JP4791121B2 - 研磨布用ドレッサー - Google Patents
研磨布用ドレッサー Download PDFInfo
- Publication number
- JP4791121B2 JP4791121B2 JP2005276376A JP2005276376A JP4791121B2 JP 4791121 B2 JP4791121 B2 JP 4791121B2 JP 2005276376 A JP2005276376 A JP 2005276376A JP 2005276376 A JP2005276376 A JP 2005276376A JP 4791121 B2 JP4791121 B2 JP 4791121B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- brazing
- brazing material
- diamond
- dresser
- abrasive grains
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B53/00—Devices or means for dressing or conditioning abrasive surfaces
- B24B53/12—Dressing tools; Holders therefor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B53/00—Devices or means for dressing or conditioning abrasive surfaces
- B24B53/017—Devices or means for dressing, cleaning or otherwise conditioning lapping tools
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
- B24D3/00—Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents
- B24D3/02—Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents the constituent being used as bonding agent
- B24D3/04—Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents the constituent being used as bonding agent and being essentially inorganic
- B24D3/06—Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents the constituent being used as bonding agent and being essentially inorganic metallic or mixture of metals with ceramic materials, e.g. hard metals, "cermets", cements
Description
また、本発明の研磨布用ドレッサーの他の特徴とするところは、前記砥粒が、ダイヤモンド、立方晶窒化ホウ素、炭化ホウ素、炭化ケイ素、及び酸化アルミニウムの少なくとも1種であることを特徴とする。
組成が質量%でNi-0.12%Fe-7.4%Cr-4.0%Si-3.0%B-0.5%P(P添加合金)を溶製し、母合金を作製した。この母合金を用いて、単ロール急冷法によって、厚みが20μm、幅が50mmの箔に製造した。具体的には、0.4mm×50mmのスロットノズルを備えた石英るつぼで各母合金を1300℃でアルゴン雰囲気中で溶解し、周速25m/秒で回転しているCu製冷却ロール上に、スロットノズルを通じて溶湯を噴出し、箔にした。ノズルと冷却ロールとのギャップは0.20mmとした。比較例として溶製したNi-3.33%Fe-7.2%Cr-4.2%Si-3.0%B(P無添加合金)についても、同様に行った。
結果を表1に示す。
表2に示した組成の母合金を溶製し、単ロール急冷法によって、厚みが20μm、幅が50mmの箔を製造した。具体的には、0.4mm×50mmのスロットノズルを備えた石英るつぼで各母合金を1300〜1400℃でアルゴン雰囲気中で溶解し、周速25m/秒で回転しているCu製冷却ロ−ル上に、スロットノズルを通じて溶湯を噴出し、箔にした。ノズルと冷却ロールとのギャップは0.20mmとした。
結果を表2に示す。
表3に示す組成の母合金を溶製し、実施例2と同様に、各々の組成の箔を製造した。厚みは35μm、幅は50mmである。直径50mm、厚さ4mmのSUS304ステンレス円板の表面に、製造した各々の箔をスポット溶接した。その上に、粒径50μmのダイヤモンドを25個/mm2の密度で正方形パターン配置させ、1040℃で真空中15分間ろう付け処理を施した。ステンレス円板とろう材の接合は、ハジキ等がなく良好であった。ろう付け後の評価は、実施例2と同様である。
結果を表3に示す。
表4に示す組成の母合金を溶製し、実施例2と同様に、各々の組成の箔を製造した。厚みは20μm、幅は50mmである。直径50mm、厚さ4mmのSUS304ステンレス円板の表面に、製造した各々の箔をスポット溶接した。その上に、粒径25μmのダイヤモンドを40個/mm2の密度で正方形パタ―ン配置させ、1040℃で真空中15分間ろう付け処理を施した。ステンレス円板とろう材の接合は、ハジキ等がなく良好であった。ろう付け後の評価は、実施例2と同様である。
結果を表4に示す。
表5に示す組成の母合金を溶製し、実施例2と同様に、各々の組成の箔を製造した。厚みは25μm、幅は50mmである。直径50mm、厚さ4mmのSUS304ステンレス円板の表面に、製造した各々の箔をスポット溶接した。その上に、粒径30μmのダイヤモンドを40個/mm2の密度で正方形パターン配置させ、1040℃で真空中15分間ろう付け処理を施した。ステンレス円板とろう材の接合は、ハジキ等がなく良好であった。
結果を表5に示す。
表6に示す組成の母合金を溶製し、実施例2と同様に、各々の組成の箔を製造した。厚みは30μm、幅は50mmである。直径50mm、厚さ4mmのSUS304ステンレス円板の表面に、製造した各々の箔をスポット溶接した。その上に、粒径40μmのダイヤモンドを30個/mm2の密度で正方形パターン配置させ、1040℃で真空中15分間ろう付け処理を施した。ステンレス円板とろう材の接合は、ハジキ等がなく良好であった。ろう付け後の評価は、実施例2と同様である。
結果を表6に示す。
表7に示す組成の母合金を溶製し、実施例2と同様に、各々の組成の箔を製造した。厚みは32μm、幅は50mmである。直径50mm、厚さ4mmのSUS304ステンレス円板の表面に、製造した各々の箔をスポット溶接した。ただし、No.71では、Bが質量%で0.73%と1%未満であったため、No.72以降と同様な形状の箔にすることができなかった。
結果を表7に示す。
No.71〜No.75は、本発明のドレッサーの特徴である所定量のB/(Si+B)比を含有するろう材であって、ダイヤの40%〜70%が埋まっている状態であり、ろう付け状態が良好でダイヤの脱落も見られなかった。
実施例4で製造したNo.31のろう材を用いて、直径50mm、厚さ4mmのSUS304ステンレス円板の表面に箔をスポット溶接した。この際に箔を最大で13枚まで重ねてろう材の厚みを変化させた。13枚重ねの場合には約260μmのろう材厚となる。また、20μmの箔をエメリ−研磨によって最小で約2μmのろう材厚とした。このような重ね合わせと研磨によって、約2μm〜260μmのろう材厚を得た。このろう材の上にダイヤ径3μm、10μm、40μm、130μm、200μm、300μmのダイヤを篩を使って散布した。バインダー等は使わなかったため、ダイヤが落ちないように慎重に扱った。この際に、前記した方法でろう材厚みをダイヤ径の約5割〜9割程度に調整した。980℃で15分間のろう付け処理を行った後、実施例2と同様に、ろう付け状態を観察した。ステンレス円板とろう材の接合は、ハジキ等がなく良好であった。
結果を表8に示す。
実施例4で製造したNo.31のろう材を用いて、直径50mm、厚さ4mmのSUS304ステンレス円板の表面に、箔を2枚重ねてスポット溶接した。砥粒として、粒径が60μmの立方晶窒化ホウ素、粒径が70μmの炭化ホウ素、粒径70μmの炭化ケイ素、粒径55μmの酸化アルミニウム、前記炭化ホウ素と炭化ケイ素を質量で50%ずつ混合したものを20個/mm2の密度で正方形パターン配置させ、1000℃で真空中20分間ろう付け処理を施した。ステンレス円板とろう材の接合は、ハジキ等がなく良好であった。実施例2と同様に、ろう付け状態を観察した。
結果を表9に示す。
実施例1のNo.1及びNo.2のドレッサーの反りを測定した。ステンレス円板の中心と周囲から5mm内側に入った位置における高さの差として評価した。その結果、No.1では28μm、No.2では31μmであった。
結果をまとめて表10に示す。
Claims (2)
- ステンレス鋼製支持材の表面に複数個の砥粒がろう材でろう付けされてなるドレッサーであって、前記ろう材の組成が、質量%で、
70%≦Ni+Fe≦90%、ただし、0≦Fe/(Ni+Fe)≦0.4、
1%≦Cr≦25%、
2%≦Si+B≦15%、ただし、0≦B/(Si+B)≦0.8、
0.1%≦P≦8%
であることを特徴とする研磨布用ドレッサー。 - 前記砥粒が、ダイヤモンド、立方晶窒化ホウ素、炭化ホウ素、炭化ケイ素、または酸化アルミニウムの少なくとも1種であることを特徴とする請求項1に記載の研磨布用ドレッサー。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005276376A JP4791121B2 (ja) | 2005-09-22 | 2005-09-22 | 研磨布用ドレッサー |
US11/992,327 US8096858B2 (en) | 2005-09-22 | 2006-08-17 | Polishing pad conditioner |
PCT/JP2006/316536 WO2007034646A1 (ja) | 2005-09-22 | 2006-08-17 | 研磨布用ドレッサー |
MYPI20080762A MY145113A (en) | 2005-09-22 | 2008-03-19 | Polishing pad conditioner |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005276376A JP4791121B2 (ja) | 2005-09-22 | 2005-09-22 | 研磨布用ドレッサー |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007083352A JP2007083352A (ja) | 2007-04-05 |
JP4791121B2 true JP4791121B2 (ja) | 2011-10-12 |
Family
ID=37888700
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005276376A Active JP4791121B2 (ja) | 2005-09-22 | 2005-09-22 | 研磨布用ドレッサー |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8096858B2 (ja) |
JP (1) | JP4791121B2 (ja) |
MY (1) | MY145113A (ja) |
WO (1) | WO2007034646A1 (ja) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2193007B1 (en) | 2007-08-23 | 2015-01-07 | Saint-Gobain Abrasifs | Abrasive tool for cmp pad conditioning. |
JP5181107B2 (ja) * | 2007-10-10 | 2013-04-10 | セイコーインスツル株式会社 | 発熱抵抗素子部品およびプリンタ |
JP5255860B2 (ja) * | 2008-02-20 | 2013-08-07 | 新日鉄住金マテリアルズ株式会社 | 研磨布用ドレッサー |
JP5502987B2 (ja) | 2009-03-24 | 2014-05-28 | サンーゴバン アブレイシブズ,インコーポレイティド | 化学機械平坦化パッドコンディショナとして使用するための研磨工具 |
US8905823B2 (en) | 2009-06-02 | 2014-12-09 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Corrosion-resistant CMP conditioning tools and methods for making and using same |
WO2011028700A2 (en) | 2009-09-01 | 2011-03-10 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Chemical mechanical polishing conditioner |
TW201246342A (en) * | 2010-12-13 | 2012-11-16 | Saint Gobain Abrasives Inc | Chemical mechanical planarization (CMP) pad conditioner and method of making |
US20120171935A1 (en) | 2010-12-20 | 2012-07-05 | Diamond Innovations, Inc. | CMP PAD Conditioning Tool |
WO2013027243A1 (ja) * | 2011-08-24 | 2013-02-28 | 新日鉄マテリアルズ株式会社 | ベベリング砥石 |
EP2884865B1 (en) | 2012-08-20 | 2017-12-27 | Forever Mount, LLC | A brazed joint for attachment of gemstones |
TWI568538B (zh) * | 2013-03-15 | 2017-02-01 | 中國砂輪企業股份有限公司 | 化學機械硏磨修整器及其製法 |
JP2017052019A (ja) * | 2015-09-07 | 2017-03-16 | 新日鉄住金マテリアルズ株式会社 | 研磨布用ドレッサー |
JP6900523B2 (ja) * | 2015-09-07 | 2021-07-07 | 日鉄ケミカル&マテリアル株式会社 | 研磨布用ドレッサー |
CN105458930B (zh) * | 2015-12-28 | 2017-08-25 | 华南理工大学 | 一种粗金刚石砂轮的微磨粒出刃尖端修平修齐方法 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4018576A (en) | 1971-11-04 | 1977-04-19 | Abrasive Technology, Inc. | Diamond abrasive tool |
DE2411785A1 (de) * | 1973-08-14 | 1975-02-27 | Abrasive Tech Inc | Verbessertes diamantschleifwerkzeug und verfahren zu dessen herstellung |
ZA864464B (en) * | 1985-07-05 | 1987-03-25 | Gen Electric | Brazed composite compact implements |
US4968326A (en) * | 1989-10-10 | 1990-11-06 | Wiand Ronald C | Method of brazing of diamond to substrate |
JPH09108913A (ja) * | 1995-10-11 | 1997-04-28 | Mitsubishi Materials Corp | 切刃片がすぐれた接合強度を有する複合切削チップ |
JP3482321B2 (ja) | 1996-10-15 | 2003-12-22 | 新日本製鐵株式会社 | 半導体基板用研磨布のドレッサーおよびその製造方法 |
DE69935084T2 (de) | 1998-07-31 | 2007-11-15 | Saint-Gobain Abrasives, Inc., Worcester | Drehende Abrichtrolle enthaltende abschleifende Einsätze |
US6517424B2 (en) * | 2000-03-10 | 2003-02-11 | Abrasive Technology, Inc. | Protective coatings for CMP conditioning disk |
JP2001287150A (ja) * | 2000-04-11 | 2001-10-16 | Asahi Diamond Industrial Co Ltd | Cmp用コンディショナ |
US20060213128A1 (en) * | 2002-09-24 | 2006-09-28 | Chien-Min Sung | Methods of maximizing retention of superabrasive particles in a metal matrix |
US6951509B1 (en) * | 2004-03-09 | 2005-10-04 | 3M Innovative Properties Company | Undulated pad conditioner and method of using same |
US7258708B2 (en) * | 2004-12-30 | 2007-08-21 | Chien-Min Sung | Chemical mechanical polishing pad dresser |
-
2005
- 2005-09-22 JP JP2005276376A patent/JP4791121B2/ja active Active
-
2006
- 2006-08-17 US US11/992,327 patent/US8096858B2/en active Active
- 2006-08-17 WO PCT/JP2006/316536 patent/WO2007034646A1/ja active Application Filing
-
2008
- 2008-03-19 MY MYPI20080762A patent/MY145113A/en unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2007034646A1 (ja) | 2007-03-29 |
MY145113A (en) | 2011-12-30 |
US20090275274A1 (en) | 2009-11-05 |
JP2007083352A (ja) | 2007-04-05 |
US8096858B2 (en) | 2012-01-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4791121B2 (ja) | 研磨布用ドレッサー | |
KR100360669B1 (ko) | 연마드레싱용 공구 및 그의 제조방법 | |
JP2003525130A (ja) | 超砥粒ワイヤソーおよびそのソーの製造方法 | |
JP5255860B2 (ja) | 研磨布用ドレッサー | |
EP3200946B1 (en) | Method of manufacturing a saw element and saw element | |
CN105619272B (zh) | 一种激光钎焊单层金刚石砂轮的制作方法 | |
JP2006305659A (ja) | 研磨布用ドレッサー | |
WO2017163487A9 (ja) | 超砥粒ホイール | |
JP3323145B2 (ja) | 研削工具 | |
JP5485117B2 (ja) | 接合体 | |
WO2022014175A1 (ja) | 研磨布用ドレッサー | |
US20050108948A1 (en) | Molten braze-coated superabrasive particles and associated methods | |
JP5809880B2 (ja) | 研磨布用ドレッサー | |
TWI727460B (zh) | W-Ti濺鍍靶 | |
JP5038553B2 (ja) | スパッタリングターゲットの製造方法 | |
JP2017052019A (ja) | 研磨布用ドレッサー | |
JP6900523B2 (ja) | 研磨布用ドレッサー | |
JP2017113858A (ja) | カーバイド層を有するダイヤモンド砥石およびダイヤモンド砥石の製造方法 | |
JP3751160B2 (ja) | 硬質素材の砥粒緻密化構造 | |
JP6666749B2 (ja) | 研磨布用ドレッサー | |
JP4624011B2 (ja) | ラップホイール用砥粒層構造 | |
JP2003300161A (ja) | 超砥粒を用いたろう付け研磨工具とその製造方法 | |
JP3411233B2 (ja) | 研削工具の製造方法 | |
KR200201101Y1 (ko) | 연마드레싱용 공구 | |
JP2018058194A (ja) | ダイヤモンド砥石およびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080311 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20080311 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110419 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110530 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110628 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110721 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140729 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4791121 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140729 Year of fee payment: 3 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140729 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |