JP4940148B2 - 高い帯域幅を伴う、音響表面波で作動する構成素子 - Google Patents
高い帯域幅を伴う、音響表面波で作動する構成素子 Download PDFInfo
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Description
図2は、多層構造体の最上層として第1の層を有する電極構造体の層構造の例を示しており、
図3は、2つの第1の層の間に配置された第2の層を有する電極構造体の層構造の例を示しており、
図4は、相互に接している2つの第2の層を有した、図3に示された構成の別の形態を示しており、
図5は、ピエゾ圧電基板の方を向いている付着仲介層を有する電極構造体の層構造を示しており、
図6は、第1の層と第2の層が交互に配置されている電極構造体の層構造を示している。
Claims (5)
- 音響表面波で作動する構成素子であって、当該構成素子は、
ピエゾ圧電基板(1)と、当該ピエゾ圧電基板上に配置された、多層構造を有する電極構造体と、前記電極構造体を覆い、音響インピーダンスZa,dを有する誘電層(4)とを含み、
前記多層構造は第1の層システムを含み、当該第1の層システムは、第1の材料から成る複数の第1の層(31,32)から成り、当該第1の層内では音響インピーダンスは2Za,dより小さく、
前記多層構造は第2の層システムを含み、当該第2の層システムは、第2の材料から成る複数の第2の層(21,22,23)から成り、当該第2の層内では音響インピーダンスは値2Za,dを上回り、
前記多層構造の全体高さに対する、前記第2の層システムの全体厚さの相対的な割合は15%〜85%の間であり、前記誘電層(4)の厚さは、音響波の波長の20%〜40%であり、
前記複数の第2の層(21,22,23)と前記複数の第1の層(31,32)は交互に相互に重なって配置されており、
前記多層構造の、ピエゾ圧電基板(1)の方を向いている層は、付着仲介層(5)であり、当該付着仲介層はTi層であり、
前記誘電層(4)は二酸化ケイ素から成り、前記ピエゾ圧電基板(1)とともに前記電極構造体を包囲し、カプセル封入し、
前記複数の第2の層のうちの1つの第2の層(21)は電極構造体の最下層であり、前記複数の第2の層のうちの1つの第2の層(23)は電極構造体の最上層である、
ことを特徴とする、音響表面波で作動する構成素子。 - 前記誘電層(4)は、前記電極構造体によって覆われた面の外で、基板表面によって閉鎖されている、請求項1記載の構成素子。
- 前記第1の材料は、Al、Mg、Tiまたはアルミニウム合金である、請求項1または2記載の構成素子。
- 前記第2の材料はCu、Ta、Ag、Pt、Auまたは銅合金である、請求項1から3までのいずれか1項記載の構成素子。
- 前記複数の第1の層のうちの2つの第1の層(31、32)の間には、前記複数の第2の層のうちの1つの第2の層(22)が配置されている、請求項1から4までのいずれか1項記載の構成素子。
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