JP2504698B2

JP2504698B2 - Ｎｃ工作機械の加工精度の検査方法

Info

Publication number: JP2504698B2
Application number: JP4912494A
Authority: JP
Inventors: バルクユルゲン; ヴィトゥカヴァルトラウト; グリムヴォルフガング
Original assignee: Robert Bosch GmbH
Current assignee: Robert Bosch GmbH
Priority date: 1994-03-18
Filing date: 1994-03-18
Publication date: 1996-06-05
Anticipated expiration: 2011-06-05
Also published as: JPH07276189A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、円形の目標路を実際の
機械運動を描く実際円形路と比較することによって、少
なくとも２つのサーボ回路を有する少なくとも２軸のＮ
Ｃ工作機械に対し、当該ＮＣ工作機械の加工精度を検査
する方法であって、前記サーボ回路はそれぞれ、目標運
動路を描かせる位置案内信号に従ってキャリッジを案内
するための軸駆動部と、該キャリッジの位置を検出およ
びフィードバックするための距離測定装置とを有するも
のである検査方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】ＮＣ工作機械の加工精度を検出するため
に、いわゆる円形検査法（Ｋｒｅｉｓｆｏｒｍｔｅｓ
ｔ）が開発された。この検査法では、ＮＣ工作機械によ
り実行される円形路が所定の基準円形路と比較される。
この形式の検査法は、例えば“ＤｅｒＫｒｅｉｓｆｏ
ｒｍ−ＴｗｓｔｚｕｒＰｒｕｅｆｕｎｇｖｏｎ
ＮＣ−Ｗｅｒｋｚｅｕｇｍａｓｃｈｉｎｅｎ”，Ｗ．Ｋ
ｎａｐｐ，Ｓ．Ｈｒｏｖａｔ著、１９８６年、１９〜２
３頁に記載されている。この刊行物によれば円形検査法
とは、ＮＣ工作機械により走行された円形路を高精度の
基準工具により定められた既知の直径の基準円と比較す
ることである。検査を行うために、ＮＣ工作機械の制御
部に基準円に相応する円形路がプログラミングされ、２
次元走査子により検出された実際の輪郭とＮＣ工作機械
により実際に実行された円形路とが比較される。差はグ
ラフィックにおよび／または数値的に表示される。円形
検査法の際に発見された軌跡差に基づき、ＮＣ工作機械
の公差の保持状態が検査され、並びに偏差原因に関する
情報が得られる。

【０００３】円形検査法により得られた結果をどのよう
に評価するのかという詳しい説明も前記の刊行物に記載
されている。

【０００４】円形検査法を実行するための他の方式は、
ＲＥＮＩＳＨＡＷ社のパンフレット、１９９１年、“Ｄ
ａｓｎｅｕｅＰＣ−ｇｅｓｔｕｅｔｚｔｅＭｅｓ
ｓｓｙｓｔｅｍｚｕｒＵｅｂｅｒｐｒｕｅｆｕｎｇ
ｖｏｎＢｅａｒｂｅｉｔｕｎｇｓｚｅｎｔｒｅｎ”
から公知である。この構成では、長さの変化するスケー
ルの一方の端部が、機械によって走行すべき円形の中央
に固定され、他方の端部が機械の軸に固定される。円を
走行する際に発生するスケールにおける長さ変化が表示
される。

【０００５】これら公知の検査法の欠点は、機械的構成
を調整するために非常に時間がかかることである。これ
は特に、Ｋｎａｐｐ／Ｈｒｏｖａｔによる検査法で基準
円を調整する際にあてはまる。ＲＥＮＩＳＨＡＷの検査
法は迅速に実行することが、しかしこの測定装置自体が
２つの継ぎ手を有し、これらの継ぎ手が付加的なエラー
源となって、精度の問題がある。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、結果
を従来公知の検査法よりも迅速に簡単に得ることのでき
る円形検査方法を提供することである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】この課題は本発明によ
り、距離測定装置から送出された位置信号から実際円形
路を形成することにより解決される。

【０００８】本発明の方法は、付加的に正確な測定装置
が必要ないという利点がある。本発明は、簡単に、かつ
迅速に任意の頻度で実施することができる。

【０００９】特別な構成では本発明の方法は、前記の公
知の検査法を補充するように実施される。このようにし
て機械加工精度の特に簡単な分析が達成される。

【００１０】本発明の実施例を以下図面に基づき、詳細
に説明する。

【００１１】

【実施例】本発明の方法を実施するのに適した構成が図
２に簡単に示されている。ここには、詳細に図示しない
多軸ＮＣ工作機械の制御部の一部が示されているが、し
かし本発明の方法は基本的にすべての機械形式および例
えばロボットにたいしても適するものである。制御部は
通常の制御部であり、その構成および機能は周知であ
る。従って図２には、以下の説明で必要な要素だけが制
御部全体の中から示されている。

【００１２】補間器１０は公知のように、加工処理部か
ら到来する運動目標路の基準点に対して所定のように中
間基準点を発生する。補間器１０の出力信号は、機械の
少なくとも２つのキャリッジを円形の目標運動路Ｒ_NCに
沿って案内するためのベクトル案内量ｗ→_NCである。案
内量ｗ→_NCの成分は、個々の軸を制御するため後置接続
されたサーボ制御回路３０、４０、５０に対する位置案
内信号ｗ_NC1，ｗ_NC2，．．，ｗ_NCi，．．である。

【００１３】補間器１０はさらに図示しない予備制御装
置を有する。この予備制御装置は、補間器１０から出力
された位置案内信号ｗ_NC1，ｗ_NC2，．．，ｗ_NCi，．．
に対して予備制御信号ｗ_vor1，ｗ_vor2，．．，
ｗ_vori，．．を形成する。この予備制御信号も同様に、
それぞれ位置制御装置、駆動部３１、４１、キャリッジ
３２、４２並びに距離測定装置３３、３４からなる後置
接続されたサーボ制御回路３０、４０、５０に供給され
る。有利には補間器１０から出力される位置案内信号ｗ
_NC ₁，ｗ_NC2，．．，ｗ_NCi，．．の少なくとも１次およ
び２次の時間導関数、すなわち案内速度および案内加速
度が予備制御される。予備制御は必ずしも必要ではない
が、円形検査法で得られる結果を格段に改善する。予備
制御の基本は、例えば刊行物Ｐ．Ｓｔｏｐｈ著、“Ｖｅ
ｒｍｉｎｄｅｒｕｎｇｄｙｎａｍｉｓｃｈｅｒＢａ
ｈｎａｂｗｅｉｃｈｕｎｇｅｎｂｅｉｎｕｍｅｒｉ
ｓｃｈｂａｈｎｇｅｓｔｅｕｅｒｔｅｎｗｅｒｋｚ
ｅｕｇｍａｓｃｈｉｎｅｎ”，Ｚｅｉｔｓｃｈｒｉｆｔ
ｆｕｅｒｉｎｄｕｓｔｒｉｅｌｌｅＦｅｒｔｉｇ
ｕｎｇ，１９７８年、３２９〜３３３頁に記載されてい
る。予備制御を実施するために必要ないわゆる予備制御
パラメータをどのように形成するかはドイツ特許出願第
４０３９６２０．７号明細書に記載されている。

【００１４】補間器１０には当該機械の軸数に相応する
複数の、しかし少なくとも２つのサーボ制御回路３０、
４０、５０が後置接続されている。これらサーボ制御回
路のうち見やすくするため３つだけが図２に図示されて
いるが、しかし３個以上存在することもある。すべての
サーボ制御回路３０、４０、５０は原則的に同じように
構成されており、それぞれ１つの位置制御装置と軸駆動
部３１、４１とを有する。軸駆動部は補間器１０により
設定された位置案内信号に従いキャリッジ３２、４２
を、一般的には線形の軸線に沿って制御する。実際路Ｒ
_Mにあるキャリッジ３２、４２の、機械固定した基準点
に関する実際位置ｘ_M1，ｘ_M2，．．，ｘ_Mi，．．が距離
測定装置３３、４３により軸ごとに検出され、軸駆動部
３１、４１を有する位置制御装置にフィードバックされ
る。距離測定装置３３、４３は有利には長さを直接測定
するための長さスケールであり、相互に直交して配置さ
れ、光学的に走査される。この形式の距離測定装置並び
にその機能は、例えば刊行物“Ｋｏｎｓｔｒｕｋｔｉｏ
ｎ”，４３，１９９１年、４０１〜４１０頁に記載され
ている。

【００１５】少なくとも２つの位置制御装置ないし軸駆
動部３１、４１は相互に直交する軸に作用する。これら
の軸は１平面上に展開されている。少なくとも２つの位
置制御装置ないし軸駆動部３１、４１により作用される
運動に基づいて、所属のキャリッジ３２、４２が当該軸
に沿って次のように運動される。すなわち、その相対運
動が補間器１０から案内量ｗ→_NCとして設定された目標
路Ｒ_NCに相応するように運動される。どちらのキャリッ
ジ３２、４２が移動されるかは重要でない。キャリッジ
３２、４２の運動はそれぞれ１つ以上の軸駆動部によっ
て制御することができ、３つ以上の軸に沿って行うこと
ができる。重要なのはキャリッジ３２と４２の相互の相
対運動である。

【００１６】距離測定装置３３、４３により検出された
キャリッジ位置ｘ_M1，ｘ_M2，．．，ｘ_Mi，．．はさらに
診断ユニット２０に供給される。診断ユニット２０には
他に、案内量信号ｗ→_NCにより定められた目標円形路Ｒ
_NCの信号、基準信号Ｒ_Ref並びにスケーリングのための
信号Ｓ_Vが供給される。診断ユニット２０の出力信号は
有利には２つの相互に直交する情報レーンＸ_D1，Ｘ_D2か
らなる。この出力信号は、有利には画面の形態の表示ユ
ニット７０に供給される。

【００１７】図１は、従来技術から公知の基準円と走査
子を有する測定装置を示す。これは例えば、Ｋｎａｐｐ
／Ｈｒｏｖａｔの刊行物から公知である。図２に基づき
既に説明した要素には同じ参照符号が付してある。距離
測定装置３３、４３の他に、図１の装置は例えば２次元
走査子を有する。２次元走査子は実質的に走査ヘッド６
０と測定ピックアップ６１からなり、これらは機械的に
相互に結合している。２次元走査子は機械的にキャリッ
ジ３２、４２の少なくとも１つと結合している。これは
機械部材６５により考慮されている。測定ヘッド６０が
制御部により設定された目標円形路Ｒ_NCに相応して移動
する間、測定ピックアップ６１は基準円として構成され
たリング状の測定ヘッド６２に沿って、この測定ヘッド
により物理的に定められた軌跡上を案内される。その
際、後での測定結果の評価を見れば、基準円６２の内側
の走査（内側基準円）と基準円の外側の走査（外側基準
円）とが区別される。２次元走査子の出力信号Ｒ_2DTは
加算点６３に供給される。加算点にはその他に基準信号
Ｒ_Refを供給することができる。加算点６３の出力信号
も画面の形態の表示ユニット７０に供給される。

【００１８】以下、図面に示された装置構成の機能を詳
細に説明する。その際まず図２を基準にする。

【００１９】円形検査法の実施の際、補間器１０は図示
しない制御部を介して、前もってプログラミングされた
円形状の目標路Ｒ_NCを設定する。有利には目標円形路Ｒ
_NCは、この円形路が２つの軸により展開された平面内に
正確にあるように選択される。目標円形路Ｒ_NCを機械に
よって加工する場合、円形路の平面に展開された機械軸
だけが作動され、その他の軸は作用しない。このような
機械的適合処置により後での結果の評価が簡単になる。
目標円形路Ｒ_NCは機械により一定の軌跡速度で走行され
る。距離測定装置３３、４３は、キャリッジ３２、４２
による機械運動の際に実際に加工された実際路Ｒ_Mを検
出する。これはそれぞれ運動に関与するキャリッジ３
２、４２の位置を検出することにより行われる。相対的
キャリッジ運動路の位置を一義的に検出するためには、
少なくとも２つのサーボ回路３０、４０、５０のキャリ
ッジの位置が必要である。走行された実際路Ｒ_Mが測定
装置３３、４３に関する平面内に正確になければ、少な
くとも３つのサーボ回路３０、４０、５０のキャリッジ
位置が既知でなければならない。実際路Ｒ_Mの検出され
たすべての位置は診断ユニット２０に供給される。位置
案内信号ｗ→_NCにより設定された各目標位置ごとに、す
なわち補間器１０の各補間ステップごとに、診断ユニッ
ト１０は連続的に、目標路Ｒ_NC上のキャリッジ３２およ
び４２相互の位置と、所属の距離測定装置３３、４３に
より測定された実際路Ｒ_M上の位置との差を検出する。
この診断ユニット２０で検出された差は軌跡偏差ΔＲの
形で円形検査法の結果を既に表す。この結果が表示器７
０に表示される。

【００２０】得られた結果の意味を簡単にするため、軌
跡偏差ΔＲを連続的に、有利には基準円経路の形態の設
定された基準信号Ｒ_Refに加算する。また第２の実施例
ではこれから減算する。このようにして円形として見る
ことができるように結果が可視表示される。さらに種々
異なる円形検査からの結果を比較することができる。診
断ユニット２０で発見された軌跡偏差ΔＲが基準円経路
Ｒ_Refから減算されれば表示器７０には、過度に小さな
実際円形路Ｒ_Mが過度に大きな円形として、また過度に
大きな実際路Ｒ_Mが過度に小さな円形として表示され
る。これにより表示器７０から直接所要の補正を取りだ
すことができる。この表示形式は、図１に示した内側基
準円での走査による円形検査法に相応する。診断ユニッ
ト２０で検出された軌跡偏差ΔＲが基準信号Ｒ_Refに加
算されるならば、過度に小さな円は表示器７０に過度に
小さく、過度に大きな円は過度に大きく表示される。こ
の場合表示器７０から直接、目標路と実際路との偏差を
取りだすことができる。この表示は、図１の外側基準円
の走査による円形検査法に相応する。結果を解釈および
提示するためには再度、冒頭に述べたＫｎａｐｐ／Ｈｒ
ｏｖａｔの刊行物が参照される。そこに記載された評価
法は、ここに提案した円形検査法でも同様に適用するこ
とができる。

【００２１】読み取り易くするため、表示器の表示を有
利には表示器に基礎表示された座標系のスケーリングに
よって所定の拡大係数Ｓ_Vで拡大する。適当な拡大係数
は１０００倍のオーダーである。

【００２２】本発明の方法の基本的考えは、サーボ回路
にいずれにしろ存在する、キャリッジの実際位置と所望
の目標位置についての情報を円形検査法の実施に利用す
ることである。しかし一見簡単に思えるこの方法の困難
性は、ＮＣ補間器１０により設定された目標位置とダイ
レクト距離測定装置３３、４３により測定された実際位
置とを、円形偏差を形成するためには正しく対応割当て
しなければならないことである。種々異なる大きさです
べての数値制御機械に発生する慣性誤差（例えば既にサ
ーボ回路での位置制御器の比例制御器としての構成に起
因する）のため一般的な作用が発生し、制御部により設
定される目標値は機械によって到達される実際値に先行
する。これにより、円形運動の場合は機械により実際に
処理される実際円の半径が常に得ようとする目標円の半
径よりも小さい。従って目標路と実際路とは、同じ時点
で検出された目標位置ないし実際位置の単純な評価によ
って比較することはできない。

【００２３】慣性誤差に起因する対応割当ての問題が図
３に示されている。Ｒ_NCは目標円形路を示す。この目標
円形路は、機械のデジタル動作に起因して、目標位置の
シーケンス（図３では分線分として示されている）によ
り多角形に近似している。Ｒ_Mは、距離測定装置３３、
４３により検出された実際円形路を示す。実際円形路は
図３の例では時計方向に巡回する。表示されているの
は、任意の２つの直交軸により展開されたｘ−ｙ平面で
ある。時点ｔ₁で目標位置ｘ₁，ｙ₁が制御部から設定さ
れる。慣性誤差のため、機械は同じ時点ｔ₁では実際に
は位置ｘ_M1，ｙ_M1にある。

【００２４】図３からわかるように、固定の時点ｔ₁で
の目標位置と実際位置との比較は機械特性に関する情報
を提供することができないこととなる。というのは、時
点ｔ₁で存在する見かけの軌跡偏差ΔＲは、この時点で
実際に存在する軌跡偏差ΔＲと一致しないからである。

【００２５】提案された方法により、その制御部が予備
制御装置１２を含む機械での対応割当ての問題を一般的
に取り扱うことができる。というのは予備制御の目的は
慣性誤差を回避することであり、この形式の制御では目
標位置と実際位置とが円形運動の際に一般的に一致する
からである。

【００２６】確かに予備制御はダイナミックな慣性誤差
を格段に低減することができる。しかしこれを理想的に
ゼロにすることはできない。さらに、予備制御が不可能
な場合、または所望されない場合での適用も考えられ
る。

【００２７】対応割当ての問題を解決する別の手段は、
提案された円形検査法をまず補正なしで実行し、得られ
た結果を、後から遅れ間隔を数学的考慮して評価するの
である。この形式の方法が図４に示されている。まずス
テップ２１で、ＮＣ工作機械は所定の目標円形路Ｒ_NCを
走行する。目標位置ｗ_NCと測定された実際位置ｘ_Mは軸
ごとに記憶され、その際目標位置ｗ_NCと測定された実際
位置ｘ_Mとはそれぞれ同じ時間に検出される。

【００２８】第１のステップ２１で記憶された位置値か
ら、実際位置ｘ_Mがステップ２２で、デカルト座標系を
展開する２つの軸ｊに対して新たな補正された位置目標
値ｗ_NC（新）が次のように割り当てられる。

【００２９】（１）ｗ_NCj（新）＝Ｒ_NC／√（ｘ_M1 ²＋
ｘ_M2 ²）・ｘ_MJ ｊ＝１，２この対応割当ての意味は、目標路Ｒ_NC上のポイントは図
３で分線分として示された位置の間では正確な目標値で
あるからである。

【００３０】有利には表示器７０に図示される円形偏差
により、ΔＲ＝Ｒ_NC−Ｒ_M ，ここで（２）Ｒ_M＝√（ｘ_M1 ²＋ｘ_M2 ²）新たな位置目標値ｗ→_NC（新）により次のステップ２３
で各実際位置ごとに、時点ｔ₁で実際にＮＣ工作機械に
発生する軌跡偏差ΔＲが次のようにして得られる。

【００３１】（３） ΔＲ＝√（（ｗ_NC1（新）−
ｘ_M1）²＋（ｗ_NC2（新）−ｘ_M2）²）結果を見やすくするため、式（２）で発見された軌跡偏
差は再び有利には、基準円の形の基準信号Ｒ_Refに加算
されるか、またはこれから減算される。従ってステップ
２４では、例えば相互作用的入力によって基準信号Ｒ
_Ref並びに所望の表示が内側基準円および外側基準円で
確定される。デカルト座標系に関連する表示器７０での
ポイントごとの表示は軸成分を必要とし、従って以下の
ように計算される。

【００３２】（４）ｘ_DJ＝（Ｒ_Ref／Ｒ_NC）・ｗ
_NCj（新）±（ｗ_NC（新）−ｘ_Mj）ここでマイナス記号は内側基準円に相応し、プラス記号
は外側基準円に相応する。

【００３３】後続のステップ２５で、発見された軌跡偏
差ΔＲの拡大が行われる。これも例えば相互作用的に、
画面７０での表示の基礎とされる座標系のスケーリング
に対してスケーリング係数を設定することにより行われ
る。

【００３４】引き続き式（３）または（４）で求められ
た軸成分と共に軌跡偏差ΔＲが表示器７０に次のように
表示される。

【００３５】（５） ΔＲ＝√（ｘ_D1 ²＋ｘ_D2 ²）＝（Ｒ
_Ref±Ｒ_NC−Ｒ_M）有利にはステップ２１から２４はまとめられる。式
（１）、（２）および（４）から、（６）ｘ_Dj＝（Ｒ_Ref±（Ｒ_NC−Ｒ_M））・ｘ_Mj／Ｒ_M ここでｘ_Mjは測定され、Ｒ_Mは式（２）に従い計算さ
れ、Ｒ_RefないしＲ_NCは設定される。マイナス符号はこ
こでも内側基準円に対するものであり、プラス符号は外
側基準円に対するものである。

【００３６】全体の診断法は診断ユニット２０で実行さ
れる。診断ユニットは数値制御部自体でも、外部の装置
でも実現することができる。

【００３７】提案された円形検査法によって、いずれに
しろ存在する距離測定装置を用いてサーボ回路自体の加
工精度を検査することができる。サーボ回路に所属しな
い機械の外部機構、例えば工具保持に起因する機械的不
精度は検出されない。サーボ回路３０、４０、５０外に
ある機構６５の機械加工精度に及ぼす影響に付加的興味
がある場合、有利には本発明で提案された円形検査法
を、公知の機械的円形検査法、例えばＫｎａｐｐ／Ｈｒ
ｏｖａｔの検査法と組み合わせて実行する。後者は図１
に示すように外部機構６５を含んでいる。従って２つの
検査法を単純に比較することによって、外部機構に関す
る情報を得ることができる。２つの円形検査法の実施
は、有利には順次連続して、例えばまず本発明の方法を
実施することが考えられる。第２の方法のために、キャ
リッジの１つ、通常はスピンドルに２次元測定走査子が
固定される。引き続き機械は再び同じプログラミングさ
れた円形路運動Ｒ_NCを実行する。機械はこの円形路運動
を前に実施した本発明の円形検査法の枠内で既に実行し
ている円形路Ｒ_NCは基準円６２の外側輪郭と一致する。
この外側輪郭には機械運動の間、測定走査子６１が当接
する。従って測定走査子は基準円６２により定められた
円形路上を移動する。機械運動の間、２次元走査子は走
査ヘッド６０と測定粗さし６１との間の相対運動を検出
し、これを出力信号に変換する。走査ヘッド６０は実際
路に沿って、測定走査子６１っは目標円形路に沿って基
準円６２に案内されるから、この出力信号は円形偏差Δ
Ｒに相応する。ΔＲはこれも有利には画面７０に表示さ
れる。わかりやすくするため、信号ΔＲには、既に本発
明の円形検査法での説明で提案したように、基準円形路
の形態の基準信号Ｒ_Refが加算されるか、またはこれか
ら減算される。

【００３８】有利には、診断ユニット２０の操作をソフ
トウェアで実現された診断メニューを用いて行う。診断
メニューは例えば、新たな目標半径Ｒ_NC、別の基準半径
Ｒ_Re _f、別の拡大係数を調整し、円形運動の回転方向を
変更し、新たな円形軌跡速度を設定することができる。
さらに有利には、円形検査法により得られた結果の評価
を診断ユニットでソフトウェアにより実現する。例え
ば、円形偏差、円偏差、直径偏差並びにバックラッシュ
幅を評価することができる。

【００３９】なお本明細書で使用された「ｗ→」なる符
号は、ｗのベクトル

【００４０】

【数１】

【００４１】を表すものである。

【００４２】

【発明の効果】本発明により、結果を従来公知の検査法
よりも迅速に簡単に得ることのできる円形検査方法が得
られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】公知の円形検査法を実施する装置のブロック回
路図である。

【図２】本発明の方法を実施する装置のブロック回路図
である。

【図３】円形検査法により得られる結果を表す概略図で
ある。

【図４】本発明の方法のステップを示す概略図である。

【符号の説明】

１０補間器２０診断ユニット３１、４１軸駆動部３２、４２キャリッジ３０、４０、５０サーボ回路３３、４３距離測定装置６０走査ヘッド６１測定走査子６２基準円

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者ヴァルトラウトヴィトゥカドイツ連邦共和国ミヒェルシュタットシュタットリング 302 (72)発明者ヴォルフガンググリムドイツ連邦共和国ミヒェルシュタットアルスフェルダーシュトラーセ 16 (56)参考文献実開平４−60647（ＪＰ，Ｕ)

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】円形の目標路を実際の機械運動を描く実
際円形路と比較することによって、少なくとも２つのサ
ーボ回路を有する少なくとも２軸のＮＣ工作機械に対
し、当該ＮＣ工作機械の加工精度を検査する方法であっ
て、前記サーボ回路はそれぞれ、目標運動路を描かせる位置
案内信号に従ってキャリッジを案内するための軸駆動部
と、該キャリッジの位置を検出およびフィードバックす
るための距離測定装置とを有するものである検査方法に
おいて、距離測定装置（３３、４３）から送出された位置信号
（ｘ_M）から実際円形路（Ｒ_M）を形成することを特徴と
する検査方法。
【請求項２】距離測定装置（３３、４３）により測定
された各位置信号（ｘ_M）を所属の位置案内信号
（ｗ_NC）と比較する請求項１記載の方法。
【請求項３】同じ時点（ｔ₁）で、目標位置に対して
得られる値と距離測定装置により測定された実際位置
（ｘ_M）に対して得られる値とを検出する第１のステッ
プ（２１）と、これらの値から実際位置を定める目標位置を求める第２
のステップ（２２）とを有する請求項１または２記載の
方法。
【請求項４】位置案内信号（ｗ_NC）をサーボ回路（３
０、４０、５０）に対して速度予備制御する請求項１か
ら３までのいずれか１項記載の方法。
【請求項５】位置案内信号（ｗ_NC）を付加的に加速度
予備制御する請求項４記載の方法。
【請求項６】距離測定装置(３３、４３)の出力信号
(ｘ_M)を補間器（１０）の出力信号(ｗ_NC)から減算し、
結果を引き続き基準信号（Ｒ_Ref）から減算し、画面
（７０）に表示する請求項１から５までのいずれか１項
記載の方法。
【請求項７】距離測定装置(３３、４３）の出力信号
（ｘ_M）を補間器（１０）の出力信号（ｗ_NC）から減算
し、結果を引き続き基準信号（Ｒ_Ref）に加算し、画面
(７０)に表示する請求項１から５までのいずれか１項記
載の方法。
【請求項８】基準信号（Ｒ_Ref）は所定の半径を有す
る円形路である請求項６または７記載の方法。