JPS6125011A - 光学式距離測定装置 - Google Patents
光学式距離測定装置Info
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- JPS6125011A JPS6125011A JP14448584A JP14448584A JPS6125011A JP S6125011 A JPS6125011 A JP S6125011A JP 14448584 A JP14448584 A JP 14448584A JP 14448584 A JP14448584 A JP 14448584A JP S6125011 A JPS6125011 A JP S6125011A
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- lens
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
ａ８発明の目的
（産業上の利用分野）
この発明に係る光学式距離測定装置は、例えばマニピュ
レータや三次元座標測定器に組付け、被測定面までの距
離を測定するのに利用できる。
レータや三次元座標測定器に組付け、被測定面までの距
離を測定するのに利用できる。
（従来の技術）
マニピュレータ等には被測定面までの距離を測定するた
めの距離測定装置が必要となる。このため、従来から種
々の構造の距離測定装置が知られている。
めの距離測定装置が必要となる。このため、従来から種
々の構造の距離測定装置が知られている。
例えば、被測定面にレーザビームを照射して、反射光の
受光角と移動量とを検出することにより被測定面までの
距離を求める、所謂三角測量法や、発信器から被測定面
に投射した超音波が反射して戻るまでの時間により被測
定面までの距離を求める構造のものや、被測定面にレー
ザ光を投射してその干渉縞を観察することにより、被測
定面までの距離を求める構造のもの等が知られている。
受光角と移動量とを検出することにより被測定面までの
距離を求める、所謂三角測量法や、発信器から被測定面
に投射した超音波が反射して戻るまでの時間により被測
定面までの距離を求める構造のものや、被測定面にレー
ザ光を投射してその干渉縞を観察することにより、被測
定面までの距離を求める構造のもの等が知られている。
ところが、このような従来の距離測定装置は、測定精度
が十分に得られなかったり、或は非球面レンズ等を使用
するため製作が面倒であったりして必ずしも満足な性能
を得られるものではなかった。
が十分に得られなかったり、或は非球面レンズ等を使用
するため製作が面倒であったりして必ずしも満足な性能
を得られるものではなかった。
本発明は上述のような事情に鑑み、測定精度が高くかつ
特に加工の面倒な部品を使用しなくても済む光学式距離
測定装置を提供することを目的としている。
特に加工の面倒な部品を使用しなくても済む光学式距離
測定装置を提供することを目的としている。
ｂ０発明の構成
（問題を解決するための手段）
本発明の光学式距離測定装置は、ビームスポットを照射
する光源と被測定面との間に、光源の側から順に、円錐
形の７キシコンレンズと投影レンズとを各部品の光軸を
上記光源の光軸に一致させて設けている。このアキシコ
ンレンズと投影レンズとの間にはハーフミラ−を設け、
被測定面から反射した光を側方の光電センサに導くよう
にしている。
する光源と被測定面との間に、光源の側から順に、円錐
形の７キシコンレンズと投影レンズとを各部品の光軸を
上記光源の光軸に一致させて設けている。このアキシコ
ンレンズと投影レンズとの間にはハーフミラ−を設け、
被測定面から反射した光を側方の光電センサに導くよう
にしている。
図面を参照しつつ更に詳しく説明すると、本発明の光学
式距離測定装置は、第１図に示すように、端から順に光
源１、アキシコンレンズ２、ハーフミラ−３、投影レン
ズ４を互いに直列にかつ各部品の光軸を光源ｌの光軸に
一致させて配列し、構成されている。
式距離測定装置は、第１図に示すように、端から順に光
源１、アキシコンレンズ２、ハーフミラ−３、投影レン
ズ４を互いに直列にかつ各部品の光軸を光源ｌの光軸に
一致させて配列し、構成されている。
光源ｌは、ビームスポットをアキシコンレンズ２に向け
て投射するもので、ハロゲンランプ等の通常光源の他、
レーザを光源として使用することもできる。
て投射するもので、ハロゲンランプ等の通常光源の他、
レーザを光源として使用することもできる。
アキシコンレンズ２は、円錐形状（図示の例では円錐と
円柱とを連結した形状をなしているが、円柱を省略して
円錐のみでも同効である。）をなしており、一端面から
進入した平行光線を円環状断面を有する光束に変換して
反対面から後方に投射する作用を有する。このため、光
源ｌからビームスポットをアキシコンレンズ２の一方の
側から投射すると、アキシコンレンズ２の後方には断面
が円環状の光束が送られる。
円柱とを連結した形状をなしているが、円柱を省略して
円錐のみでも同効である。）をなしており、一端面から
進入した平行光線を円環状断面を有する光束に変換して
反対面から後方に投射する作用を有する。このため、光
源ｌからビームスポットをアキシコンレンズ２の一方の
側から投射すると、アキシコンレンズ２の後方には断面
が円環状の光束が送られる。
なお、前記のアキシコンレンズ２の後方に投射される円
環状の光束の直径ｒ（第４図（Ａ））は、検出すべき距
離、要求される精度によって異なるが、数■乃至数ｃｍ
程度とし、検出すべき距離が大きくなり、要求される精
度が高くなる程直径を大きくする。このような光束の直
径ｒの調節は、アキシコンレンズ２の頂角を変えること
で容易に行なえる。
環状の光束の直径ｒ（第４図（Ａ））は、検出すべき距
離、要求される精度によって異なるが、数■乃至数ｃｍ
程度とし、検出すべき距離が大きくなり、要求される精
度が高くなる程直径を大きくする。このような光束の直
径ｒの調節は、アキシコンレンズ２の頂角を変えること
で容易に行なえる。
アキシコンレンズ２の後方に投射された断面が円環状の
光束は、ピンホール５、ハーフミラ−３を通過した後、
投影レンズ４により集束されて被測定面６に向けて投射
される。
光束は、ピンホール５、ハーフミラ−３を通過した後、
投影レンズ４により集束されて被測定面６に向けて投射
される。
この被測定面６で反射した光は、再び投影レンズ４を通
過してからハーフミラ−３で反射し、更にスリット７を
通過して光電センサ８に送られる。この光電センサ８は
、被測定面６に投射されている光の照度を検出して別途
設けた検出回路に電気信号を送り、被測定面までの距離
を検出する。
過してからハーフミラ−３で反射し、更にスリット７を
通過して光電センサ８に送られる。この光電センサ８は
、被測定面６に投射されている光の照度を検出して別途
設けた検出回路に電気信号を送り、被測定面までの距離
を検出する。
このように本発明の光学式距離測定装置に於いては、被
測定面で反射した光を光電センサで検出してこの被測定
面までの距離を求めるが、この距離を求める手段として
は次の２通りがある。
測定面で反射した光を光電センサで検出してこの被測定
面までの距離を求めるが、この距離を求める手段として
は次の２通りがある。
まず第一の手段は、投影レンズ４を前後（第１図の左右
）に動かして被測定面６上に合焦させるもので、合焦さ
せるために投影レンズ４を移動させた距離から、被測定
面６の移動距離を求めるものである。
）に動かして被測定面６上に合焦させるもので、合焦さ
せるために投影レンズ４を移動させた距離から、被測定
面６の移動距離を求めるものである。
即ち、被測定面６が第１図のＸＯ位置にある場合に被測
定面６上で断面円環状の光束が合焦していた場合、その
後この被測定面６が同図のＸ８位置まで距離りだけ平行
移動したとすると、ｘ１位置の被測定面６上に再び合焦
させるためには、投影レンズ４を被測定面が移動する方
向と同方向に距離文だけ離れた第１図の鎖線位置まで平
行移動させなければならない、このように投影レンズ４
を動かさなければならない距離見と、被測定面６の移動
距離りとの間には一定の関係（Ｌ＝ ｆ（交））がある
ため、被測定面６が移動した後、光電センサ８が合焦を
検出するまでに投影レンズ４を移動させた距離文から、
被測定面６の移動量ＭＬを求めることができる。
定面６上で断面円環状の光束が合焦していた場合、その
後この被測定面６が同図のＸ８位置まで距離りだけ平行
移動したとすると、ｘ１位置の被測定面６上に再び合焦
させるためには、投影レンズ４を被測定面が移動する方
向と同方向に距離文だけ離れた第１図の鎖線位置まで平
行移動させなければならない、このように投影レンズ４
を動かさなければならない距離見と、被測定面６の移動
距離りとの間には一定の関係（Ｌ＝ ｆ（交））がある
ため、被測定面６が移動した後、光電センサ８が合焦を
検出するまでに投影レンズ４を移動させた距離文から、
被測定面６の移動量ＭＬを求めることができる。
このように、被測定面の移動距離測定のためには、被測
定面がＸ、位置にある場合とｘ１位置にある場合との合
焦を検出する必要があるが、本発明の光学式距離測定装
置に於いては、アキシコンレンズ２によって光束の断面
を円環状にしているため、上記した合焦の検出を容易に
行なうことができる。即ち、断面が円環状の光束を被測
定面上に合焦させた場合、第２図（Ｂ）に示すように中
心部（光軸上の点）にまで光が達するが、被測定面が合
焦位置から少しでもずれると、第２図（Ａ）（Ｃ）に示
すように中心部には光が到達しなくなる。この事を言い
換えると、中心部に於いては５合焦位置の前後に於いて
照度が急激に変化することになるため、光電センサ８が
中心部の照度のみを測定するように構成すれば、合焦位
置の検出が容易かつ確実に行なえるようになる。被測定
面に投射する光束の断面形が円形の場合、合焦るため、
合焦位置の検出は困難で不確実となり勝である。
定面がＸ、位置にある場合とｘ１位置にある場合との合
焦を検出する必要があるが、本発明の光学式距離測定装
置に於いては、アキシコンレンズ２によって光束の断面
を円環状にしているため、上記した合焦の検出を容易に
行なうことができる。即ち、断面が円環状の光束を被測
定面上に合焦させた場合、第２図（Ｂ）に示すように中
心部（光軸上の点）にまで光が達するが、被測定面が合
焦位置から少しでもずれると、第２図（Ａ）（Ｃ）に示
すように中心部には光が到達しなくなる。この事を言い
換えると、中心部に於いては５合焦位置の前後に於いて
照度が急激に変化することになるため、光電センサ８が
中心部の照度のみを測定するように構成すれば、合焦位
置の検出が容易かつ確実に行なえるようになる。被測定
面に投射する光束の断面形が円形の場合、合焦るため、
合焦位置の検出は困難で不確実となり勝である。
次に第二の手段は、投影レンズ４を固定したまま、被測
定面６上の円環状に照射された部分の直径を求め、この
直径の変化量から被測定面６の移動量を求めるものであ
る。
定面６上の円環状に照射された部分の直径を求め、この
直径の変化量から被測定面６の移動量を求めるものであ
る。
即ち、被測定面６が第３図のｘＯ位置にある場合に、被
測定面６上で断面円環状の光束が合焦していた場合、こ
の被測定面６が同図のｘ１位置まで距離りだけ平行移動
したとすると、ｘ１位置の被測定面６は、直径ｒの円環
状部分が照射される。投影レンズ４を通過後の光束は円
錐状に次第に集束するため、被測定面６上の照射される
円環状部分の直径ｒは、ｘＯから投影レンズ４に向けて
近付く程大きくなり、しかもその移動距離りと円環状照
射部分の直径ｒとは比例（Ｌ＝ｋｒ、に：比例定数）す
る、従って、被測定面６が移動する前後に於ける円環状
照射部分の直径の差に比例定数ｋを乗ずれば、被測定面
６の移動距離を求めることができる。この場合、光電セ
ンサ８が光を受ける部分は被測定面までの距離に基づい
て変化するため、第１図に示した様な光電センサ直前の
スリット７は設けない。
測定面６上で断面円環状の光束が合焦していた場合、こ
の被測定面６が同図のｘ１位置まで距離りだけ平行移動
したとすると、ｘ１位置の被測定面６は、直径ｒの円環
状部分が照射される。投影レンズ４を通過後の光束は円
錐状に次第に集束するため、被測定面６上の照射される
円環状部分の直径ｒは、ｘＯから投影レンズ４に向けて
近付く程大きくなり、しかもその移動距離りと円環状照
射部分の直径ｒとは比例（Ｌ＝ｋｒ、に：比例定数）す
る、従って、被測定面６が移動する前後に於ける円環状
照射部分の直径の差に比例定数ｋを乗ずれば、被測定面
６の移動距離を求めることができる。この場合、光電セ
ンサ８が光を受ける部分は被測定面までの距離に基づい
て変化するため、第１図に示した様な光電センサ直前の
スリット７は設けない。
このように、投影レンズ４を移動させずに、被測定面上
の円環状照射部分の直径の変化量に基づいて被測定面６
の移動距離を求める場合、上記円環状照射部分の直径ｒ
を正確に測定することが正確な移動距離りを求めるため
に必要となるが１本発明の光学式距離測定装置に於いて
は、アキシコンレンズ２によって光束の断面を円環状に
しているため、このような直径の測定も容易に行なえる
。即ち、光源ｌからアキシコンレンズ２、投影レンズ４
を通って被測定面６上に照射される光のエネルギは、第
４図（Ａ）に示すような円環状照射部分（幅は実際より
も広く描いている。）に集中するため、この照射部分の
直径ｒを測定するための光電センサ８の出力が同図（Ｂ
）に示すように大きくなり、この光電センサ８の出力に
基づいて円環状照射部分の直径ｒを正確に求めることが
できる。これに対して、光束が第５図（Ａ）に示すよう
に断面円形であると、光のエネルギが広い面積に分散さ
れるため、光電センサ８の出力が同図（Ｂ）に示すよう
に小さくなって照射部分の直径ｒを正確に求め難くなる
。
の円環状照射部分の直径の変化量に基づいて被測定面６
の移動距離を求める場合、上記円環状照射部分の直径ｒ
を正確に測定することが正確な移動距離りを求めるため
に必要となるが１本発明の光学式距離測定装置に於いて
は、アキシコンレンズ２によって光束の断面を円環状に
しているため、このような直径の測定も容易に行なえる
。即ち、光源ｌからアキシコンレンズ２、投影レンズ４
を通って被測定面６上に照射される光のエネルギは、第
４図（Ａ）に示すような円環状照射部分（幅は実際より
も広く描いている。）に集中するため、この照射部分の
直径ｒを測定するための光電センサ８の出力が同図（Ｂ
）に示すように大きくなり、この光電センサ８の出力に
基づいて円環状照射部分の直径ｒを正確に求めることが
できる。これに対して、光束が第５図（Ａ）に示すよう
に断面円形であると、光のエネルギが広い面積に分散さ
れるため、光電センサ８の出力が同図（Ｂ）に示すよう
に小さくなって照射部分の直径ｒを正確に求め難くなる
。
なお、上述の説明に於いては、いずれも被測定面の移動
距離を求める場合について説明したが、第一、第二のい
ずれの手段を求める場合でも、被測定面の移動距離だけ
でなく、測定装置から被測定面までの距離を求めること
もできる。
距離を求める場合について説明したが、第一、第二のい
ずれの手段を求める場合でも、被測定面の移動距離だけ
でなく、測定装置から被測定面までの距離を求めること
もできる。
まず、第１図に示した第一の手段を用いる場合、投影レ
ンズ４を特定の場所に移動した場合に於ける測定装置か
ら合焦位置までの距離ＬＯは予め知ることができるため
、投影レンズを立だけ移動させることで被測定面上に合
焦させたとすると、その移動距離立から求めた値りを上
記距離ＬＯに加減することで、測定装置から被測定面ま
での距離を知ることができる。値りを距離ＬＯに加える
か減するかは、投影レンズの移動方向により容易に知る
ことができる。
ンズ４を特定の場所に移動した場合に於ける測定装置か
ら合焦位置までの距離ＬＯは予め知ることができるため
、投影レンズを立だけ移動させることで被測定面上に合
焦させたとすると、その移動距離立から求めた値りを上
記距離ＬＯに加減することで、測定装置から被測定面ま
での距離を知ることができる。値りを距離ＬＯに加える
か減するかは、投影レンズの移動方向により容易に知る
ことができる。
又、第３図に示した第二の手段を用いる場合、測定装置
から合焦位置までの距離Ｌｏは予め知ることができるた
め、被測定面一ヒの円環状照射部分の直径ｒに比例定数
ｋを乗じた値りを上記距離ＬＯに加減することで、測定
装置から被測定面までの距離を知ることができる。この
場合、被測定面６が合焦位置ｘｏから前後に同じ距離だ
け離れると、この被測定面上に同径の円環状照射部分が
形成されるが、被測定面が合焦位置ｘｏよりも測定装置
に近い位置にある場合、被測定面が測定装置よりも遠く
なるにつれて円環状照射部分の直径ｒが小さくなり、反
対に被測定面が合焦位置Ｘ、よりも遠くにある場合、被
測定面が測定装置から遠くなるにつ九て上記直径ｒは大
きくなるため、識別は容易に行なえる。又、この第二の
手段を用いる場合、被測定面が光軸に対して傾斜してい
ると、照射部分は歪んだ形状となるが、この歪みにより
被測定面の傾斜を知ることができる。但し、被測定面が
傾斜した場合でも被測定面までの距離測定は正確に行な
える。
から合焦位置までの距離Ｌｏは予め知ることができるた
め、被測定面一ヒの円環状照射部分の直径ｒに比例定数
ｋを乗じた値りを上記距離ＬＯに加減することで、測定
装置から被測定面までの距離を知ることができる。この
場合、被測定面６が合焦位置ｘｏから前後に同じ距離だ
け離れると、この被測定面上に同径の円環状照射部分が
形成されるが、被測定面が合焦位置ｘｏよりも測定装置
に近い位置にある場合、被測定面が測定装置よりも遠く
なるにつれて円環状照射部分の直径ｒが小さくなり、反
対に被測定面が合焦位置Ｘ、よりも遠くにある場合、被
測定面が測定装置から遠くなるにつ九て上記直径ｒは大
きくなるため、識別は容易に行なえる。又、この第二の
手段を用いる場合、被測定面が光軸に対して傾斜してい
ると、照射部分は歪んだ形状となるが、この歪みにより
被測定面の傾斜を知ることができる。但し、被測定面が
傾斜した場合でも被測定面までの距離測定は正確に行な
える。
Ｃ１発明の効果
本発明の光学式距離測定装置は以上に述べた通り構成さ
れ作用するので、構造が簡単で特に製作費を高くするこ
となく、正確な非接触式の距離測定を行なうことができ
る。
れ作用するので、構造が簡単で特に製作費を高くするこ
となく、正確な非接触式の距離測定を行なうことができ
る。
第１図は本発明の光学式距離測定装置の第一の手段の構
造を示す原理図、第２図（Ａ）〜（Ｃ）は合焦前後に於
ける被測定面上の照射部分を示す図、第３図は第二の手
段の構造を示す原理図、第４図（Ａ）（Ｂ）は被測定面
上の円環状照射部分と光電センサの出力との関係を示す
図、第５図（Ａ）（Ｂ）は光束を断面円形とした場合を
示す第４図（Ａ）（Ｂ）同様の図である。 １：光［，２ニアキシコンレンズ、３：ハーフミラ−，
４：投影レンズ、５：ビンホール、６：被測定面、７：
スリット、８：光電センサ。 手続補正書印発） 昭和５９年１２月ｌ↓日 特許庁長官 志 賀 学 殿 １、事件の表示 昭和５９年特許願第１４４４８５号 ２、発明の名称 光学式距離測定装置 ３、補正をする者 事件との関係 出 願 人 木 下 源 −部 株式会社 小 坂 研 究 所 ４、代理人〒１０４ ５、 補正により増加する発明の数 ０８、補正の
対象 明細書の特許請求の範囲、発明の詳細な説明の各欄７、
補正の内容 （１）第１〜２頁の特許請求の範囲を別紙の通り補正す
る。 （２）第３頁下から第４行の「円錐形」の「円」を削除
する。 （３）第４頁下から第８行の「円錐形」の「円」を削除
する。 （４）同頁下から第６行の「同効である。」の前に「、
或は円錐以外の角錐形状でも」と加入する。 （５）同頁下から第４行頭初の「断面を」の前に、［（
角錐形のアキシコンレンズの場合、多角形の枠状となる
が、作用効果に於いて全く同様であるため、以下の説明
は単純な円環状の場合についてのみ説明する。）」と加
入する。 以 上 別 紙 特願昭５９−１４４４８５号の特許請求の範囲「１）
ビームスポットを照射する光源と被測定面との間に、
光源の側から順に、ｌのアキシコンレンズと投影レンズ
とを各部品の光軸を上記光源の光軸に一致させて設け、
このアキシコンレンズと投影レンズとの間には被測定面
から反射した光を側方の光電センサに導く／−−フミラ
ーを設け、上記光電センサは被測定面上の上記光源によ
り照射される部分の中心部分のみの照度を検出自在とし
、上記投影レンズは光軸に沿って平行移動自在として成
る光学式距離測定装置。
造を示す原理図、第２図（Ａ）〜（Ｃ）は合焦前後に於
ける被測定面上の照射部分を示す図、第３図は第二の手
段の構造を示す原理図、第４図（Ａ）（Ｂ）は被測定面
上の円環状照射部分と光電センサの出力との関係を示す
図、第５図（Ａ）（Ｂ）は光束を断面円形とした場合を
示す第４図（Ａ）（Ｂ）同様の図である。 １：光［，２ニアキシコンレンズ、３：ハーフミラ−，
４：投影レンズ、５：ビンホール、６：被測定面、７：
スリット、８：光電センサ。 手続補正書印発） 昭和５９年１２月ｌ↓日 特許庁長官 志 賀 学 殿 １、事件の表示 昭和５９年特許願第１４４４８５号 ２、発明の名称 光学式距離測定装置 ３、補正をする者 事件との関係 出 願 人 木 下 源 −部 株式会社 小 坂 研 究 所 ４、代理人〒１０４ ５、 補正により増加する発明の数 ０８、補正の
対象 明細書の特許請求の範囲、発明の詳細な説明の各欄７、
補正の内容 （１）第１〜２頁の特許請求の範囲を別紙の通り補正す
る。 （２）第３頁下から第４行の「円錐形」の「円」を削除
する。 （３）第４頁下から第８行の「円錐形」の「円」を削除
する。 （４）同頁下から第６行の「同効である。」の前に「、
或は円錐以外の角錐形状でも」と加入する。 （５）同頁下から第４行頭初の「断面を」の前に、［（
角錐形のアキシコンレンズの場合、多角形の枠状となる
が、作用効果に於いて全く同様であるため、以下の説明
は単純な円環状の場合についてのみ説明する。）」と加
入する。 以 上 別 紙 特願昭５９−１４４４８５号の特許請求の範囲「１）
ビームスポットを照射する光源と被測定面との間に、
光源の側から順に、ｌのアキシコンレンズと投影レンズ
とを各部品の光軸を上記光源の光軸に一致させて設け、
このアキシコンレンズと投影レンズとの間には被測定面
から反射した光を側方の光電センサに導く／−−フミラ
ーを設け、上記光電センサは被測定面上の上記光源によ
り照射される部分の中心部分のみの照度を検出自在とし
、上記投影レンズは光軸に沿って平行移動自在として成
る光学式距離測定装置。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）ビームスポットを照射する光源と被測定面との間に
、光源の側から順に、円錐形のアキシコンレンズと投影
レンズとを各部品の光軸を上記光源の光軸に一致させて
設け、このアキシコンレンズと投影レンズとの間には被
測定面から反射した光を側方の光電センサに導くハーフ
ミラーを設け、上記光電センサは被測定面上の上記光源
により照射される部分の中心部分のみの照度を検出自在
とし、上記投影レンズは光軸に沿って平行移動自在とし
て成る光学式距離測定装置。 ２）ビームスポットを照射する光源と被測定面との間に
、光源の側から順に、円錐形のアキシコンレンズと投影
レンズとを各部品の光軸を上記光源の光軸に一致させて
設け、このアキシコンレンズと投影レンズとの間には被
測定面から反射した光を側方の光電センサに導くハーフ
ミラーを設け、上記投影レンズは固定式とし、光電セン
サは被測定面上の円環状照射部分の直径を検出自在とし
て成る光学式距離測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14448584A JPS6125011A (ja) | 1984-07-13 | 1984-07-13 | 光学式距離測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14448584A JPS6125011A (ja) | 1984-07-13 | 1984-07-13 | 光学式距離測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6125011A true JPS6125011A (ja) | 1986-02-03 |
| JPH0479522B2 JPH0479522B2 (ja) | 1992-12-16 |
Family
ID=15363413
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14448584A Granted JPS6125011A (ja) | 1984-07-13 | 1984-07-13 | 光学式距離測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6125011A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63256810A (ja) * | 1987-04-14 | 1988-10-24 | Nkk Corp | 自動距離検出装置 |
| JPH0194221A (ja) * | 1987-10-06 | 1989-04-12 | Hamamatsu Photonics Kk | 対象物状態検出器 |
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-
1984
- 1984-07-13 JP JP14448584A patent/JPS6125011A/ja active Granted
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0479522B2 (ja) | 1992-12-16 |
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