JP2008305994A - 固体撮像装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】固体撮像装置は、半導体基板に形成された光電変換素子2を含む画素を備えている。光電変換素子2は、第1導電型の第1の半導体層6と、第1の半導体層6上に接合された第2導電型の第2の半導体層4と、第2の半導体層4上に設けられ、第2の半導体層4よりもバンドギャップエネルギーが小さく、単結晶の半導体からなり、不純物を含む第3の半導体層15と、第3の半導体層15の側面および上面を覆う第1導電型の第4の半導体層11とを有している。第4の半導体層11が設けられていることで、暗時に流れる電流を低減できる。
【選択図】図2
Description
−回路構成−
図1は、本発明の第1の実施形態に係るMOS型固体撮像装置の回路構成の一例を示す図である。同図に示すように、本実施形態の固体撮像装置は、複数個の画素66がマトリクス状に配置された撮像領域67と、画素を選択するための垂直シフトレジスタ68と、出力信号線75を介して画素66から出力された信号を伝達する水平シフトレジスタ69とを備えている。
図2は、本発明の第1の実施形態に係る固体撮像装置の画素の一部を示す断面図である。ここでは、光電変換素子2、転送トランジスタのゲート電極16およびFD部9を通る断面を示している。
シリコンゲルマニウムを例えばCVD法によりエピタキシャル成長させ、厚さ50〜1000nmの半導体エピタキシャル層10を形成する。なお、半導体エピタキシャル層10が厚膜化して、シリコン酸化膜24上に形成した場合は、半導体エピタキシャル層10となる部分をリソグラフィ法を用いてレジストで覆い、シリコンゲルマニウム膜のそれ以外の部分をドライエッチング法で、シリコン酸化膜24をストッパー層として除去する。本工程のCVD法においては、基板温度を400℃以上700℃以下程度に加熱して、Si2H6ガス、GeH4を所望の組成になるように混合して半導体エピタキシャル層10を成長させる。例えば、ゲルマニウム組成比率が25%であれば、Si2H6/GeH4=0.29程度になるように原料ガスを装置内に供給すればよい。なお、半導体エピタキシャル層10の表層部にP型シリコンで構成された埋め込み層18を形成する場合には、GeH4ガスをCVD装置の反応室内に供給しなければよい。また、半導体エピタキシャル層10の導電型をP型にする際は、B2H6ガスを成長時に混入する。また、半導体エピタキシャル層10内にN型の電荷蓄積層15を形成する際は、PH3ガスを成長時に混入すればよい。また、半導体エピタキシャル層10の上面および側面の表層部をP+型にするためには、B2H6ガス流量を増加させ、B(ボロン)の原料ガスが高濃度に存在する条件で半導体エピタキシャル層10の表層部を成長させる。以上のようにして、N型半導体層4上に半導体エピタキシャル層10が形成される。よって、上述の条件で行うCVD法により、図2、図3、図4に示す構造が形成される。
本発明の第2の実施形態に係る固体撮像装置について、図面を参照しながら説明する。
2 光電変換素子
3 素子分離領域
4 N型半導体層
6 P−半導体層
7 P+型側壁層
9 FD部
10 半導体エピタキシャル層
11 P+型不純物層
15 電荷蓄積層
16 ゲート電極
17 P−型光電変換領域
21a、21b P型ストッパー層
22 P型表面層
23 ゲート配線
24、25 シリコン酸化膜
26 第1の層間絶縁膜
27a、27b コンタクト
28a、28b 配線
29 第2の層間絶縁膜
30 保護膜
43 シリコン酸化膜
61 パッド絶縁膜
62 転送トランジスタ
63 耐酸化性膜
64 増幅トランジスタ
65 選択トランジスタ
66 画素
67 撮像領域
68 垂直シフトレジスタ
69 水平シフトレジスタ
71、72、74 出力パルス線
73 電源電圧供給部
75 出力信号線
80 リセットトランジスタ
Claims (18)
- 半導体基板に形成された光電変換素子を含む画素を備えた固体撮像装置であって、
前記光電変換素子は、
前記半導体基板上に設けられた第1導電型の第1の半導体層と、
前記第1の半導体層上に接合された第2導電型の第2の半導体層と、
前記第2の半導体層上に設けられ、前記第2の半導体層よりもバンドギャップエネルギーが小さく、単結晶の半導体からなり、不純物を含む第3の半導体層と、
前記第3の半導体層の側面および上面を覆う第1導電型の第4の半導体層とを有している固体撮像装置。 - 前記第1の半導体層および前記第2の半導体層はSiで構成されており、
前記第3の半導体層はSixGe(1−x)(0≦x<1)で構成されていることを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置。 - 前記第4の半導体層は、前記第3の半導体層と同一組成の半導体で構成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の固体撮像装置。
- 前記第3の半導体層は第2導電型の半導体で構成されていることを特徴とする請求項1〜3のうちいずれか1つに記載の固体撮像装置。
- 前記第3の半導体層は第1導電型の半導体で構成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の固体撮像装置。
- 前記第4の半導体層はSiで構成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の固体撮像装置。
- 前記第3の半導体層におけるGeの組成比率は、前記第2の半導体層との界面から上方に向かうにつれて高くなっていることを特徴とする請求項2に記載の固体撮像装置。
- 前記第3の半導体層におけるGeの組成比率は、前記第2の半導体層との界面から上方に向かうにつれて低くなっていることを特徴とする請求項2に記載の固体撮像装置。
- 前記第2の半導体層に隣接して設けられた第1導電型の第5の半導体層と、
前記第5の半導体層上に設けられたゲート電極を有し、前記光電変換素子で生じた電荷を転送する転送トランジスタと、
前記転送トランジスタ上に設けられた層間絶縁膜と、
前記層間絶縁膜の上または上部に設けられ、前記ゲート電極に電気的に接続された配線と、
前記層間絶縁膜を貫通し、前記ゲート電極と前記配線とを接続するコンタクトとをさらに備え、
前記第4の半導体層の上面位置は少なくとも前記配線の上面位置より低いことを特徴とする請求項1〜8のうちいずれか1つに記載の固体撮像装置。 - 前記配線は前記層間絶縁膜の上に設けられ、
前記第4の半導体層の上面位置は、前記ゲート電極の上面位置以下であることを特徴とする請求項1〜9のうちいずれか1つに記載の固体撮像装置。 - 前記配線は前記層間絶縁膜の上に設けられ、
前記第4の半導体層の上面位置は、前記ゲート電極の上面位置より高く、且つ前記コンタクトの上面位置以下であることを特徴とする請求項1〜9のうちいずれか1つに記載の固体撮像装置。 - 前記配線は前記層間絶縁膜の上部に埋め込まれており、
前記第4の半導体層の上面位置は、前記ゲート電極の上面位置より高く、且つ前記配線の上面位置以下であることを特徴とする請求項1〜9のうちいずれか1つに記載の固体撮像装置。 - 前記第5の半導体層を挟んで前記光電変換素子に対向し、前記転送トランジスタを介して前記光電変換素子で生じた電荷が転送されるフローティングディフュージョンをさらに備えており、
前記第2の半導体層は第1導電型の半導体層により囲まれていることを特徴とする請求項9〜12のうちいずれか1つに記載の固体撮像装置。 - 前記第1の半導体層はP型半導体で構成されており、前記第2の半導体層はN型半導体で構成されていることを特徴とする請求項1〜13のうちいずれか1つに記載の固体撮像装置。
- 半導体基板に形成され、第1の半導体層、第2の半導体層、第3の半導体層および第4の半導体層とを有する光電変換素子と、前記半導体基板上に設けられ、前記光電変換素子で生じた電荷を転送する転送トランジスタとを含む画素を備えた固体撮像装置の製造方法であって、
前記半導体基板内に第1導電型の不純物イオンまたは第2導電型の不純物イオンを注入することにより、第1導電型の第1の半導体層と、前記第1の半導体層上に設けられ、第2導電型の第2の半導体層と、前記第2の半導体層に隣接して設けられた第1導電型の第5の半導体層とを形成する工程(a)と、
前記第5の半導体層上にゲート絶縁膜を挟んでゲート電極を形成する工程(b)と、
前記ゲート電極の上面および側面を覆い、前記第2の半導体層上に開口部が形成された第1の絶縁膜を形成する工程(b)と、
前記第2の半導体層の上に、前記第2の半導体層よりもバンドギャップエネルギーが小さい前記第3の半導体層をエピタキシャル成長させた後、前記第3の半導体層の側面および上面を覆う第1導電型の前記第4の半導体層をエピタキシャル成長させて、前記光電変換素子を形成する工程(c)とを備えている固体撮像装置の製造方法。 - 前記工程(c)で形成される前記第4の半導体層の上面位置は、前記ゲート電極の上面位置以下となっていることを特徴とする請求項15に記載の固体撮像装置の製造方法。
- 前記工程(b)の後、前記工程(c)の前に、基板上に層間絶縁膜を形成してから前記層間絶縁膜を貫通し、前記ゲート電極に接続されるコンタクトを形成する工程(d)と、
前記工程(d)の後、前記工程(c)の前に、前記層間絶縁膜上および前記コンタクトの上面上に第2の絶縁膜を形成する工程(e)と、
前記工程(e)の後、前記工程(e)の前に、前記層間絶縁膜および前記第2の絶縁膜のうち前記第2の半導体層の上または上方に設けられた部分を除去する工程(f)と、
前記工程(c)の後に、前記コンタクトに接続された配線を前記層間絶縁膜上に形成する工程(g)とをさらに備えていることを特徴とする請求項15に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記工程(c)で形成される前記第4の半導体層の上面位置は、前記ゲート電極の上面位置より高く、且つ前記コンタクトの上面位置以下であることを特徴とする請求項17に記載の固体撮像装置の製造方法。
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Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011199057A (ja) * | 2010-03-19 | 2011-10-06 | Sony Corp | 固体撮像装置、および、その製造方法、電子機器 |
JP2012146920A (ja) * | 2011-01-14 | 2012-08-02 | Toshiba Information Systems (Japan) Corp | 固体撮像素子 |
JP2012156310A (ja) * | 2011-01-26 | 2012-08-16 | Sony Corp | 固体撮像素子、固体撮像素子の製造方法、および電子機器 |
JP2012231026A (ja) * | 2011-04-26 | 2012-11-22 | Toshiba Corp | 固体撮像装置 |
JP2013084757A (ja) * | 2011-10-10 | 2013-05-09 | Denso Corp | 撮像素子 |
JP2013527597A (ja) * | 2010-03-19 | 2013-06-27 | インヴィサージ テクノロジーズ インコーポレイテッド | 感光性半導体ダイオードを採用した画像センサ |
US9954121B2 (en) | 2014-11-24 | 2018-04-24 | Artilux Inc. | Monolithic integration techniques for fabricating photodetectors with transistors on same substrate |
CN110168700A (zh) * | 2017-01-11 | 2019-08-23 | 索泰克公司 | 用于正面型图像传感器的衬底和制造这种衬底的方法 |
KR20190104202A (ko) * | 2017-01-11 | 2019-09-06 | 소이텍 | 프론트 사이드 타입 이미저를 위한 기판 및 이러한 기판의 제조 방법 |
Families Citing this family (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1900681B1 (en) * | 2006-09-15 | 2017-03-15 | Imec | Tunnel Field-Effect Transistors based on silicon nanowires |
JP5276908B2 (ja) * | 2007-08-10 | 2013-08-28 | パナソニック株式会社 | 固体撮像素子及びその製造方法 |
JP4480753B2 (ja) * | 2007-11-21 | 2010-06-16 | 日本テキサス・インスツルメンツ株式会社 | 固体撮像装置 |
JP4759590B2 (ja) * | 2008-05-09 | 2011-08-31 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置及びそれを用いた撮像システム |
US7863145B2 (en) * | 2008-09-19 | 2011-01-04 | Semiconductor Manufacturing International (Shanghai) Corporation | Method and resulting structure using silver for LCOS devices |
WO2015191734A1 (en) | 2014-06-10 | 2015-12-17 | Edward Hartley Sargent | Multi-terminal optoelectronic devices for light detection |
US9799689B2 (en) | 2014-11-13 | 2017-10-24 | Artilux Inc. | Light absorption apparatus |
CN107210308B (zh) | 2014-11-13 | 2018-06-29 | 光澄科技股份有限公司 | 光吸收设备 |
US9786715B2 (en) | 2015-07-23 | 2017-10-10 | Artilux Corporation | High efficiency wide spectrum sensor |
US10861888B2 (en) | 2015-08-04 | 2020-12-08 | Artilux, Inc. | Silicon germanium imager with photodiode in trench |
US10707260B2 (en) | 2015-08-04 | 2020-07-07 | Artilux, Inc. | Circuit for operating a multi-gate VIS/IR photodiode |
US10761599B2 (en) | 2015-08-04 | 2020-09-01 | Artilux, Inc. | Eye gesture tracking |
US9954016B2 (en) | 2015-08-04 | 2018-04-24 | Artilux Corporation | Germanium-silicon light sensing apparatus |
US9893112B2 (en) | 2015-08-27 | 2018-02-13 | Artilux Corporation | Wide spectrum optical sensor |
US10254389B2 (en) | 2015-11-06 | 2019-04-09 | Artilux Corporation | High-speed light sensing apparatus |
US10418407B2 (en) | 2015-11-06 | 2019-09-17 | Artilux, Inc. | High-speed light sensing apparatus III |
US10886309B2 (en) | 2015-11-06 | 2021-01-05 | Artilux, Inc. | High-speed light sensing apparatus II |
US10739443B2 (en) | 2015-11-06 | 2020-08-11 | Artilux, Inc. | High-speed light sensing apparatus II |
US10741598B2 (en) | 2015-11-06 | 2020-08-11 | Atrilux, Inc. | High-speed light sensing apparatus II |
CN109863603B (zh) | 2016-10-20 | 2023-02-17 | 因维萨热技术公司 | 具有电子收集电极和空穴收集电极的图像传感器 |
WO2019165220A1 (en) | 2018-02-23 | 2019-08-29 | Artilux, Inc. | Photo-detecting apparatus and photo-detecting method thereof |
US11105928B2 (en) | 2018-02-23 | 2021-08-31 | Artilux, Inc. | Light-sensing apparatus and light-sensing method thereof |
CN114335030A (zh) | 2018-04-08 | 2022-04-12 | 奥特逻科公司 | 光探测装置 |
TWI795562B (zh) | 2018-05-07 | 2023-03-11 | 美商光程研創股份有限公司 | 雪崩式之光電晶體 |
US10969877B2 (en) | 2018-05-08 | 2021-04-06 | Artilux, Inc. | Display apparatus |
US11574942B2 (en) | 2018-12-12 | 2023-02-07 | Artilux, Inc. | Semiconductor device with low dark noise |
WO2021041742A1 (en) | 2019-08-28 | 2021-03-04 | Artilux, Inc. | Photo-detecting apparatus with low dark current |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5812481A (ja) * | 1981-07-15 | 1983-01-24 | Toshiba Corp | 固体撮像素子 |
JPH0228373A (ja) * | 1988-07-18 | 1990-01-30 | Sony Corp | 積層型固体撮像素子の製造方法 |
JPH09172155A (ja) * | 1995-12-18 | 1997-06-30 | Nec Corp | 固体撮像装置およびその製造方法 |
JPH09213923A (ja) * | 1996-01-30 | 1997-08-15 | Nec Corp | 固体撮像装置 |
JPH10290023A (ja) * | 1997-04-15 | 1998-10-27 | Nec Corp | 半導体光検出器 |
JP2001345436A (ja) * | 2000-05-30 | 2001-12-14 | Sharp Corp | 回路内蔵受光素子 |
JP2002246581A (ja) * | 2001-02-16 | 2002-08-30 | Sharp Corp | イメージセンサおよびその製造方法 |
JP2002329858A (ja) * | 2001-05-02 | 2002-11-15 | Sony Corp | 固体撮像素子 |
JP2006339643A (ja) * | 2005-05-31 | 2006-12-14 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | ドープされた分離構造体側壁を有するピクセル・センサ |
JP2007027730A (ja) * | 2005-07-11 | 2007-02-01 | Magnachip Semiconductor Ltd | イメージセンサ及びその製造方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2494044A1 (fr) * | 1980-11-12 | 1982-05-14 | Thomson Csf | Phototransistor a heterojonction en technologie planar et procede de fabrication d'un tel phototransistor |
US5159424A (en) * | 1988-12-10 | 1992-10-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Semiconductor device having a high current gain and a higher ge amount at the base region than at the emitter and collector region, and photoelectric conversion apparatus using the device |
JP2860138B2 (ja) * | 1989-03-29 | 1999-02-24 | キヤノン株式会社 | 半導体装置およびこれを用いた光電変換装置 |
US20030020104A1 (en) * | 2001-07-25 | 2003-01-30 | Motorola, Inc. | Increased efficiency semiconductor devices including intermetallic layer |
JP3840203B2 (ja) * | 2002-06-27 | 2006-11-01 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置及び固体撮像装置を用いたカメラシステム |
US7214974B2 (en) * | 2004-06-04 | 2007-05-08 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Image sensors for reducing dark current and methods of manufacturing the same |
-
2007
- 2007-06-07 JP JP2007151954A patent/JP5400280B2/ja active Active
-
2008
- 2008-02-21 US US12/035,340 patent/US8354693B2/en active Active
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5812481A (ja) * | 1981-07-15 | 1983-01-24 | Toshiba Corp | 固体撮像素子 |
JPH0228373A (ja) * | 1988-07-18 | 1990-01-30 | Sony Corp | 積層型固体撮像素子の製造方法 |
JPH09172155A (ja) * | 1995-12-18 | 1997-06-30 | Nec Corp | 固体撮像装置およびその製造方法 |
JPH09213923A (ja) * | 1996-01-30 | 1997-08-15 | Nec Corp | 固体撮像装置 |
JPH10290023A (ja) * | 1997-04-15 | 1998-10-27 | Nec Corp | 半導体光検出器 |
JP2001345436A (ja) * | 2000-05-30 | 2001-12-14 | Sharp Corp | 回路内蔵受光素子 |
JP2002246581A (ja) * | 2001-02-16 | 2002-08-30 | Sharp Corp | イメージセンサおよびその製造方法 |
JP2002329858A (ja) * | 2001-05-02 | 2002-11-15 | Sony Corp | 固体撮像素子 |
JP2006339643A (ja) * | 2005-05-31 | 2006-12-14 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | ドープされた分離構造体側壁を有するピクセル・センサ |
JP2007027730A (ja) * | 2005-07-11 | 2007-02-01 | Magnachip Semiconductor Ltd | イメージセンサ及びその製造方法 |
Cited By (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9972653B2 (en) | 2010-03-19 | 2018-05-15 | Invisage Technologies, Inc. | Image sensors employing sensitized semiconductor diodes |
KR102009126B1 (ko) | 2010-03-19 | 2019-08-08 | 인비사지 테크놀로지스, 인크. | 감지성 반도체 다이오드를 채용한 이미지 센서 |
KR20180113643A (ko) * | 2010-03-19 | 2018-10-16 | 인비사지 테크놀로지스, 인크. | 감지성 반도체 다이오드를 채용한 이미지 센서 |
JP2013527597A (ja) * | 2010-03-19 | 2013-06-27 | インヴィサージ テクノロジーズ インコーポレイテッド | 感光性半導体ダイオードを採用した画像センサ |
JP2011199057A (ja) * | 2010-03-19 | 2011-10-06 | Sony Corp | 固体撮像装置、および、その製造方法、電子機器 |
KR101605424B1 (ko) | 2010-03-19 | 2016-03-22 | 인비사지 테크놀로지스, 인크. | 감지성 반도체 다이오드를 채용한 이미지 센서 |
US9293487B2 (en) | 2010-03-19 | 2016-03-22 | Invisage Technologies, Inc. | Image sensors employing sensitized semiconductor diodes |
US9666634B2 (en) | 2010-03-19 | 2017-05-30 | Invisage Technologies, Inc. | Image sensors employing sensitized semiconductor diodes |
JP2012146920A (ja) * | 2011-01-14 | 2012-08-02 | Toshiba Information Systems (Japan) Corp | 固体撮像素子 |
JP2012156310A (ja) * | 2011-01-26 | 2012-08-16 | Sony Corp | 固体撮像素子、固体撮像素子の製造方法、および電子機器 |
US8735939B2 (en) | 2011-04-26 | 2014-05-27 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Solid state imaging device |
JP2012231026A (ja) * | 2011-04-26 | 2012-11-22 | Toshiba Corp | 固体撮像装置 |
JP2013084757A (ja) * | 2011-10-10 | 2013-05-09 | Denso Corp | 撮像素子 |
JP2018074175A (ja) * | 2014-11-24 | 2018-05-10 | アーティラックス インコーポレイテッドArtilux Inc. | 同じ基板上でトランジスタと共に光検出器を製作するためのモノリシック集積技法 |
US9954121B2 (en) | 2014-11-24 | 2018-04-24 | Artilux Inc. | Monolithic integration techniques for fabricating photodetectors with transistors on same substrate |
US10734533B2 (en) | 2014-11-24 | 2020-08-04 | Artilux, Inc. | Monolithic integration techniques for fabricating photodetectors with transistors on same substrate |
KR20190104202A (ko) * | 2017-01-11 | 2019-09-06 | 소이텍 | 프론트 사이드 타입 이미저를 위한 기판 및 이러한 기판의 제조 방법 |
KR20190100405A (ko) * | 2017-01-11 | 2019-08-28 | 소이텍 | 프론트 사이드 타입 이미저를 위한 기판 및 이러한 기판의 제조 방법 |
JP2020504462A (ja) * | 2017-01-11 | 2020-02-06 | ソワテク | 前面型撮像素子用基板および前記基板の製造方法 |
CN110168700A (zh) * | 2017-01-11 | 2019-08-23 | 索泰克公司 | 用于正面型图像传感器的衬底和制造这种衬底的方法 |
JP7170664B2 (ja) | 2017-01-11 | 2022-11-14 | ソワテク | 前面型撮像素子用基板および前記基板の製造方法 |
EP3568868B1 (fr) * | 2017-01-11 | 2023-06-21 | Soitec | Substrat pour capteur d'image de type face avant et procédé de fabrication d'un tel substrat |
KR102551381B1 (ko) * | 2017-01-11 | 2023-07-04 | 소이텍 | 프론트 사이드 타입 이미저를 위한 기판 및 이러한 기판의 제조 방법 |
KR102572859B1 (ko) * | 2017-01-11 | 2023-08-30 | 소이텍 | 프론트 사이드 타입 이미저를 위한 기판 및 이러한 기판의 제조 방법 |
US11855120B2 (en) | 2017-01-11 | 2023-12-26 | Soitec | Substrate for a front-side-type image sensor and method for producing such a substrate |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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