JPS58169008A - 光学式位置測定装置 - Google Patents
光学式位置測定装置Info
- Publication number
- JPS58169008A JPS58169008A JP5406882A JP5406882A JPS58169008A JP S58169008 A JPS58169008 A JP S58169008A JP 5406882 A JP5406882 A JP 5406882A JP 5406882 A JP5406882 A JP 5406882A JP S58169008 A JPS58169008 A JP S58169008A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- lens
- light source
- lens system
- optical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/026—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness by measuring distance between sensor and object
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Arrangements For Transmission Of Measured Signals (AREA)
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は光線を用いて非接触的に物体の位置を測定する
ｔ１／ｋｓ定装置に胸する。
ｔ１／ｋｓ定装置に胸する。
物体の位ｔｉｉｔまたは寸法を非接触的に測定する方法
としては、空気マイクロメータあるいは鵬微鏡により拡
大する方法等があるが、紡看では形状の複雑なものの測
定には種々の支障があプ、また、後書では電気的匍鰺に
変換することが離しい丸めに、生産工程における遅続測
定岬への応用は効率的でない欠点がある。
としては、空気マイクロメータあるいは鵬微鏡により拡
大する方法等があるが、紡看では形状の複雑なものの測
定には種々の支障があプ、また、後書では電気的匍鰺に
変換することが離しい丸めに、生産工程における遅続測
定岬への応用は効率的でない欠点がある。
本発明は従来の上記欠点を解消する為になされたもので
あり、従って本発明の目的は、光の反射ｌＩＬを電気的
に処理することにより、物体の位置を＾積度で、非接触
的にしかも連続的に測定することができる＃ｒ規な位Ｗ
ＩＬ測定装置を提供することにある。 一 本発明の上−Ｃ目的は、周期的に全体ま九はその−・部
分が光軸方向に！復変動するかめるいはその焦点距−が
周期的に変動するレンズ系手段と、小面積の光源中段と
、光線分岐手段と、前記光―手段の山積に対応して設計
された小口径のアパーナヤ手段と、光検出器手段とをＸ
備し、＃Ｊ配レしノ系手段による削紀元似手段のＭ像点
付近に位置する被測定面の基準点に対する位置を＃Ｉ配
アパーチャ手段を通り１ＩＩｋ、光検出器手段へ入射す
る＠紀値測定向からの反射光蓋が＃ｌＩ配レンしノ手段
のに勤に伴って麺大となるときのＩＩＮ紀レンしノ手段
の装動位置または状態から求めることを４１傘とする光
学式位置測定装置、によって達成される。
あり、従って本発明の目的は、光の反射ｌＩＬを電気的
に処理することにより、物体の位置を＾積度で、非接触
的にしかも連続的に測定することができる＃ｒ規な位Ｗ
ＩＬ測定装置を提供することにある。 一 本発明の上−Ｃ目的は、周期的に全体ま九はその−・部
分が光軸方向に！復変動するかめるいはその焦点距−が
周期的に変動するレンズ系手段と、小面積の光源中段と
、光線分岐手段と、前記光―手段の山積に対応して設計
された小口径のアパーナヤ手段と、光検出器手段とをＸ
備し、＃Ｊ配レしノ系手段による削紀元似手段のＭ像点
付近に位置する被測定面の基準点に対する位置を＃Ｉ配
アパーチャ手段を通り１ＩＩｋ、光検出器手段へ入射す
る＠紀値測定向からの反射光蓋が＃ｌＩ配レンしノ手段
のに勤に伴って麺大となるときのＩＩＮ紀レンしノ手段
の装動位置または状態から求めることを４１傘とする光
学式位置測定装置、によって達成される。
本発明は光の反射蓋を電気的に処理することにより物体
の位置を数Ｊｉｍ根度の′ＨＩ皺で弗誉触に測定するも
のであや、光学式であるが表向での反射を用いているた
めに、投影法にみられるような−１の焦点ずれ（ピンボ
ケ）による測定誤差も発生しない。
の位置を数Ｊｉｍ根度の′ＨＩ皺で弗誉触に測定するも
のであや、光学式であるが表向での反射を用いているた
めに、投影法にみられるような−１の焦点ずれ（ピンボ
ケ）による測定誤差も発生しない。
次に本発明をその良好な各集施例について図画を参照し
ながら詳細に説明する。
ながら詳細に説明する。
＠１図（、）〜（ｄ）は本発明の原塩を説明する−であ
る。今、ｌＮ１図（、）において、小面積の光−１よシ
斃し九九は半透明鏡等による光線分岐ｌ１Ｆ５、レンズ
糸手段２を経て禎糊定物の懺面Ｓに結像する。ここで表
ｒ１ｊＵ８の面精度が＾く鏡面であるとすると、この山
での反射光は逆方向へ反射され、レンズ系手段２、光線
分岐器５、アパーチャ６を経て光検出器４へ入射する。
る。今、ｌＮ１図（、）において、小面積の光−１よシ
斃し九九は半透明鏡等による光線分岐ｌ１Ｆ５、レンズ
糸手段２を経て禎糊定物の懺面Ｓに結像する。ここで表
ｒ１ｊＵ８の面精度が＾く鏡面であるとすると、この山
での反射光は逆方向へ反射され、レンズ系手段２、光線
分岐器５、アパーチャ６を経て光検出器４へ入射する。
ここで、アパーチャ５は、光源１の寸法とレンズ系によ
り定まる一定の口径のビンホールであって、第１図（ａ
）の状態ではＴｌＬＲ而Ｓか面の反射光、従って光源１
の儂が結像する位置に置かれる。
り定まる一定の口径のビンホールであって、第１図（ａ
）の状態ではＴｌＬＲ而Ｓか面の反射光、従って光源１
の儂が結像する位置に置かれる。
次に、レンズ糸２の位置を同図（ｂ）に示す様に前方へ
（２の正方向）動かした状態を考えると、レンズ系２を
適切に設計することによプ光は図中の矢印の様に進み、
結ｆ象点は面Ｓの手網となｊ）、 ｌ！にその反射光は
アパーチャ３の中−にて結イ象させることができる。こ
のために、アパーチャ５を透過する光は、図からも理解
される様に、周辺部分■ がアパーチャ５により削られるため光検出器に到達する
光量は低下する。
（２の正方向）動かした状態を考えると、レンズ系２を
適切に設計することによプ光は図中の矢印の様に進み、
結ｆ象点は面Ｓの手網となｊ）、 ｌ！にその反射光は
アパーチャ３の中−にて結イ象させることができる。こ
のために、アパーチャ５を透過する光は、図からも理解
される様に、周辺部分■ がアパーチャ５により削られるため光検出器に到達する
光量は低下する。
次に、逆に同図（Ｃ）の如くレンズ系２が後方に移動し
た場合には反射光の緒像点はアパーチャ３を越え死後方
となる九めに、（ｂ）の場合と同様に光量は低下する。
た場合には反射光の緒像点はアパーチャ３を越え死後方
となる九めに、（ｂ）の場合と同様に光量は低下する。
従って、レンズ系２の位置１と光検出器４の出力信号レ
ベル■との＠襟は、−図Ｃｄ） ｔｖ様にｚｏ変化に対
し、レンズと面Ｓとの間隔−に対応し九レンズ系２の位
置ｌｉｄに於てピーク値をと夛、他ではレンズが低下す
る。従って、レンズ系２を１万肉に移動させ、光検出器
４０出力が最大になるＳの位置を求めれば、逆にし／ズ
系意とＯ間隔ｄを求めることができる。
ベル■との＠襟は、−図Ｃｄ） ｔｖ様にｚｏ変化に対
し、レンズと面Ｓとの間隔−に対応し九レンズ系２の位
置ｌｉｄに於てピーク値をと夛、他ではレンズが低下す
る。従って、レンズ系２を１万肉に移動させ、光検出器
４０出力が最大になるＳの位置を求めれば、逆にし／ズ
系意とＯ間隔ｄを求めることができる。
崗、ここで光源としては半導体レーザ、発光ダイオード
等が適切なものとして考えられるが、その他に例えばＨ
＃−Ｎ−レーザ光の出力を光ファイバにより取出し、こ
の光ファイバの出射端を「光ＩｊＩＪとして使用するこ
とは最も実用的な一例といってもよい。
等が適切なものとして考えられるが、その他に例えばＨ
＃−Ｎ−レーザ光の出力を光ファイバにより取出し、こ
の光ファイバの出射端を「光ＩｊＩＪとして使用するこ
とは最も実用的な一例といってもよい。
次に反射面８が向粗さ数μＳＳ震度＠向であって鏡面で
ないときには、上記の場合と若干事情が異なつ九ものと
なる。即ち、光源１より−し九先はｔｈＩ８では鏡面に
よる様な形では反射せず、各方向に散乱されることにな
るので、アパーチャ３のｆｌｌＩｌには光源１ではなく
Ｓ向で散乱された光を二次的な光源とする儂が形成され
る。ここで、＠１図（１）の状態ではＳ向上の二次的な
光線は光源１が正しく集光している九めに、微小なスポ
ットとなるが、同図価）あるいは（６）の状態では８面
は光源１の１点からずれているので、二次的な光源は大
きなスポットとなる。従って、アパーチャ５を通過する
光量は藺紀の！！面の場合と光量、感度は異るが、ｓｉ
図（ｄ）と同様の関係を得る。
ないときには、上記の場合と若干事情が異なつ九ものと
なる。即ち、光源１より−し九先はｔｈＩ８では鏡面に
よる様な形では反射せず、各方向に散乱されることにな
るので、アパーチャ３のｆｌｌＩｌには光源１ではなく
Ｓ向で散乱された光を二次的な光源とする儂が形成され
る。ここで、＠１図（１）の状態ではＳ向上の二次的な
光線は光源１が正しく集光している九めに、微小なスポ
ットとなるが、同図価）あるいは（６）の状態では８面
は光源１の１点からずれているので、二次的な光源は大
きなスポットとなる。従って、アパーチャ５を通過する
光量は藺紀の！！面の場合と光量、感度は異るが、ｓｉ
図（ｄ）と同様の関係を得る。
次に本発明の具体的一実施例を示す１１１２図（ａ）〜
（ｄ）では、レンズ系２は走査手段１０によシ１の―後
方向に走査される。この結果、光検出器４の出力と時間
の関係の波形として同図（ｂ）が得られるが、これを増
幅器１１にて増幅した後、ピーク検出回路によりピーク
となる時点にパルスを発生させるピークパルス出力回路
１２の出力として、同図（ｄ）に示されるように、通常
レンズ系２の走査の１サイクル当り２つのピーク位置パ
ルスが出力される。他万、レンズ系２の走査は駆動信号
＠１ｓの出力信号によって駆動されている。従って、駆
動信号＠１ｓよや走査されるレンズ系２０基準位置に対
応する基準パルス信号を同図（−）の如く得ることがで
きるために、時間計側手段１４により基準ノ（ルス傷啼
とピーク位置パルス信号の一方との時間１４を針−すれ
ば、レンズ２とＳＷＪとの間隔を求めることができる。
（ｄ）では、レンズ系２は走査手段１０によシ１の―後
方向に走査される。この結果、光検出器４の出力と時間
の関係の波形として同図（ｂ）が得られるが、これを増
幅器１１にて増幅した後、ピーク検出回路によりピーク
となる時点にパルスを発生させるピークパルス出力回路
１２の出力として、同図（ｄ）に示されるように、通常
レンズ系２の走査の１サイクル当り２つのピーク位置パ
ルスが出力される。他万、レンズ系２の走査は駆動信号
＠１ｓの出力信号によって駆動されている。従って、駆
動信号＠１ｓよや走査されるレンズ系２０基準位置に対
応する基準パルス信号を同図（−）の如く得ることがで
きるために、時間計側手段１４により基準ノ（ルス傷啼
とピーク位置パルス信号の一方との時間１４を針−すれ
ば、レンズ２とＳＷＪとの間隔を求めることができる。
本方式の場合、光源の寸法、アパーチャの寸法及びレン
ズの焦点距離等を遍轟に粛ぶことにより、ｆｆ度１μ集
という高精度の一定から、一定範Ｍ数ｍ１楢縦の広範囲
の一定壕で、広い範囲の非徴触霧定が可能である。
ズの焦点距離等を遍轟に粛ぶことにより、ｆｆ度１μ集
という高精度の一定から、一定範Ｍ数ｍ１楢縦の広範囲
の一定壕で、広い範囲の非徴触霧定が可能である。
また、反射面での光のスポットが小さい丸めに、櫂雑な
形状の物体についても局所的な一定ができるという特長
がある丸め、対象物を走査してその輪郭を求める等の用
途に４１１に有効である。
形状の物体についても局所的な一定ができるという特長
がある丸め、対象物を走査してその輪郭を求める等の用
途に４１１に有効である。
＄１１３１１！１Ｈａ）〜（ｊ）は本発明の別の実施例
を説明する図である。今同図（１）において、光源２１
より出九九は光ファイバ２２、光結合器２５、光７アイ
バ２４を騒てレンズ系２７の方向へ出射する。この光フ
ァイバ端面のレンズ系手段２７による儂が被測定物０面
Ｓの上に結偉されていると、面Ｓによる反射光は図示の
通りＹ度反対方向へ進み、再び前記の光ファイバ４ｔｈ
Ｉに入射し、光ファイバ２４、光結合器２３を経て光検
出器２６へ入射して出力信号Ｖが得られる。
を説明する図である。今同図（１）において、光源２１
より出九九は光ファイバ２２、光結合器２５、光７アイ
バ２４を騒てレンズ系２７の方向へ出射する。この光フ
ァイバ端面のレンズ系手段２７による儂が被測定物０面
Ｓの上に結偉されていると、面Ｓによる反射光は図示の
通りＹ度反対方向へ進み、再び前記の光ファイバ４ｔｈ
Ｉに入射し、光ファイバ２４、光結合器２３を経て光検
出器２６へ入射して出力信号Ｖが得られる。
ここで、レンズ系２７が図中に矢印πにて示す様にその
光軸方向に動いたとすると、レンズ系２７が図中で右の
方向へ動い九同図（ｂ）の状態では図示の通りまず端面
の結像点が反射向Ｓの左側へずれ、このため史にその反
射光の結澹点は図の様にレンズ輛へずれるため、実際に
光フアイバ２４内へ入射する光は（ａ）の状態より低い
ものとなぁ。
光軸方向に動いたとすると、レンズ系２７が図中で右の
方向へ動い九同図（ｂ）の状態では図示の通りまず端面
の結像点が反射向Ｓの左側へずれ、このため史にその反
射光の結澹点は図の様にレンズ輛へずれるため、実際に
光フアイバ２４内へ入射する光は（ａ）の状態より低い
ものとなぁ。
次に、これと逆にレンズ系２７が図の右側へ動き同図（
ｇ）の株になったときには、反射光の結像点は光ファイ
バ２４の端面より後方（光ファイバＩＮ）へ入ってしま
うために、これも光フアイバ内への入射光量は（ａ）の
状態よりも低いものとなる。従って、 ルンズ糸２
７を図中２の方向に走査してやると１１１１１図（ｄ）
の憬な（Ｉｔ吋出力が得られ、ＩＩ′ｔＩ記の実施例と
全く同等の結果を得ることができる。
ｇ）の株になったときには、反射光の結像点は光ファイ
バ２４の端面より後方（光ファイバＩＮ）へ入ってしま
うために、これも光フアイバ内への入射光量は（ａ）の
状態よりも低いものとなる。従って、 ルンズ糸２
７を図中２の方向に走査してやると１１１１１図（ｄ）
の憬な（Ｉｔ吋出力が得られ、ＩＩ′ｔＩ記の実施例と
全く同等の結果を得ることができる。
ここで、光臨としては、Ｈ＃−Ｎ−勢のガスレーザ、半
導体レーザ、発光ダイオード郷各種の一〇が考えられる
。光検出器としては、ＰＩＮフォトダイオード、アバラ
ンシュフォトダイオード等一般の光検出デバイスを用い
ることが可能である。
導体レーザ、発光ダイオード郷各種の一〇が考えられる
。光検出器としては、ＰＩＮフォトダイオード、アバラ
ンシュフォトダイオード等一般の光検出デバイスを用い
ることが可能である。
伺、以上の説明ではレンズ系としては単レンズを図示し
て説明し九が、これは本発明の目的に沿うための光学系
であればどの様な構成でもよい。
て説明し九が、これは本発明の目的に沿うための光学系
であればどの様な構成でもよい。
また、通常の設計で使用されるガラス板、プリズム、光
学フィルタ類は本発明の主旨とｉ［接関係がない丸めに
、説明上は削除されている。
学フィルタ類は本発明の主旨とｉ［接関係がない丸めに
、説明上は削除されている。
第４図に走査するレンズ系手段２７の一構成例として、
複数のレンズ、５１．．５２を組合せる例を示す。
複数のレンズ、５１．．５２を組合せる例を示す。
同図において、Ｖンズ３１と６２は組合わせられて１つ
のレンズ系を構成しているが、このうちレンズ５２は固
定されており、レンズ５１のみが図中矢印膳の方向に動
かされるものとする。この方法によれば、レンズ系全体
としての焦点距離が変化を受ける丸めに、鏑配した２つ
の実施例とｐＩ４ｍｌの効果を得ることがａＪ能である
。この実施例の特徴は、レンズ糸の一部分を動かすだけ
でよいので、走査方法が容易となることである。
のレンズ系を構成しているが、このうちレンズ５２は固
定されており、レンズ５１のみが図中矢印膳の方向に動
かされるものとする。この方法によれば、レンズ系全体
としての焦点距離が変化を受ける丸めに、鏑配した２つ
の実施例とｐＩ４ｍｌの効果を得ることがａＪ能である
。この実施例の特徴は、レンズ糸の一部分を動かすだけ
でよいので、走査方法が容易となることである。
また第５図に承す様にレンズ自体を動かさなくてもレン
ズ６１と６２の間にガラス製のくさび３３を挿入する叫
の方法によってレンズ間の光路長を変化させ、ｓ！−価
的にレンズの焦点距離を変動させることによって本本発
明の実施は可能である。
ズ６１と６２の間にガラス製のくさび３３を挿入する叫
の方法によってレンズ間の光路長を変化させ、ｓ！−価
的にレンズの焦点距離を変動させることによって本本発
明の実施は可能である。
本発明によれば、光臨の寸法ま九は光ファイバのコア径
、レンズ系の特性を選ぶことにより、楕Ｉｆ１μｍ４程
度の高精度の測定から数１に及ぶ広範囲の測定まで各種
の非接触測定か可能である。また、反射面での光のスポ
ットが小さいために、複雑な形状の物体についても局所
的な測定が可能であるため、対象物を走査してその輪郭
を求める等の用途には特に有効でおる。ｔた、信号の送
受に光ファイバを用いるために、光源別置形とできる丸
め、一定ヘッド部分を小形にして使用に便利な構成とな
ることができる。
、レンズ系の特性を選ぶことにより、楕Ｉｆ１μｍ４程
度の高精度の測定から数１に及ぶ広範囲の測定まで各種
の非接触測定か可能である。また、反射面での光のスポ
ットが小さいために、複雑な形状の物体についても局所
的な測定が可能であるため、対象物を走査してその輪郭
を求める等の用途には特に有効でおる。ｔた、信号の送
受に光ファイバを用いるために、光源別置形とできる丸
め、一定ヘッド部分を小形にして使用に便利な構成とな
ることができる。
１１１図は本弗明の原理的実施例を示す図、暮３図は本
斃明の具体的一実施例を示すｇ、ｍｓ図紘本発明の別の
実施例を示す図、ｌｌＩ４図はレンズ系手段の一構成例
を示す図、ｍＳ図はレンズ系手段の別の一構成例を示す
図である。 １．２１・ｅ−光源、２．２７・・・レンズ系手段、５
・・・アパーチャ、４．２６・・・光検出器、５・・・
光線分岐器、１０・・・走査手段、１１・・拳増幅器、
１２・・・ピークパルス出力（ロ）路、１５・・・駆動
信号源、１４・・・時間計一手段、２２ 、２４．２５
・・・光７アイパ、２３・−・光結合器、３１、ｓ２・
＠ルンズ、３５．・Φくさび 特許出願人 日本電気株式会社
斃明の具体的一実施例を示すｇ、ｍｓ図紘本発明の別の
実施例を示す図、ｌｌＩ４図はレンズ系手段の一構成例
を示す図、ｍＳ図はレンズ系手段の別の一構成例を示す
図である。 １．２１・ｅ−光源、２．２７・・・レンズ系手段、５
・・・アパーチャ、４．２６・・・光検出器、５・・・
光線分岐器、１０・・・走査手段、１１・・拳増幅器、
１２・・・ピークパルス出力（ロ）路、１５・・・駆動
信号源、１４・・・時間計一手段、２２ 、２４．２５
・・・光７アイパ、２３・−・光結合器、３１、ｓ２・
＠ルンズ、３５．・Φくさび 特許出願人 日本電気株式会社
Claims (2)
- （１）、周期的に全体またはその一部分が光軸方向に往
復変動するかあるいはその焦点距離が周期的に変動する
レンズ系手段と、小面積の光源手段と、光線分岐手段と
、前記光源手段の面積に対応して設計され友小口径の７
パ一チヤ手段と、光検出一手段とを具備し、＠記しノズ
系手段による前記光源手段の結像点付近に位置する被測
定向の基準点に対する位置をｔＩＭ紀アパーチャ手段を
通９前記光検出器手段へ入射する前記被測定向からの反
射光量がＩＩＩ記レンしノ手段の変動に伴って最大とな
るときの＃Ｊｋ２レンズレノ段の変動位置または状態か
ら求めることを特徴とする光学式位置測定装置。 - （２）、鋺配光源手段が殆生手段とこれに結合され良光
ファイバからなＬＪＩＪ記アパーチャ手威が光７アイパ
であって、＃Ｊ記光線分岐手段が光フアイバ分岐結合器
手段であることを良に特徴とし九臀計量ｋ求の範囲第（
１）項記載の光学式位置測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5406882A JPS58169008A (ja) | 1982-03-31 | 1982-03-31 | 光学式位置測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5406882A JPS58169008A (ja) | 1982-03-31 | 1982-03-31 | 光学式位置測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58169008A true JPS58169008A (ja) | 1983-10-05 |
Family
ID=12960298
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5406882A Pending JPS58169008A (ja) | 1982-03-31 | 1982-03-31 | 光学式位置測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58169008A (ja) |
Cited By (6)
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|---|---|---|---|---|
| WO1998029708A1 (en) * | 1996-12-31 | 1998-07-09 | Cognex Corporation | Depth-from-defocus optical apparatus with invariance to surface reflectance properties |
| US5878152A (en) * | 1997-05-21 | 1999-03-02 | Cognex Corporation | Depth from focal gradient analysis using object texture removal by albedo normalization |
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| US6219461B1 (en) | 1997-07-29 | 2001-04-17 | Cognex Corporation | Determining a depth |
| JP2007205939A (ja) * | 2006-02-02 | 2007-08-16 | Kenwood Corp | 変位検出装置 |
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| JPS55124004A (en) * | 1979-03-06 | 1980-09-24 | Sick Optik Elektronik Erwin | Device for measuring distance change |
-
1982
- 1982-03-31 JP JP5406882A patent/JPS58169008A/ja active Pending
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