JP2008522514A - 高い帯域幅を伴う、音響表面波で作動する構成素子 - Google Patents
高い帯域幅を伴う、音響表面波で作動する構成素子 Download PDFInfo
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Abstract
Description
図2は、多層構造体の最上層として第1の層を有する電極構造体の層構造の例を示しており、
図3は、2つの第1の層の間に配置された第2の層を有する電極構造体の層構造の例を示しており、
図4は、相互に接している2つの第2の層を有した、図3に示された構成の別の形態を示しており、
図5は、ピエゾ圧電基板の方を向いている付着仲介層を有する電極構造体の層構造を示しており、
図6は、第1の層と第2の層が交互に配置されている電極構造体の層構造を示している。
Claims (16)
- 音響表面波で作動する構成素子であって、当該構成素子は、
ピエゾ圧電基板(1)と、当該ピエゾ圧電基板上に配置された、多層構造を有する電極構造体と、前記電極構造体を覆い、音響インピーダンスZa,dを有する誘電層(4)とを含み、
前記多層構造は第1の層システムを含み、当該第1の層システムは、第1の材料から成る少なくとも1つの第1の層(31,32、3)から成り、当該第1の層内では音響インピーダンスは2Za,dより小さく、
前記多層構造は第2の層システムを含み、当該第2の層システムは、第2の材料から成る少なくとも1つの第2の層(21,22、2)から成り、当該第2の層内では音響インピーダンスは値2Za,dを上回り、
前記多層構造の全体高さに対する、前記第2の層システムの全体厚さの相対的な割合は15%〜85%の間である、
ことを特徴とする、音響表面波で作動する構成素子。 - 前記多層構造の全体高さに対する、前記第2の層システムの全体厚さは20%〜60%の間である、請求項1記載の構成素子。
- 前記多層構造の全体高さに関する、前記第2の層システムの全体厚さは25%〜50%の間である、請求項1記載の構成素子。
- 前記誘電層(4)は、前記電極構造体によって覆われた面の外で、基板表面によって閉鎖されている、請求項1から3までのいずれか1項記載の構成素子。
- 前記第1の材料は、Al、Mg、Tiまたはアルミニウム合金である、請求項1から4までのいずれか1項記載の構成素子。
- 前記第2の材料はCu、Ta、Ag、Pt、Auまたは銅合金である、請求項1から5までのいずれか1項記載の構成素子。
- 前記第2の層システムは、唯一の第2の層(21)から成る、請求項1から6までのいずれか1項記載の構成素子。
- 前記第2の層(21)は電極構造体の最下層である、請求項7記載の構成素子。
- 前記第2の層(23)は電極構造体の最上層である、請求項7記載の構成素子。
- 前記第2の層システムは複数の第2の層(21、22、23)を有しており、
前記第2の層(21、22)は第1の層(31)によって相互に別個にされている、請求項1から6までのいずれか1項記載の構成素子。 - 前記第1の層システム(31、32)は、唯一の第1の層(31)から成る、請求項1から10までのいずれか1項記載の構成素子。
- 前記第1の層システムは複数の第1の層(31、32)を有しており、
2つの第1の層(31、32)の間には第2の層(23)が配置されている、請求項1から10までのいずれか1項記載の構成素子。 - 前記多層構造の、ピエゾ圧電基板(1)の方を向いている層は、付着仲介層(5)である、請求項1から12までのいずれか1項記載の構成素子。
- 前記付着仲介層はTi層である、請求項13記載の構成素子。
- 前記電極構造体の全体高さは、音響表面波の波長の5%〜10%の間である、請求項1〜14までのいずれか1項記載の構成素子。
- 前記誘電層(4)は、二酸化ケイ素または窒化ケイ素から成る層である、請求項1から15までのいずれか1項記載の構成素子。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102004058016.2 | 2004-12-01 | ||
DE102004058016.2A DE102004058016B4 (de) | 2004-12-01 | 2004-12-01 | Mit akustischen Oberflächenwellen arbeitendes Bauelement mit hoher Bandbreite |
PCT/EP2005/011310 WO2006058579A1 (de) | 2004-12-01 | 2005-10-20 | Mit akustischen oberflächenwellen arbeitendes bauelement mit hoher bandbreite |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008522514A true JP2008522514A (ja) | 2008-06-26 |
JP4940148B2 JP4940148B2 (ja) | 2012-05-30 |
Family
ID=35511007
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007543713A Expired - Fee Related JP4940148B2 (ja) | 2004-12-01 | 2005-10-20 | 高い帯域幅を伴う、音響表面波で作動する構成素子 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7589453B2 (ja) |
JP (1) | JP4940148B2 (ja) |
KR (1) | KR101220241B1 (ja) |
DE (1) | DE102004058016B4 (ja) |
WO (1) | WO2006058579A1 (ja) |
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US20080012450A1 (en) | 2008-01-17 |
DE102004058016A1 (de) | 2006-06-08 |
KR20070073992A (ko) | 2007-07-10 |
WO2006058579A1 (de) | 2006-06-08 |
US7589453B2 (en) | 2009-09-15 |
JP4940148B2 (ja) | 2012-05-30 |
DE102004058016B4 (de) | 2014-10-09 |
KR101220241B1 (ko) | 2013-01-09 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080716 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20101227 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20101228 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110210 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A601 | Written request for extension of time |
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A521 | Written amendment |
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A02 | Decision of refusal |
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A521 | Written amendment |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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R250 | Receipt of annual fees |
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S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
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RD01 | Notification of change of attorney |
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