JP2009090561A - 発熱抵抗素子部品およびプリンタ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】支持基板の上に積層された絶縁被膜3の上に、主走査方向に沿って千鳥状に配列された複数の略正方形状の発熱抵抗体4と、これら発熱抵抗体4の一端にそれぞれ接続された共通配線5aと、前記発熱抵抗体4の他端にそれぞれ接続された個別配線5bと、前記支持基板の表面に、前記発熱抵抗体4に対向する領域に形成された凹部8とを備え、前記発熱抵抗体4の副走査方向の配列ピッチを、前記発熱抵抗体4の主走査方向の配列ピッチよりも大きくした。
【選択図】図1
Description
また、基板の機械的強度を十分に確保しようとすると、空洞部を発熱体の形成されている領域よりも十分広い領域にわたって形成させることができず、発熱素子で発生した熱が基板全体に拡散してしまい、発熱効率が低下してしまうといった問題点があった。
本発明に係る発熱抵抗素子部品は、支持基板の上に積層された絶縁被膜の上に、主走査方向に沿って千鳥状に配列された複数の略正方形状の発熱抵抗体と、これら発熱抵抗体の一端にそれぞれ接続された共通配線と、前記発熱抵抗体の他端にそれぞれ接続された個別配線と、前記支持基板の表面に、前記発熱抵抗体に対向する領域に形成された凹部とを備え、前記発熱抵抗体の副走査方向の配列ピッチが、前記発熱抵抗体の主走査方向の配列ピッチよりも大きい。
これにより、印刷時等に発熱抵抗体の表面側から押圧力を受けても、凹部と凹部との間に形成された隔壁によって押圧力が支持されることとなるので、基板の機械的強度を向上させることができ、耐圧性能を向上させることができる。
また、発熱抵抗体の直下(発熱抵抗体の発熱部と対向する領域)に、(従来よりも)より大きな空洞部(中空断熱層)を形成(配置)させることができるので、発熱抵抗体で発生した熱(熱量)が、基板内へ流出してしまうことを抑制することができ、発熱抵抗体の発熱効率を向上させることができて、消費電力の低減化を図ることができる。
図1は本実施形態に係る発熱抵抗素子部品であるサーマルヘッドの平面図であり、保護膜を取り除いた状態を示す図、図2は図1のII−II矢視断面図である。
図2に示すように、サーマルヘッド1は、支持基板(以下、「基板」という。)2と、基板2の上に形成されたアンダーコート(絶縁皮膜)3とを備えている。また、図1および/または図2に示すように、アンダーコート3の上には複数の発熱抵抗体4が主走査方向(図1において左右方向)に沿って千鳥状に形成され(配列され)、発熱抵抗体4には配線5が接続されている。配線5は、発熱抵抗体4の主走査方向(「配列方向」ともいう。)に直交する副走査方向(「印刷対象物送り方向」ともいう。)の一端に接続される共通配線5aと、他端に接続される個別配線5bとから構成されている。さらに、図2に示すように、サーマルヘッド1は、発熱抵抗体4および配線5の上面を被覆する保護膜6を備えている。
なお、発熱抵抗体4が実際に発熱する部分(以下、「発熱部」という。)は、配線5と重ならない部分である。
凹部8は、発熱抵抗体4の発熱部によって覆われる領域(発熱部と対向する領域)に、空洞部7が位置するように形成された平面視矩形状を呈する凹所である。また、隣り合う凹部8と凹部8とは重なり合わないように形成されている。すなわち、隣り合う凹部8と凹部8との間には、表面全体がアンダーコート3の裏面と当接する隔壁が形成されている。言い換えれば、隣り合う凹部8と凹部8とは、隔壁によって区画されて(仕切られて)いる。そして、凹部8の底面(基板2の表面に平行な面)および壁面(基板2の表面と直行する面)と、アンダーコート3の裏面(図2において下側の面)とで形成される(密閉される)空間は、空洞部7を構成している。
まず、一定の厚さを有する基板2の表面の、発熱抵抗体4が形成される領域に、空洞部7を形成する凹部8を加工する。基板2の材料としては、例えば、ガラス基板、単結晶シリコン基板等が用いられる。また、基板2の厚みは、300μm〜1mm程度である。
凹部8は、例えば、基板2の表面に、サンドブラスト、ドライエッチング、ウェットエッチング、レーザー加工等を施すことによって形成される。
エッチングによる加工を施す場合には、同様に、基板2の表面に凹部8を形成する領域にエッチング窓が形成されたエッチングマスクを形成し、この状態で、基板2の表面にエッチングを施すことで、所定深さの凹部8を得る。このエッチング処理には、単結晶シリコンの場合、例えば、水酸化テトラメチルアンモニウム溶液、KOH溶液、フッ酸と硝酸の混合液によるエッチング液等によるウェットエッチングが、また、ガラス基板の場合、フッ酸系のエッチング液等を用いたウェットエッチングが行われる。そのほか、リアクティブイオンエッチング(RIE)やプラズマエッチング等のドライエッチングが用いられる。
また、ガラスからなる基板2と薄板ガラスからなるアンダーコート3とを接合する場合は、接着層を用いない熱融着で接合する。ガラスからなる基板2と薄板ガラスからなるアンダーコート3との接合処理は、ガラスからなる基板2および薄板ガラスからなるアンダーコート3の徐冷点以上で、かつ、軟化点以下の温度で行われる。そのため、基板2およびアンダーコート3の形状精度を保つことができ、信頼性が高い。
ここで、薄板ガラスとして10μm程度の厚みのものは、製造やハンドリングが困難であり、また高価である。そこで、このような薄い薄板ガラスを直接基板2に接合する代わりに、製造やハンドリングが容易な厚みをもった薄板ガラスを基板2に接合した後に、この薄板ガラスをエッチングや研磨等によって所望の厚みとなるように加工してもよい。この場合には、基板2の一面に容易、かつ、安価にごく薄いアンダーコート3を形成することができる。
薄板ガラスのエッチングには、上述したように、凹部8の形成に用いた各種エッチングを用いることができる。また、薄板ガラスの研磨には、例えば、半導体ウェーハ等の高精度研磨に用いられるCMP(ケミカルメカニカルポリッシング)等を用いることができる。
これら発熱抵抗体4、個別配線5b、共通配線5a、保護膜6は、従来のサーマルヘッドにおけるこれら部材の製造方法を用いて作製することができる。具体的には、スパッタリングやCVD(化学気相成長法)、蒸着等の薄膜形成法を用いて絶縁皮膜上にTa系やシリサイド系等の発熱抵抗体材料の薄膜を成膜し、この発熱抵抗体材料の薄膜をリフトオフ法やエッチング法等を用いて成形することにより所望の形状の発熱抵抗体を形成する。
同様に、アンダーコート3の上に、Al、Al−Si、Au、Ag、Cu、Pt等の配線材料をスパッタリングや蒸着法等により成膜してこの膜をリフトオフ法、もしくはエッチング法を用いて形成したり、配線材料をスクリーン印刷した後に焼成する等して、所望の形状の個別配線5bおよび共通配線5aを形成する。
このようにして発熱抵抗体4、個別配線5b、および共通配線5aを形成した後、アンダーコート3の上にSiO2、Ta2O5、SiAlON、Si3N4、ダイヤモンドライクカーボン等の保護膜材料をスパッタリング、イオンプレーティング、CVD法等により成膜して、保護膜6を形成する。
これにより、印刷時等に発熱抵抗体4の表面側から押圧力を受けても、凹部8と凹部8との間に形成された隔壁によって押圧力が支持されることとなるので、基板2の機械的強度を向上させることができ、耐圧性能を向上させることができる。
本実施形態に係る発熱抵抗素子部品11は、主走査方向に沿って発熱抵抗体4の発熱部と隣接する共通配線5aまたは個別配線5bの幅寸法が、発熱抵抗体4の発熱部近傍に位置する共通配線5aまたは個別配線5bの幅よりも細いという点で上述した第1実施形態のものと異なる。その他の構成要素については上述した第1実施形態のものと同じであるので、ここではそれら構成要素についての説明は省略する。
その他の作用効果は、上述した第1実施形態のものと同じであるので、ここではその説明を省略する。
例えば、凹部8は、基板2を板厚方向に貫通するとともに、空洞部を形成する貫通部(貫通穴)とすることもできる。
凹部8を貫通部とすることにより、発熱抵抗体4で発生した熱(熱量)が、基板2内へ流出してしまうことを上述した実施形態のものよりも抑制することができ、発熱抵抗体4の発熱効率を上述した実施形態のものよりも向上させることができて、消費電力を上述した実施形態のものよりも低減化させることができる。
図4に示すように、本実施形態に係るプリンタ20は、図1中の矢印L方向であるシート材21の搬送方向に沿って、シート材21が巻回されたシート供給装置22から供給されたシート材21の感熱印字層に各種情報を印字する印字装置23と、この印字装置23によって印字されたシート材21を切断する切断装置24と、シート材21の感熱性粘着層を熱活性化するための熱活性化装置25とを備えている。
2 基板(支持基板)
3 アンダーコート(絶縁被膜)
4 発熱抵抗体
5a 共通配線
5b 個別配線
8 凹部
11 サーマルヘッド(発熱抵抗素子部品)
20 プリンタ
25 熱活性化装置
Claims (6)
- 支持基板の上に積層された絶縁被膜の上に、主走査方向に沿って千鳥状に配列された複数の略正方形状の発熱抵抗体と、これら発熱抵抗体の一端にそれぞれ接続された共通配線と、前記発熱抵抗体の他端にそれぞれ接続された個別配線と、前記支持基板の表面に、前記発熱抵抗体に対向する領域に形成された凹部とを備え、
前記発熱抵抗体の副走査方向の配列ピッチが、前記発熱抵抗体の主走査方向の配列ピッチよりも大きい発熱抵抗素子部品。 - 前記発熱抵抗体の主走査方向の幅寸法が、前記発熱抵抗体の主走査方向の配列ピッチ以上である請求項1に記載の発熱抵抗素子部品。
- 前記凹部の主走査方向の幅寸法が、前記発熱抵抗体の主走査方向の配列ピッチよりも大きい請求項1または2に記載の発熱抵抗素子部品。
- 主走査方向に沿って前記発熱抵抗体の発熱部と隣接する前記共通配線または前記個別配線の幅寸法が、前記発熱抵抗体の発熱部近傍に位置する前記共通配線または前記個別配線の幅よりも細い請求項1から3のいずれか一項に記載の発熱抵抗素子部品。
- 請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の発熱抵抗素子部品からなるサーマルヘッドを備える熱活性化装置。
- 請求項5に記載の熱活性化装置を備えるプリンタ。
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