JP2008288488A - 基板処理装置および基板処理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】塗布ユニットCOVは、基板Wの上面に塗布された塗布液の液面から光干渉縞が消失する前に、基板Wの回転数を低下させるとともに除去液の供給を開始する。このため、レジストカバー膜として基板の上面に徐々に定着しつつも流動性が残る塗布液の周縁部分を、除去液の物理的な浸食により除去することができる。したがって、塗布液の周縁部分を短時間に精度よく除去することができる。また、物理的な浸食作用を利用するため、反射防止膜やレジスト膜用の除去液と同一の除去液を使用することができる。
【選択図】図6
Description
図1は、本発明の一実施形態に係る基板処理装置500の全体構成を示した平面図である。この基板処理装置500は、液浸露光処理の前後において、半導体基板W(以下、単に「基板W」という。)に塗布処理、熱処理、現像処理等の一連の処理を行うための装置である。図1に示したように、基板処理装置500は、主として、インデクサブロック9、反射防止膜用処理ブロック10、レジスト膜用処理ブロック11、現像処理ブロック12、レジストカバー膜用処理ブロック13、レジストカバー膜除去ブロック14、洗浄/乾燥処理ブロック15、およびインターフェースブロック16をこの順に並設した構成となっている。
続いて、基板処理装置500の全体的な動作の概略について、図1〜図3および図4のフローチャートを参照しつつ説明する。この基板処理装置500において基板Wの処理を行うときには、まず、インデクサブロック9のキャリア載置台92上に、複数枚の基板Wが多段に収納されたキャリアCが搬入される(ステップS1)。
続いて、上記のレジストカバー膜用塗布処理部60に設けられた塗布ユニットCOVのより詳細な構成および動作について、図6〜図11を参照しつつ説明する。図6は、塗布ユニットCOVの構成を示した側面図である。図6に示したように、塗布ユニットCOVは、基板Wを水平姿勢に保持しつつ回転させるスピンチャック61と、基板Wの上面にレジストカバー膜の塗布液を供給する供給ノズル62と、基板Wの下面側から除去液を供給する除去ノズル63とを有している。
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記の例に限定されるものではない。上記の例では、複数の処理部を有する基板処理装置500について説明したが、本発明の基板処理装置は、塗布ユニットの機能のみを有する独立した基板処理装置であってもよい。また、上記の3.では、レジストカバー膜CVTを形成する場合について説明したが、本発明の塗布液はレジストカバー膜用の塗布液に限定されるものではなく、反射防止膜用の塗布液や、レジスト膜用の塗布液や、その他の塗布液であってもよい。
10 反射防止膜用処理ブロック
11 レジスト膜用処理ブロック
12 現像処理ブロック
13 レジストカバー膜用処理ブロック
14 レジストカバー膜除去ブロック
15 洗浄/乾燥処理ブロック
16 インターフェースブロック
17 露光装置
60 レジストカバー膜用塗布処理部
61 スピンチャック
62 供給ノズル
63 除去ノズル
64 ユニットコントローラ
500 基板処理装置
COV 塗布ユニット
CVB 反射防止膜
CVR レジスト膜
CVT レジストカバー膜
I 光干渉縞
W 基板
Claims (8)
- 基板の表面に塗布液を供給することにより基板の表面に塗布膜を形成する基板処理装置であって、
基板を水平姿勢に保持しつつ鉛直軸周りに回転させる保持部と、
前記保持部に保持された基板の上面に塗布液を供給する塗布液供給部と、
前記保持部に保持された基板の下面に向けて除去液を吐出し、基板の下面および端面を介して基板の上面側に除去液を回り込ませることにより、基板の上面の周縁部に除去液を供給する除去液供給部と、
前記保持部、前記塗布液供給部、および前記除去液供給部の動作を制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、前記塗布液供給部により基板の上面に塗布された塗布液の液面から光干渉縞が消失する前に、前記除去液供給部による除去液の供給を開始させることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置であって、
前記制御部は、前記塗布液供給部による塗布液の供給後、前記保持部により基板を第1の回転数で回転させ、前記除去液供給部による除去液の吐出前に、基板の回転数を第1の回転数より低い第2の回転数に低下させることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項2に記載の基板処理装置であって、
前記制御部は、前記除去液供給部による除去液の供給を開始させた後、所定時間が経過すると、前記保持部による基板の回転数を前記第2の回転数よりも高い第3の回転数に上昇させることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1から請求項3までのいずれかに記載の基板処理装置であって、
前記塗布液供給部は、液浸露光処理においてレジスト膜を保護するためのレジストカバー膜を形成する塗布液を供給することを特徴とする基板処理装置。 - 基板の表面に塗布液を塗布することにより基板の表面に塗布膜を形成する基板処理方法であって、
水平姿勢に保持された基板の上面に塗布液を供給する第1の工程と、
前記第1の工程において基板の上面に塗布された塗布液の液面から光干渉縞が消失する前に、基板の下面に向けて除去液を吐出し、基板の下面および端面を介して基板の上面側に除去液を回り込ませることにより、基板の上面の周縁部に除去液を供給する第2の工程と、
を備えることを特徴とする基板処理方法。 - 請求項5に記載の基板処理方法であって、
前記第1の工程における塗布液の供給後、鉛直軸周りに基板を第1の回転数で回転させ、
前記第2の工程における除去液の吐出前に、基板の回転数を前記第1の回転数より低い第2の回転数に低下させることを特徴とする基板処理方法。 - 請求項6に記載の基板処理方法であって、
前記第2の工程の後、前記除去液の吐出を継続しつつ、基板の回転数を前記第2の回転数よりも高い第3の回転数に上昇させる第3の工程を更に備えることを特徴とする基板処理方法。 - 請求項5から請求項7までのいずれかに記載の基板処理方法であって、
前記第1の工程では、液浸露光処理においてレジスト膜を保護するためのレジストカバー膜を形成する塗布液を供給することを特徴とする基板処理方法。
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