JPS62197807A - 位置制御方式 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は第１の物体と第２の物体とを指令速度信号に対
応した速度で且つ第１の物体と第２の物体との間の垂直
距離が常に基準距離と一致するように移動させる位置制
御方式に関するものである。

〔従来の技術〕

相対的に移動する第１の物体と第２の物体との間の垂直
距離を常に所定距離とする技術は種々の分野で利用され
ている。例えば、レーザ光をワークに照射してワークの
加工を行なうレーザ加工装置に於いては、レーザ光を出
射するレーザヘッド（前記第１の物体に対応）とワーク
（前記第２の物体に対応）との間の垂直距離が一定でな
いと、加工溝幅が変動し、加工精度が劣化するため、上
述した技術が利用されている。

第６図は上述した技術を利用した従来のレーデ加工装置
の一例を示したブロック線図であり、〔３１はＣＯ２レ
ーザ等の加工用レーザ光を出射するｉ−一ザヘッド、６
２はワーク、６３はレーデヘッド６１に取付けられたレ
ーザ測長器等の光学式の測長器、６４は加算器、６５は
乗算器、６６．６８は駆動回路、６７はレーザヘッド６
１をＺ軸方向に移動させるモータ、６９は加工テーブル
７０をＸ軸方向に移動させるモータである。

測長器６３はワーク６２と測長器６３との間の垂直距離
２を検出し、検出結果を加算器６４に加える。加算器６
４は測長器６３の検出結果ｌと予め定められている基準
圧ｍｌｏとの差＜ｌ　　＃ｏ）を求めて乗算器６５に加
え、乗算器６５は前記差（ｅ−β０）と予め定められて
いる定数にとを乗算し、乗算結果Ｋ・　（β−β０）を
駆動回路６６に加える。そして、駆動回路６６の出力に
よりモータ６７が動作し、レーザヘッド６１が速度Ｋ・
　（ｌ−７！ｏ）でＺ軸方向に移動する。また、モータ
６９は速度Ｖｘを示す速度信号が加えられている駆動回
路６８に出力により動作し、加工テーブル７０に載置さ
れているワーク６２をＸ軸方向に速度Ｖｘで移動させて
いる。即ち、ワーク６２は速度ＶｘでＸ軸方向に移動し
、レーザヘンドロ】は速度Ｋ・　ＣＩｌ　Ｎｏ＞で２軸
方向に移動することになる。

〔発明が解決しようとする問題点〕

ワーク６２の加工面が第７図（ａｌに示すようにＸ−Ｙ
平面に対して平行である場合は、上述したようにレーザ
ヘッド６１の位置を制御することにより、加工面（イ）
、（ロ）の高さに拘わらずレーザヘンドロ１とワーク６
２との間の垂直距離Ｃを常に基準距離ｉｏに一致させる
ことが可能であるが、ワーク６２の加工面が同図中）に
示すように傾斜している場合、レーザヘッド６１とワー
ク６２との間の垂直距離が基準距離Ｎｏと異なるものに
なってしまう問題があった。

即ち、上述した実施例は測長器６３とワーク６２との間
の垂直距離βを検出する測長器６３の検出結果に基づい
てレーザヘット６１のＺ軸方向の位置を制御しているも
のであるから１、測長器６３の検出帖犀と基準距離ｌｏ
との差（β−ｆｆｏ）が零となるようにレーザヘッド６
１の位置を制御しても、実際のレーザヘッド６１からワ
ーク６２までの垂直距離と基準距離ｉｏとにｄ　−ｔａ
ｎθの誤差が生しる問題がある。尚、θはワーク６２と
Ｘ−Ｙ平面のと成す角度（以下傾斜角度と称す）を示し
、ｄはレーザヘッド６１と測長器６３とのＸ軸方向の距
離を示している。

また、上述した従来例には次のような欠点もあった。即
ち、上述した従来例は測長器６３からワーク６２までの
実際の垂直距離！と基＄距離ｉ！ｏとの差に比例した速
度Ｉ〈・　（７！−β０）でレーザへ２・ドロ１をＺ軸
方向に移動させるものであるから、例えば、第７図（ｂ
ｌに示すような傾斜角度がθのワークを速度ＶｘでＸ軸
方向に移動させたとすると、レーザヘッド６１のＺ軸方
向の移動速度ＶＺを次式（１）に示す値とする必要があ
る。

Ｖｚ　＝Ｋ・　（β−β０） ＝ＶＸ　　　・　　しａｎ　　　θ　　　　　　　−一
　−−（１１また、弐（１１を変形することにより、次
式（２）を得ることができる。

ｎ−ｘｏ＝ＶＸ　’　ｔａｎθ／　Ｋ　　−−−−−−
−−（２１即ち、上述した従来例は、傾斜を有するワー
クを加工する場合、測長器６３からワーク６２までの実
際の垂直距離βと基準距離７！ｏとの間に式（２）に示
す誤差が定常的に存在する問題があった。

本発明は前述の如き問題点を解決したものであり、その
目的は第１の物体と第２の物体との間の垂直距離を精度
良く基準距離に一致させることにある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は前述の如き問題点を解決するため、第１の物体
に対して相対的にｘ−ｙ平面内の所定方向に移動する第
２の物体と該第２の物体に対して相対的にＺ軸方向に移
動する前記第１の物体とを指令速度信号に対応した速度
で且つ前記第１の物体と第２の物体との間のＺ軸方向の
距離が基準距離と一致するように相対的に移動させる位
置制御方式に於いて、 前記第１の物体を前記第２の物体に対して相対的にＺ軸
方向に移動させる第１の移動手段と、前記第２の物体を
前記第１の物体に対して相対的にＸ−Ｙ平面内の所定方
向に移動させる第２の移動手段と、 前記第２の物体までのＺ軸方向の距離を検出する前記第
１の物体に取付けられた第１．第２の測長器と、 該第１．第２の測長器の検出結果に基づいて前記第１の
物体から前記第２の物体までのＺ軸方向の距離を算出す
る距離算出手段と、 該距離算出手段の算出結果と前記基準距離との差に比例
した補正速度信号を作成する補正速度信号作成手段と、 前記第１．第２の測長器の検出結果に基づいて前記第２
の物体の前記Ｘ−Ｙ平面に対する傾斜角度を算出する角
度算出手段と、 該角度算出手段の算出結果に基づいて前記補正速度信号
を前記Ｘ−Ｙ平面内の前記所定方向の成分と前記Ｚ軸方
向の成分とに分配する第１の分配手段と、 前記角度算出手段の算出結果に基づいて前記指令速度信
号を前記ｘ−ｙ平面内の前記所定方向の成分と前記Ｚ軸
方向の成分とに分配する第２の分配手段とを設け、 前記第１の移動手段を前記第１．第２の分配手段で分配
された前記Ｚ軸方向の指令速度信号と前記補正速度信号
とを重畳した信号により駆動されるように構成し、 前記第２の移動手段を前記第１．第２の分配回路で分配
された前記Ｘ−Ｙ平面内の前記所定方向の指令速度信号
と前記補正速度信号とを重畳した信号により駆動される
ように構成したものである。

〔作　用〕 第１．第２の測長器を設けることにより、第１の物体と
第２の物体との間の垂直距離を正確に検出することが可
能となる。また、分配手段の出力信号により第１の物体
は第２の物体表面に沿って移動することになるので、誤
差を少ないものとすることができる。

〔実施例〕

第１図は本発明の一実施例のブロック線図であり、本発
明方式をレーザ加工装置に通用した場合についてのもの
である。同図に於いて、■はマイクロプロセッサ、２は
入力部、３は軸制御部、４はテープリーグ、５はｔ旨令
テープ、６は基準距離Ｎｏ等のデータが記憶されている
メモリ、７はＣＯ２レーザ等の加工用レーザ光を出射す
るレーザヘッド、８−１．８−２はそれぞれレーザ測長
器等の光学式測長器からなる第１．第２の測長器、９は
ワークが載置される加工テーブル、ＩＯＸ、ＩＯＹはそ
れぞれ加工テーブル９をＸ、Ｙ軸方向に移動させるモー
タ、１０Ｚはレーザヘッド７をＺ軸方向に移動させるモ
ータ、ｌＯαは歯車１５を回転させるモータ、ＩＩＸ〜
１１２，１１αは駆動回路、１２．　１３は八り変換器
である。また、１４はレーザヘッド７を回転中心として
回転する円筒状の回転部材であり、その内壁には歯車１
５と噛み合う歯１８が設けられ、外壁には第１．第２の
測長器８−１．８−２が取付けられている。尚、測長器
８−１と測長器８−２とはレーザヘッド７を中心として
互いに対称となる位置に取付けられているものである。

また、１６は回転部材１４を回転自在に支持する円形の
支持部材であり、その縁部は９０度に曲げ、ボールベア
リング１７を介して回転部材１４を支持している。従っ
て、モータ１０αを回転させることにより、回転部材１
４が回転し、これに伴って第１．第２の測長器８−１．
８−２をレーザヘッド７を回転中心として回転すること
になる。

また、第２図はマイクロプロセッサ１の処理内容を示す
フローチャートであり、以下同図を参照して第１図の動
作を説明する。

指令テープ５にはレーザヘッド７のＸ−Ｙ平面内の移動
経路を示すデータとその移動速度（ワークとの相対速度
）を示すデータとが、例えば下記の形式（Ａ）により記
録されているものである。

ＧＯＩ　Ｘ　ｘ　Ｙ　ｙ　Ｖ　ｖ　　−−−−−−−（
Ａ）ここで、ＧＯＩは直線補間を行なうことを示すＧコ
ードであり、Ｘの次のＸはレーデヘット７のＸ軸方向の
移動量、Ｙの次のｙはレーザヘッド７のｙ軸方向の移動
量、■の次のＶはレーザヘッド７の移動速度である。

今、例えば、第１図に示す装置を用いて、第３図に示す
ように傾斜角度がθのワーク１９を第４図に示す経路Ａ
−Ｂに沿って加工する場合を考えてみる。この場合、指
令テープ５には次の形式（Ｂ）を有する指令ブロックが
記録されることになる。

ＧＯＩＸｘｌＹｙｌＶｖｌ　　−−−−−（Ｂ）マイク
ロプロセッサ１は指令テープ５に記録されている形式（
Ｂ）の指令ブロックを読取ると（ステップＳ１）、次式
（３）に示す演算を行なって加工経路Ａ−ＢとＸ軸との
成す角度α、を求めると共にこれをメモリ６に記憶させ
る（ステップＳ２）。

αＨ＝　ｓｉｎ　−’　（ｙｌ／　ｒ不一］正）−・・
−・　（３）次いで、マイクロプロセッサ１は測長器８
−１と測長器８−２とを結ぶ線分とＸ軸との成す角度を
ステップＳ２で求めた角度α１とするために必要となる
回転部材１４の回転量Δαを求め、該回転量Δαに対応
したデータを軸制御部３に加える（ステップＳ３）。こ
れにより、モータ１０αが回転し、回転部材１４が前記
回転量Δαに対応した角度回転し、測長器８−１と測長
器８−２とを結ぶ線図が第４図に示すように加工経路Ａ
−Ｂと一致する。尚、前記回転量ΔαはステップＳ２で
求めた角度α。

からメモリ６に記憶されている角度α０　（前の指令ブ
ロックにより指令された加工経路とＸ軸との成す角度）
を減算することにより求めるものである。

次いで、マイクロプロセッサ１はＡＤ変換器１２゜１３
及び入力部２を介して加えられる第１．第２の測長器８
−１．８−２の測長結果ｚ１．ｐ２を読込み（ステップ
Ｓ４）、次いで次式（４）に示す演算を行なうことによ
り、レーザヘッド７とワーク１９との間の垂直距離βを
求める（ステップ３５）。

Ｎ＝（６１・ｄ２＋！２・ｄ、１） ÷（ｄｌ＋ｄ２）　　　　・−−−−−・・−（４）尚
、式（４）に於いてｄｉ、ｄ２はそれぞれレーザへ、ド
アと測長器８−１　、８−２との間の水平距離を示して
いる。

次いで、マイクロプロセッサ１は次式（５）に示す演算
を行ない、ワーク１９とｘ−ｙ平面との成す角度θの正
接を求める（ステップＳ６）。

ｔａｎθ＝（Ａｌ−７！２）÷（ｄｌ＋ｄ２）・・−・
・−・〜（５） 次いで、マイクロプロセッサ１は次式（６）〜（８）に
示す演算を行なうことにより、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸方向それぞ
れの移動速度Ｖｘ、Ｖｙ、Ｖｚを求め、演算結果を軸制
御部３に加える（ステップＳ７）。

Ｖｘ＝ｖｌ　　°　ｃｏｓ　　　θ　’　　ｃｏｓ　　
　α　ＩＫ　＜１　　（ｔｏ）　ｓｓｎθ・ｃｏｓ　ｃ
ｘ　１−−−ｍ−・・−（６） Ｖｙ＝ｖｉｃｏｓθ−ｓｉｎ　ｃｘ　１−Ｋ　（ｊ！−
（ｌｏ）　ｓｉｎθ・Ｓｉｎα１−−一　　−・−（７
） Ｖｚ＝ｖｌ・ｓｉｎθ＋Ｋ　（ｆｆ−Ｑｏ）　ｃｏｓθ
−一−−・−（８） 尚、式（６）〜（８）に於いて、Ｋは定数、ｌｏは基準
距離であり、メモリ６に予め記憶させておくものである
。また、ｓｉｎθ、　ｃｏｓθはステップＳ６で求めた
ｔａｎθに基づいて求めるものである。

これにより、軸制御部３は式（６）〜（８）の演算結果
に対応した周波数の指令パルスをそれぞれ駆動回路１１
Ｘ〜１１　Ｚに加え、これによりモータＩＯＸ〜１０Ｚ
が動作し、レーザヘッド７とワーク１９とが式（６）〜
（８）に示す速度で相対的にｘ、ｙ、ｚ軸方向に移動す
る。以下、マイクロプロセッサ１は読取った指令ブロッ
クにより指令された加工が終了するまで（ステップＳ８
）、所定時間Δを毎にステップ８４〜ステツプＳ９の処
理を繰返し行なう。そして、ステップＳ８により、読取
った指令ブロックにより指令された加工が終了したと判
断すると、マイクロプロセッサ１は他の制御ステップ（
例えば次の指令ブロックを読取る処理）に移る。

このように、本実施例は第１．第２の測長器８−１゜８
−２を設けると共に、式（４）に示す演算を行なうこと
により、レーザヘッド７とワーク１９との間の垂直距離
！を求めているものであるから、ワーク１９が傾斜して
いる場合に於いても前記垂直距離ｌを正確に求めること
ができる。また、更に、本実施例はｘ、ｙ、ｚ軸方向の
速度Ｖｘ、Ｖｙ、Ｖｚを式（６）〜（８）に示す演算を
行なうことにより求めているものであるから、ワークが
傾斜している場合に存在する定常誤差を従来例に比較し
て少ないものとすることができる。即ち、式（６）〜（
８）の第１項はレーザヘッド７をワーク１９に沿って移
動させるのに必要となる各軸方向の速度を示し、第２項
はレーザヘッド７とワーク１９との間の距離ｌを基準能
Ｍβ０にするため必要となるＸ、Ｙ、Ｚ軸方向の速度を
示しているが、レーザヘッド７は誤差成分（ｌ　　ｌｏ
＞を含まない第１項で示される速度によってワーク１９
の表面に沿って移動するため、一旦し−ザヘソド７とワ
ーク１９との間の垂直距離が基準距離ｉｏとなった後は
、ワーク１９の傾斜が変化しなければ第２項は零となる
。即ち、ワークが傾斜している場合に於いても定常誤差
をなくすことが可能となる。

第５図は本発明の他の実施例のブロック線図であり、本
発明方式をならい制御装置に通用した場合についてのも
のである。同図に於いて、３１．３２はそれぞれレーザ
測長器等からなる第１．第２の測長器、３３は測長器３
１．３２が取付けられるヘッド、３４はモデル、３５は
ワーク、３６はカッタヘッド、３７はカッタ、３８はヘ
ッド３３とカッタヘッド３６とを結合する剛体からなる
アーム、３９はモデル３４及びワーク３５が載置される
加工テーブル、４０は距離演算回路、４１は角度演算回
路、４２は速度演算回路、４３Ｘ、４３ＺはそれぞれＸ
、　　Ｚ軸の駆動回路、４４Ｘ。

４４ＺはそれぞれＸ、Ｚ軸のモータである。尚、測長器
３１．３２はヘッド３３を中心として互いに対称となる
位置に取付けられているものである。

今、例えば送り軸をＺ軸、ならい軸をＺ軸とし、傾斜角
度がθのモデル３４をならう場合を例にとって第５図の
動作を説明する。

第１３第２の測長器３１．３２はそれぞれワーク３４と
測長器３１．３２との間の垂直距離Ａｔ、Ｎ２を検出し
、検出結果を距離演算回路４０及び角度演算回路４１に
加える。距離演算回路４０には測長器３１．３２の検出
結果ｄｉ、Ｎ２以外にも測長器３１．３２とへソド３３
との間の水平距離ｄｉ、ｃ１２を示す信号が加えられて
おり、距離演算回路４０は前出の式（４）に示す演算を
行なうことによりへ・７ド３３とモデル３４との間の垂
直距離ｌを求め、角度演算手段４１は前出の式（５）に
示す演算を行なうことによりモデル３４の傾斜角度の正
接ｔａｎθを求める。速度演算回路４２は距離演算回路
４０の演算結果ｌと角度演算回路４１の演算結果ｔａｎ
θと基準距離β０と指令速度（接線方向速度）■と定数
にとに基づいて次式（９）。

ＯＩに示す演算を行なうことにより、Ｘ、Ｚ軸方向の移
動速度■に、ＶＺを示す速度信号を作成する。

Ｖｘ＝ｖ−（０３θ−Ｋ　Ｃ１１ｏ）　ｓｉｎθ−・−
・−−（Ｑｌ ■ｚ＝ｖ−ｓｉｎθ＋Ｋ　（ｌ−（ｌｏ）　ｃｏｓθ〜
・−・・−・　　００） そして、速度演算回路４２で作成されたｘ、Ｚ軸方向の
速度信号はそれぞれ駆動回路４３Ｘ、４３Ｚに加えられ
、駆動回路４３Ｘ、４３Ｚの出力によりモータ４４Ｘ、
４４Ｚが回転し、モデル３４がＸ軸方向に速度ＶＸで移
動し、ヘッド３３及びヘッド３３とアーム３８により結
合されているカッタヘッド３６がＺ軸方向に速度Ｖｚで
移動する。

このように、本実施例は第１．第２の測長器３１゜３２
を設けると共に、式（４）に示す演算を行なうことによ
り、ヘッド３３とモデル３４との間の垂直距離２を求め
ているものであるから、モデル３４が傾斜している場合
に於いても前記垂直距ｉｉ！Ｉ１１を正確に求めること
ができる。また、更に、本実施例はＸ。

Ｚ軸方向の速度ＶＸ、ＶＺを式（９１，ＱＯ）に示す演
算を行なうことにより求めているものであるから、モデ
ルが傾斜している場合に存在する定常誤差を従来例に比
較して少ないものとすることができる。

即ち、式ｆ９）、　Ｑ（１の第１項はヘッド３３をモデ
ル３４に沿って移動させるのに必要となる各軸方向の速
度を示し、第２項はヘッド３３とモデル３４との間の距
離ｅを基準距離β０にするため必要となるＸ、Ｚ軸方向
の速度を示しているが、ヘッド３３は第１項で示される
速度によってモデル３４の表面に沿って移動するため、
一旦ヘッド３３とモデル３４との間の垂直距離が基準距
離ｌｏとなった後は、モデル３４の傾斜が変化しなけれ
ば第２頃は零となる。即ち、モデル３４が傾斜している
場合に従来存在していた定常誤差をなくすことが可能と
なる。

〔発明の効果〕 以上説明したように、本発明は、レーザヘッド７、ヘッ
ドお等の第１の物体をワーク１９．モデル３４等の第２
の物体に対して相対的にＺ軸方向に移動させるモータ１
０Ｚ、４４Ｚ等の第１の移動手段と、第２の物体を第１
の物体に対して相対的にＸ−Ｙ平面内の所定方向に移動
さ廿るモータ１０Ｘ、１０Ｙ。

４４Ｘ等の第２の移動手段と、第１の物体に取付けられ
た第１．第２の測長器と、第１．第２の測長器のヰ★出
結果に基づいて第１の物体から第２の物体までのＺ軸方
向の距！１Ｓｔｔβを算出する距離算出手段（第１の実
施例に於いてはマイクロプロセンサ１でステップＳ５の
処理を行なうことにより実現する）と、距離算出手段の
算出結果ｅと基準距離Ｉ！、ｏとの差に比例した補正速
度信号を作成する補正速度信号作成手段と、傾斜角度を
算出する角度算出手段と（第１の実施例に於いてはステ
ップＳ６の処理を行なうことにより実現する）と、補正
速度信号及び速度指令信号を分配する第１．第２の分配
手段と（第１の実施例に於いては式（６）〜（８）の演
算を行なうことにより実現する）とを設け、第１．第２
の分配手段で分配された速度信号と補正速度信号とを重
畳した信号により第１．第２の移動手段を駆動するもの
であるから、第１の物体と第２の物体との間の垂直距離
ｌを積度良く基準距Ｍ！！ｏ　と一致させることができ
る利点がある。

従って、本発明をレーザ加工装置、ならい制御装置等１
；通用すれば、＄ｉ度の高い加工を行なうことができ、
非常に有効である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例のブロック線図、第２図はマ
イクロプロセッサ１の処理内容を示すフローチャート、
第３図、第４図は第１図の動作説明図、第５図は本発明
の他の実施例のブロック線図、第６図は従来例のブロッ
ク線図、第７図は従来例の欠点の説明図である。 １はマイクロプロセッサ、２は入力部、３は軸制御部、
４はテープリーグ、５は指令テープ、６はメモリ、７，
６１はレーザヘッド、８−１．８−２　、３１　。 ３２、６３は測長器、９，３９．７０は加工テーブル、
１０Ｘ〜１０２，１０α、　４４Ｘ、　４４Ｚ、　６７
、６９はモータ、１１　Ｘ〜１１２，１１α、　４３Ｘ
、　４３Ｚ、　６６、６８は駆動回路、１２．１３はへ
〇変換器、１４は回転部材、１５は歯車、１６は支持部
材、１７はボールベアリング、１８は歯、１９、３５．
６２はワーク、３３はヘッド、３４はモデル、３６はカ
ンタヘッド、３７はカッタ、３８はアーム、４０は距離
演算回路、４１は角度演算回路、４２は速度演算回路、
６４は加算器、６５は乗算器である。 特許出廓人　ファナソク株式会社 代理人弁理士玉蟲久五部（外２名） 本発明の一実施タリのブロック線図 第１図 を示すフローチャート 第２図 窮＋１２１の鮪イ乍説明図 第３図 第１図の動作工え川面 第４図 ［ 器 ？「 ＋（１２ 本発明の他の実施例のフロ゛ツク′ｕＡ図簗　５　図 従来例のプロ・シフ線図 （（１）　　　　　　　　　　　　　（ｂ）従木例の欠
点ｔ−説明する図 第７図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 　第１の物体に対して相対的にＸ−Ｙ平面内の所定方向
   に移動する第２の物体と該第２の物体に対して相対的に
   Ｚ軸方向に移動する前記第１の物体とを指令速度信号に
   対応した速度で且つ前記第１の物体と第２の物体との間
   のＺ軸方向の距離が基準距離と一致するように相対的に
   移動させる位置制御方式に於いて、 前記第１の物体を前記第２の物体に対して相対的にＺ軸
   方向に移動させる第１の移動手段と、前記第２の物体を
   前記第１の物体に対して相対的にＸ−Ｙ平面内の所定方
   向に移動させる第２の移動手段と、 前記第２の物体までのＺ軸方向の距離を検出する前記第
   １の物体に取付けられた第１、第２の測長器と、 該第１、第２の測長器の検出結果に基づいて前記第１の
   物体から前記第２の物体までのＺ軸方向の距離を算出す
   る距離算出手段と、 該距離算出手段の算出結果と前記基準距離との差に比例
   した補正速度信号を作成する補正速度信号作成手段と、 前記第１、第２の測長器の検出結果に基づいて前記第２
   の物体の前記Ｘ−Ｙ平面に対する傾斜角度を算出する角
   度算出手段と、 該角度算出手段の算出結果に基づいて前記補正速度信号
   を前記Ｘ−Ｙ平面内の前記所定方向の成分と前記Ｚ軸方
   向の成分とに分配する第１の分配手段と、 前記角度算出手段の算出結果に基づいて前記指令速度信
   号を前記Ｘ−Ｙ平面内の前記所定方向の成分と前記Ｚ軸
   方向の成分とに分配する第２の分配手段とを設け、 前記第１の移動手段は前記第１、第２の分配手段で分配
   された前記Ｚ軸方向の指令速度信号と前記補正速度信号
   とを重畳した信号により駆動され、前記第２の移動手段
   は前記第１、第２の分配回路で分配された前記Ｘ−Ｙ平
   面内の前記所定方向の指令速度信号と前記補正速度信号
   とを重畳した信号により駆動されることを特徴とする位
   置制御方式。