向に移動する。
また、レーザ加工装置1は、スケール240及び図示しない読み取り部等からなり保持テーブル30のX軸方向における位置を測定するX軸方向位置測定手段24を備えている。
なお、本実施形態においては、例えば、Y軸移動ユニット20のモータ202は、図示しないパルス発振器から供給される駆動パルスによって動作するパルスモータである。よって、制御手段9は、Y軸移動ユニット20に供給する駆動パルス数をカウントすることで、保持テーブル30のY軸方向における位置を検出することも可能である。
また、例えば、制御手段9は、レーザビーム発振手段60の制御を行う。制御手段9による該制御の一例は、レーザビーム発振器601内部のQスイッチのON/OFFの制御である。
または、遮蔽部材位置づけ手段は、制御手段9による制御の下で、X軸移動ユニット21による可動板213の移動とY軸移動ユニット20による可動板203の移動とが同時になされることで、一方のレーザビームLB1のみを遮蔽する第1レーザビーム遮蔽位置と、両方のレーザビームLB1、LB2を遮蔽しない退避位置と、に遮蔽部材70を位置づける構成となっていてもよい。
なお、遮蔽部材70の形状は図4に示す例に限定されるものではない。
図1に示すY軸移動ユニット20が可動板203をY軸方向に移動させるとともに、X軸移動ユニット21が可動板213をX軸方向に移動させて、撮像手段50の撮像領域内に遮蔽部材70のエッジ70aの一部が収まるように位置づけられる。Z軸移動ユニット22が可動板223をZ軸方向に徐々に移動させて撮像手段50を遮蔽部材70の上面に向かって所定の距離ずつ近づける(又は遠ざける)とともに、撮像手段50が作動して、複数の高さ位置でカメラによる撮像が順次行われていき各撮像画像が形成され、該各撮像画像の画像処理の結果に基づいて、遮蔽部材70の上面の高さ位置に撮像手段50のカメラのピントが自動的に合わせられる。そして、撮像手段50のカメラのピントが遮蔽部材70の上面に合った時点でZ軸移動ユニット22が可動板223の移動を停止する。
また、レーザ加工装置1には、撮像手段50のこのようなオートフォーカス動作に連動して、図5に示す集光手段64の集光レンズ640の集光点の高さ位置を調整するプログラムが組み込まれており、撮像手段50のカメラのピントが遮蔽部材70の上面に合った時点で、集光レンズ640は集光点の高さ位置が遮蔽部材70の上面の高さ位置と一致するように調整された状態になる。
次に、レーザビーム発振手段60で発振され集光手段64で集光された第1光路OP1のレーザビームLB1のみを遮蔽部材70で遮蔽する遮蔽ステップを実施する。
例えば作業者がモニター画面B上の撮像画像Gを見て、遮蔽部材70の中央付近のエッジ70aの位置を把握し、撮像画像G中における遮蔽部材70のエッジ70aとモニター画面Bの中心位置(基準線L1の交点)とが重なるように、制御手段9に対して遮蔽部材70のエッジ70aの所定位置を指定する。ここで、エッジ70aが角張っている遮蔽部材70を用いたことにより、撮像手段50により形成された撮像画像G中の遮蔽部材70のエッジ70aの部分を鮮明化することができ、作業者によるエッジ70aの位置の把握及び制御手段9に対する位置指定が容易かつ正確に行える。
遮蔽ステップを実施した状態で、図7に示すレーザビーム発振器601からレーザビームLBを発振させて出力調整手段62によってレーザビームLBの出力を調整し、分岐手段63により分岐され遮蔽部材70で遮蔽されなかった第2光路OP2のレーザビームLB2を、集光手段64から取付部71の切欠部710(図4参照)を通過させて出力測定器80に照射して、第2光路OP2のレーザビームLB2の出力を測定する。
次に、合計出力測定ステップで測定した値(両レーザビームLB1、LB2の合計出力)と非遮蔽レーザビーム出力測定ステップで測定した値(第2光路OP2のレーザビームLB2の出力)とをもとに第1光路OP1に分岐されたレーザビームLB1の出力値(第1出力)と、第2光路OP2に分岐されたレーザビームLB2の出力値(第2出力)とを算出する。即ち、合計出力測定ステップで測定した値から非遮蔽レーザビーム出力測定ステップで測定した値を引いた値が、第1光路OP1に分岐されたレーザビームLB1の出力値として算出される。
また、本発明に係る出力確認方法を繰り返し実施することで遮蔽部材70はレーザビームによって徐々に加工されていくため、複数回使用された遮蔽部材70は一定のタイミングで取付部71から取り外され、新しい遮蔽部材70と交換される。
30:保持テーブル 30a:保持面 32:回転手段 33:固定クランプ
20:Y軸移動ユニット 200:ボールネジ 201:ガイドレール 202:パルスモータ 203:可動板
21:X軸移動ユニット 210:ボールネジ 211:ガイドレール 212:パルスモータ 213:可動板
22:Z軸移動ユニット 220:ボールネジ 221:ガイドレール 222:パルスモータ 223:可動板
23:Y軸方向位置測定手段 230:スケール
24:X軸方向位置測定手段 240:スケール
60:レーザビーム発振手段 600:ケーシング 601:レーザビーム発振器 602:繰り返し周波数設定手段 609:照射ヘッド
61:ミラー 62:出力調整手段
63:分岐手段 630:1/2波長板 631:ビームスプリッタ 632:ミラー 633:調整部
64:集光手段 640:集光レンズ
80:出力測定器 800:被照射部分
70:遮蔽部材 70a:エッジ 71:取付部 710:切欠部 73:ねじ
9:制御手段
W:被加工物 Wa:加工面
G:撮像画像 LB1:第1光路のレーザビーム LB2:第2光路のレーザビーム
Claims (3)
- 被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルで保持された被加工物に照射するレーザビームを発振するレーザビーム発振手段と、該レーザビーム発振手段で発振されたレーザビームを少なくとも第1光路と第2光路とに分岐する分岐手段と、該分岐手段で分岐されたレーザビームを集光して被加工物の加工面にそれぞれ集光する集光手段と、を備えたレーザ加工装置であって、
該分岐手段は、少なくとも該第1光路と該第2光路とのレーザビームの出力を調整する調整部を含み、
該レーザビーム発振手段から発振されて該集光手段を通過したレーザビームの出力を測定する出力測定器と、
該集光手段と該出力測定器との間に配設されて、該分岐手段で分岐されたレーザビームのうち該第1光路のレーザビームのみを遮蔽する第1レーザビーム遮蔽位置と、全てのレーザビームを遮蔽しない退避位置と、に遮蔽部材を位置づけ可能な遮蔽部材位置づけ手段と、
該遮蔽部材を撮像する撮像手段と、
該レーザビーム発振手段と該遮蔽部材位置づけ手段とを少なくとも制御する制御手段と、を備え、
該制御手段は、該撮像手段で該遮蔽部材を撮像した撮像画像をもとに検出した該遮蔽部材の位置に基づいて該遮蔽部材位置づけ手段を制御するレーザ加工装置。 - 前記撮像手段は、前記保持テーブルで保持された被加工物を撮像する、請求項1に記載のレーザ加工装置。
- レーザビーム発振手段で発振されたレーザビームを分岐手段で少なくとも第1光路と第2光路とに分岐するとともに集光手段で保持テーブルに保持された被加工物の加工面に対してそれぞれ集光して照射するレーザ加工装置において、分岐されたレーザビームの出力を確認する出力確認方法であって、
該レーザビーム発振手段で発振され該集光手段で集光された少なくとも該第1光路と該第2光路とのレーザビームの合計出力を測定する合計出力測定ステップと、
該レーザビーム発振手段で発振され該集光手段で集光された該第1光路のレーザビームのみを遮蔽部材で遮蔽する遮蔽ステップと、
該遮蔽ステップを実施した状態で該遮蔽部材で遮蔽されなかったレーザビームの出力を測定する非遮蔽レーザビーム出力測定ステップと、
該合計出力測定ステップで測定した値と該非遮蔽レーザビーム出力測定ステップで測定した値とをもとに、該第1光路に分岐されたレーザビームの第1出力と、該第2光路に分岐されたレーザビームの第2出力とを算出するレーザビーム出力算出ステップと、を備えた出力確認方法。
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