JP2012146920A - 固体撮像素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光電変換により発生した電荷を蓄積するN型不純物層11、12、13、14が設置され、N型不純物層11、12、13、14のそれぞれの表面側には、P型シリコン半導体基板10の表面をシールドし、フォトダイオードの暗電流を抑制するためのP型不純物層15、16、17、18が設置され、P型シリコン半導体基板10の受光面より上部側(撮像対象側)には、画素の配列を実現するように、入射光から赤色光、緑色光、青色光、赤外光を分離する(透過させる)カラーフィルター26、27、28、29が配置されて、赤画素31、緑画素32、青画素33及び赤外画素34を具備する。
【選択図】図1
Description
11〜14 N型不純物層
15〜18 P型不純物層
21〜25 P型不純物層
26〜29 カラーフィルター
31、31’赤画素
32 緑画素
33 青画素
34、34’赤外画素
41 シリコンゲルマニウム
42 シリコンゲルマニウム
51 マスク材酸化膜
52 マスク材酸化膜
Claims (5)
- 赤画素、緑画素、青画素及び赤外画素を具備したことを特徴とする固体撮像素子。
- 赤外画素のフォトダイオードをシリコンよりもバンドギャップが小さい半導体に形成することを特徴とする請求項1に記載の固体撮像素子。
- 赤画素のフォトダイオードを、シリコンよりもバンドギャップが小さい半導体であって、赤外画素が形成された半導体よりもバンドギャップが大きい半導体に形成することを特徴とする請求項2に記載の固体撮像素子。
- シリコンよりもバンドギャップが小さい半導体として、シリコンゲルマニウムを用いたことを特徴とする請求項2または請求項3に記載の固体撮像素子。
- 赤画素、緑画素及び青画素の画素数よりも、赤外画素の画素数が少なく構成されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の固体撮像素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011005968A JP5745866B2 (ja) | 2011-01-14 | 2011-01-14 | 固体撮像素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011005968A JP5745866B2 (ja) | 2011-01-14 | 2011-01-14 | 固体撮像素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012146920A true JP2012146920A (ja) | 2012-08-02 |
JP5745866B2 JP5745866B2 (ja) | 2015-07-08 |
Family
ID=46790167
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011005968A Expired - Fee Related JP5745866B2 (ja) | 2011-01-14 | 2011-01-14 | 固体撮像素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5745866B2 (ja) |
Cited By (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014078680A (ja) * | 2012-09-18 | 2014-05-01 | Denso Corp | イメージセンサ |
WO2017024121A1 (en) * | 2015-08-04 | 2017-02-09 | Artilux Corporation | Germanium-silicon light sensing apparatus |
US9786715B2 (en) | 2015-07-23 | 2017-10-10 | Artilux Corporation | High efficiency wide spectrum sensor |
US9893112B2 (en) | 2015-08-27 | 2018-02-13 | Artilux Corporation | Wide spectrum optical sensor |
US10148896B2 (en) | 2014-12-26 | 2018-12-04 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Heart rate detection device and facial recognition system with the heart rate detection device |
US10310060B2 (en) | 2015-11-06 | 2019-06-04 | Artilux Corporation | High-speed light sensing apparatus |
US10418407B2 (en) | 2015-11-06 | 2019-09-17 | Artilux, Inc. | High-speed light sensing apparatus III |
US10564718B2 (en) | 2015-08-04 | 2020-02-18 | Artilux, Inc. | Eye gesture tracking |
US10707260B2 (en) | 2015-08-04 | 2020-07-07 | Artilux, Inc. | Circuit for operating a multi-gate VIS/IR photodiode |
US10739443B2 (en) | 2015-11-06 | 2020-08-11 | Artilux, Inc. | High-speed light sensing apparatus II |
US10741598B2 (en) | 2015-11-06 | 2020-08-11 | Atrilux, Inc. | High-speed light sensing apparatus II |
US10777692B2 (en) | 2018-02-23 | 2020-09-15 | Artilux, Inc. | Photo-detecting apparatus and photo-detecting method thereof |
JP2020178082A (ja) * | 2019-04-19 | 2020-10-29 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置および光電変換システム |
US10854770B2 (en) | 2018-05-07 | 2020-12-01 | Artilux, Inc. | Avalanche photo-transistor |
US10861888B2 (en) | 2015-08-04 | 2020-12-08 | Artilux, Inc. | Silicon germanium imager with photodiode in trench |
US10886312B2 (en) | 2015-11-06 | 2021-01-05 | Artilux, Inc. | High-speed light sensing apparatus II |
US10886311B2 (en) | 2018-04-08 | 2021-01-05 | Artilux, Inc. | Photo-detecting apparatus |
US10969877B2 (en) | 2018-05-08 | 2021-04-06 | Artilux, Inc. | Display apparatus |
US11630212B2 (en) | 2018-02-23 | 2023-04-18 | Artilux, Inc. | Light-sensing apparatus and light-sensing method thereof |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004512686A (ja) * | 2000-10-19 | 2004-04-22 | クォンタム セミコンダクター リミテッド ライアビリティ カンパニー | Cmosと一体化されたヘテロ接合ホトダイオードの製造方法 |
JP2007242877A (ja) * | 2006-03-08 | 2007-09-20 | Sony Corp | 固体撮像素子 |
JP2007529103A (ja) * | 2003-07-07 | 2007-10-18 | マイクロン テクノロジー インコーポレイテッド | キャリアの移動性と画像の青感度を改善するひずみシリコン層を有するピクセル |
JP2008305994A (ja) * | 2007-06-07 | 2008-12-18 | Panasonic Corp | 固体撮像装置およびその製造方法 |
US20100102366A1 (en) * | 2008-10-24 | 2010-04-29 | Jong-Jan Lee | Integrated Infrared and Color CMOS Imager Sensor |
-
2011
- 2011-01-14 JP JP2011005968A patent/JP5745866B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004512686A (ja) * | 2000-10-19 | 2004-04-22 | クォンタム セミコンダクター リミテッド ライアビリティ カンパニー | Cmosと一体化されたヘテロ接合ホトダイオードの製造方法 |
JP2007529103A (ja) * | 2003-07-07 | 2007-10-18 | マイクロン テクノロジー インコーポレイテッド | キャリアの移動性と画像の青感度を改善するひずみシリコン層を有するピクセル |
JP2007242877A (ja) * | 2006-03-08 | 2007-09-20 | Sony Corp | 固体撮像素子 |
JP2008305994A (ja) * | 2007-06-07 | 2008-12-18 | Panasonic Corp | 固体撮像装置およびその製造方法 |
US20100102366A1 (en) * | 2008-10-24 | 2010-04-29 | Jong-Jan Lee | Integrated Infrared and Color CMOS Imager Sensor |
Cited By (45)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014078680A (ja) * | 2012-09-18 | 2014-05-01 | Denso Corp | イメージセンサ |
US10148896B2 (en) | 2014-12-26 | 2018-12-04 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Heart rate detection device and facial recognition system with the heart rate detection device |
US11335725B2 (en) | 2015-07-23 | 2022-05-17 | Artilux, Inc. | High efficiency wide spectrum sensor |
US9786715B2 (en) | 2015-07-23 | 2017-10-10 | Artilux Corporation | High efficiency wide spectrum sensor |
US10615219B2 (en) | 2015-07-23 | 2020-04-07 | Artilux, Inc. | High efficiency wide spectrum sensor |
US10269862B2 (en) | 2015-07-23 | 2019-04-23 | Artilux Corporation | High efficiency wide spectrum sensor |
US10761599B2 (en) | 2015-08-04 | 2020-09-01 | Artilux, Inc. | Eye gesture tracking |
US10564718B2 (en) | 2015-08-04 | 2020-02-18 | Artilux, Inc. | Eye gesture tracking |
US10756127B2 (en) | 2015-08-04 | 2020-08-25 | Artilux, Inc. | Germanium-silicon light sensing apparatus |
US10256264B2 (en) | 2015-08-04 | 2019-04-09 | Artilux Corporation | Germanium-silicon light sensing apparatus |
US10269838B2 (en) | 2015-08-04 | 2019-04-23 | Artilux Corporation | Germanium-silicon light sensing apparatus |
CN108028258A (zh) * | 2015-08-04 | 2018-05-11 | 奥特逻科集团 | 锗硅感光设备 |
US11755104B2 (en) | 2015-08-04 | 2023-09-12 | Artilux, Inc. | Eye gesture tracking |
US11756969B2 (en) | 2015-08-04 | 2023-09-12 | Artilux, Inc. | Germanium-silicon light sensing apparatus |
WO2017024121A1 (en) * | 2015-08-04 | 2017-02-09 | Artilux Corporation | Germanium-silicon light sensing apparatus |
US10056415B2 (en) | 2015-08-04 | 2018-08-21 | Artilux Corporation | Germanium-silicon light sensing apparatus |
US9954016B2 (en) | 2015-08-04 | 2018-04-24 | Artilux Corporation | Germanium-silicon light sensing apparatus |
US10685994B2 (en) | 2015-08-04 | 2020-06-16 | Artilux, Inc. | Germanium-silicon light sensing apparatus |
US10707260B2 (en) | 2015-08-04 | 2020-07-07 | Artilux, Inc. | Circuit for operating a multi-gate VIS/IR photodiode |
US10964742B2 (en) | 2015-08-04 | 2021-03-30 | Artilux, Inc. | Germanium-silicon light sensing apparatus II |
US10861888B2 (en) | 2015-08-04 | 2020-12-08 | Artilux, Inc. | Silicon germanium imager with photodiode in trench |
US10157954B2 (en) | 2015-08-27 | 2018-12-18 | Artilux Corporation | Wide spectrum optical sensor |
US9893112B2 (en) | 2015-08-27 | 2018-02-13 | Artilux Corporation | Wide spectrum optical sensor |
US10770504B2 (en) | 2015-08-27 | 2020-09-08 | Artilux, Inc. | Wide spectrum optical sensor |
US10795003B2 (en) | 2015-11-06 | 2020-10-06 | Artilux, Inc. | High-speed light sensing apparatus |
US10886309B2 (en) | 2015-11-06 | 2021-01-05 | Artilux, Inc. | High-speed light sensing apparatus II |
US11637142B2 (en) | 2015-11-06 | 2023-04-25 | Artilux, Inc. | High-speed light sensing apparatus III |
US10310060B2 (en) | 2015-11-06 | 2019-06-04 | Artilux Corporation | High-speed light sensing apparatus |
US10741598B2 (en) | 2015-11-06 | 2020-08-11 | Atrilux, Inc. | High-speed light sensing apparatus II |
US10886312B2 (en) | 2015-11-06 | 2021-01-05 | Artilux, Inc. | High-speed light sensing apparatus II |
US11579267B2 (en) | 2015-11-06 | 2023-02-14 | Artilux, Inc. | High-speed light sensing apparatus |
US11747450B2 (en) | 2015-11-06 | 2023-09-05 | Artilux, Inc. | High-speed light sensing apparatus |
US10739443B2 (en) | 2015-11-06 | 2020-08-11 | Artilux, Inc. | High-speed light sensing apparatus II |
US10353056B2 (en) | 2015-11-06 | 2019-07-16 | Artilux Corporation | High-speed light sensing apparatus |
US11131757B2 (en) | 2015-11-06 | 2021-09-28 | Artilux, Inc. | High-speed light sensing apparatus |
US11749696B2 (en) | 2015-11-06 | 2023-09-05 | Artilux, Inc. | High-speed light sensing apparatus II |
US10418407B2 (en) | 2015-11-06 | 2019-09-17 | Artilux, Inc. | High-speed light sensing apparatus III |
US10777692B2 (en) | 2018-02-23 | 2020-09-15 | Artilux, Inc. | Photo-detecting apparatus and photo-detecting method thereof |
US11630212B2 (en) | 2018-02-23 | 2023-04-18 | Artilux, Inc. | Light-sensing apparatus and light-sensing method thereof |
US12013463B2 (en) | 2018-02-23 | 2024-06-18 | Artilux, Inc. | Light-sensing apparatus and light-sensing method thereof |
US10886311B2 (en) | 2018-04-08 | 2021-01-05 | Artilux, Inc. | Photo-detecting apparatus |
US11329081B2 (en) | 2018-04-08 | 2022-05-10 | Artilux, Inc. | Photo-detecting apparatus |
US10854770B2 (en) | 2018-05-07 | 2020-12-01 | Artilux, Inc. | Avalanche photo-transistor |
US10969877B2 (en) | 2018-05-08 | 2021-04-06 | Artilux, Inc. | Display apparatus |
JP2020178082A (ja) * | 2019-04-19 | 2020-10-29 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置および光電変換システム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5745866B2 (ja) | 2015-07-08 |
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A977 | Report on retrieval |
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