JP2008277769A - プローブ抵抗値測定方法、プローブ抵抗値測定用パッドを有する半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】プローブユニットが備える複数のプローブと、抵抗値測定用パッドが備える3以上のノードとの間に一対一の対応関係を設定する。その関係に従って、プローブユニットと抵抗値測定用パッドとを接触させて、3以上のノードの相互間の抵抗値を測定した結果を記録する。その測定結果に基づいて、プローブユニットが備える複数のプローブの各々の接触抵抗値を計算する。
【選択図】図7A
Description
以下、図面を参照しながら本発明を実施するための最良の形態について説明する。図7Aのように、n本のプローブ1(n≧3)を備えたプローブユニットに対して、直列に接続したm個のパッド2(m≧3、必ずしもn=mである必要はない)を備え、隣接パッド2間の抵抗値(配線3の抵抗値)が等価となるようにレイアウトされた接触抵抗測定用TEG20が配置される。こうしたプローブユニットとパッド2によりn本の各プローブ1の接触抵抗値が測定される。測定される接触抵抗値は、プローブ1の先端からプローブユニットを通じ、装置内配線等の抵抗を含んでいる。
R12=Rc1+Rc2+r
R23=Rc2+Rc3+r
R13=Rc1+Rc3+2r
R34=Rc3+Rc4+r
R24=Rc2+Rc4+2r
これらの式をRc1〜Rc4について解くと、
Rc1=(2R12−R23+R34−R24)/2
Rc2=(R12+R23−R13)/2
Rc3=(R23+R34−R24)/2
Rc4=(2R34−R23+R12−R13)/2
と、一組の4本の各プローブ1の接触抵抗値が求まる。
R12=Rc1+Rc2+(1+α)r
R23=Rc2+Rc3+(1+β)r
R13=Rc1+Rc3+(2+α+β)r
R34=Rc3+Rc4+(1+γ)r
R24=Rc2+Rc4+(2+β+γ)r
これらの式をRc1〜Rc4について解くと、
Rc1=(R12−R23+R13)/2−r‐αr
Rc2=(R12+R23−R13)/2
Rc3=(R23+R34−R24)/2
Rc4=(R34−R23+R24)/2−r‐γr
となる。すなわち、Rc2およびRc3は配線抵抗rの誤差に影響を受けず、Rc1に‐αr、Rc4に‐γrの配線抵抗誤差分が加わる。ここで、例えば、r<1Ω(α≒10%,γ≒10%)とし、配線の幅、長さ、膜厚、および配線材料の抵抗率全体で10%程度ばらつきが発生した場合、Rc1,Rc4に加わる配線抵抗誤差分は0.1Ω程度以下である。実際は、レイアウト上、隣接パッド2間配線の幅、長さは、数10umと十分長く、番号1〜4のパッド2間の距離も高々数100um程度にレイアウトすることは十分可能なので、膜厚、抵抗率を含めた配線抵抗が10%もの大きなばらつきをもつことはない。よって、接触抵抗値を1Ω以下にする場合でもrのばらつきは無視できるため、r=一定と仮定することができる。
R12=Rc1+Rc2+r
R23=Rc2+Rc3+r
R13=Rc1+Rc3+2r
R3s=Rc3+Rs+rs
R2s=Rc2+Rs+r+rs
R1s=Rc1+Rs+2r+rs
これらの式をRc1、Rc2、Rc3について解くと、以下のように接触抵抗値が求まる。
Rc1=(2R12−R23+R3s−R2s)/2
Rc2=(R12+R23−R13)/2
Rc3=(R23+R3s−R2s)/2
図8に示されるように、ウェハを180°ローテーションし、接触抵抗値を測定することも可能である。図8(a)に示されるように、本実施例において、n個(nは偶数)のパッドを備えるTEGは、一端からn/2個のパッド2を含む接触抵抗測定用TEG20と、他端からn/2個の素子用パッドを含むデバイス特性評価用TEG21とを備える。接触抵抗測定用TEG20の構成は図7Aに示されたTEGと同様である。
図9のように、パッド2の配置は、一直線上にレイアウトする必要はなく、まげて配置することも可能。隣接パッド2間の抵抗が等価となるようレイアウトすることにより、図7Aと同様にプローブ1の接触抵抗値が測定できる。
本実施例においては、図10Aに示されるような直列に接続した3個以上のパッド2を備えた接触抵抗測定用TEG20により接触抵抗値が測定される。図10Bのように、デバイスの電気的特性評価のための素子用パッドの隙間に、直列に接続した3個以上のパッド2を備えた接触抵抗測定用TEG20が配置される。こうした接触抵抗測定用TEG20付きTEGを備えたウェハに対して、プローブ1をシフト、あるいはウェハをローテーションして接触することにより、プローブ1の接触抵抗測定が可能となる。プローブ1がシフト、あるいはウェハをローテーションして接触する際には、プローブ1が接触する位置にパッドが配置される。この特徴により、接触抵抗測定用TEG20のために大きなエリアを確保する必要がなく、プローブ1の接触抵抗値の測定が可能である。
R12=Rc1+Rc2+r
R23=Rc2+Rc3+r
R13=Rc1+Rc3+2r
次に、図10B(b)のように、プローブ1を左へ1個のパッド2分シフトして接触し、再び測定を行う。動かす方向・距離は、最初にプローブ1を当てた位置および、レイアウトによる。このとき、厳密には接触抵抗値Rc2およびRc3は1回目の接触と2回目の接触との間で若干異なる値となる場合があるが、実用的には接触抵抗値Rc2およびRc3の1回目の接触と2回目の接触との間の差がたとえば0.1Ω程度以下であれば同一値であると仮定してもよい。ここでは、接触抵抗値Rc2およびRc3は1回目の接触と2回目の接触との間で同一値であると仮定している。
R34=Rc3+Rc4+r
R24=Rc2+Rc4+2r
図10B(a)(b)に示された2回の接触による測定から、
Rc1=(2R12−R23+R34−R24)/2
Rc2=(R12+R23−R13)/2
Rc3=(R23+R34−R24)/2
Rc4=(2R34−R23+R12−R13)/2
のように、接触抵抗値Rc1,Rc2,Rc3,Rc4が計算される。Rc5からRcnまでの接触抵抗値も同様に測定される。
図11を参照して、実施例4に示されたような3個のパッド2を直列に接続した接触抵抗測定用TEG20で24本のプローブ1を備えたプローブユニットの各プローブ1の接触抵抗値を測定する方法の例を示す。本実施例においては、38個のパッドを備えたTEG4の中央付近に2箇所の3個のパッド2を直列に接続した接触抵抗測定用TEG20が配置されている。
図12(a)には、幅がパッドサイズ程度の棒状の配線パターンである抵抗値測定用パッド7が描かれている。このような抵抗値測定用パッド7を用いても、接触抵抗値が測定可能である。配線パターンの膜厚が均一で十分薄く、かつ、n本のプローブ1はほぼ等間隔で配列され間隔の誤差が小さいと仮定すれば、ほぼ等間隔の隣接したプローブ1が接触しているノード間の抵抗値測定用パッド7の抵抗は、それぞれr=一定となり、図12(b)のパターンとほぼ等価、すなわち図7Aの接触抵抗測定用TEG20とほぼ等価とみなせ、図7Aで説明した方法と同様に測定できる。
図13は、大面積配線ベタパターンである抵抗値測定用パッド8を示す。半導体ウェハ9の広い領域が導電体の膜で覆われており、この導電体の膜が抵抗値測定用パッド8として用いられる。一例として、ウェハ1枚ベタに低抵抗の配線材料を形成したウェハを用いることにより、実施例6と同じ理由により、n本の全プローブ1の接触抵抗値を測定することが可能である。半導体ウェハ9内に収まるサイズのn本のプローブ1(n≧3)を備えたプローブユニットであれば、プローブ1の接触抵抗測定が可能である。ここで、大面積配線ベタパターン終端付近では、隣接した2本のプローブ1間で測定される抵抗値測定用パッド8の抵抗は、厳密には当該終端からの距離により抵抗値が変わるが、その誤差は無視しても問題ない程度である。
図14は、接触抵抗測定用TEG20付きTEG4が適用された製品チップ10のレイアウトを示す。図14のように、ウェハ内すべての製品チップ10の中に、接触抵抗測定用TEG20付きTEG4を1つ以上レイアウトしておく。既述の実施例に示された方法により、ひとつの製品チップ10に含まれる接触抵抗測定用TEG20を用いてプローブ1の接触抵抗値を測定した後、直ちに当該プローブ1を用いて当該製品チップ10内の評価に入ることにより、プローブ1の接触抵抗値による影響をあまり受けることなく評価できる。
図15Aは、製品外周などの未使用領域を有効活用してプローブ1の接触抵抗値の測定を行うための構成を示す。図は、便宜上、ウェハの一部分の外周のみ描いているが、全周にわたり、接触抵抗測定用パターンを用意しておくことが可能である。図15Aのように、ウェハ9上の製品外周などの未使用領域に接触抵抗測定用TEG20、または棒状の配線パターンである抵抗値測定用パッド7を用意しておくことにより、実施例6と同じ理由により、プローブ1の接触抵抗値を測定することができる。
次に、抵抗値測定用パッドを配置する位置に関する実施例を説明する。実際に半導体製品に付属したTEGを設計するとき、付属TEG用に与えられた領域の範囲内で可能な限り多種類のTEGを設けようとする傾向がある。そのため、抵抗値測定用パッドのために専用の領域を確保するのは困難な場合が多い。
接触抵抗測定用TEG20は、当該接触抵抗測定用TEG20を形成する工程以前の工程で形成された下地パターン領域との間で少なくとも一方が他方に悪影響を及ぼすことがなければ、当該下地パターン領域の上層に少なくとも一部を重ねて形成してもよい。下地パターン領域としては、アライメント基準位置計測用パターン、アライメント誤差計測用パターン等のアライメント関連のパターン領域や、寸法測定パターン、膜厚測定パターン等の工程モニタ関連のパターン領域や、デバイスの電気的特性評価用TEG等のTEG関連のパターン領域が例示される。
(1)パッド上にパッシベーション膜の開口を形成するリソグラフィー工程で用いるアライメント関連のパターンの上層に重ねて当該TEGを形成したことによって、アライメント関連のパターンが計測不可能になる場合には、下地パターンの使用目的が損なわれる。
(2)段差の影響がある下地パターンの上層に重ねたことによって接触抵抗測定用TEGの導電体パターンの表面が平坦ではなくなり測定精度が悪化する場合には、接触抵抗測定用TEGの使用目的が損なわれる。
接触抵抗測定用TEGは、これらの悪影響を避ける位置に配置されることが望まれる。
接触抵抗測定用TEG20は、複数の回数の露光工程を用いて形成してもよい。複数の回数の露光によって、接触抵抗測定用TEG20の一部が多重露光されてもよい。多重露光によって、接触抵抗測定用TEG20の一部が変形してもよい。
図17Aは、たとえば縮小投影型露光装置を用いて露光工程を実施する場合の、露光フィールドの下端部を描いた概略図である。線b−b’はスクライブ線領域の中心線を表している。製品領域29Aに隣接した露光フィールド下端部のスクライブ線領域30A上に、接触抵抗測定用TEG上側20Aが形成される。
接触抵抗測定用TEG20は、横方向のスクライブ線領域と縦方向のスクライブ線領域との両方に形成してもよい。
以下、背景技術欄に掲げた先行技術文献について説明する。
特許文献1(図1参照)には、プローブの接触抵抗測定方法が記載されている。この測定方法において、電気的な試験を行う半導体デバイスに、導電性の配線にて接続された複数の電極パッドが設けられる。[解決手段]に記載されている接触抵抗測定方法では、「ウェハ1012の試験時には1016Aをテスタ1014の電圧源と接続し、プローブの接触抵抗測定時にはプローブ1016Aを接地するリレー1038を備え」、「プローブ1016B、1016Cに電流を供給して電圧を測定する。この測定値と供給した電流の電流値とからプローブ1016A〜1016Cの全体の接触抵抗値を求める」。
2…接触抵抗測定用TEGのパッド
3…接触抵抗測定用TEGの配線
4…TEG
5…プローブユニット
7…棒状の配線パターンである抵抗値測定用パッド
8…大面積配線ベタパターンである抵抗値測定用パッド
9…半導体ウェハ
10…製品チップ
20…接触抵抗測定用TEG
20A…接触抵抗測定用TEG上側
20B…接触抵抗測定用TEG下側
21…デバイス特性評価用TEG
23…絶縁膜
24…窓
25…下地パターン領域
26…接触抵抗測定用TEGの一部である導電体パターン
27…下地パターン
29…製品領域
29A…露光フィールド下端部の製品領域
29B…露光フィールド上端部の製品領域
30…スクライブ線領域
30A…露光フィールド下端部のスクライブ線領域
30B…露光フィールド上端部のスクライブ線領域
31…多重露光により変形した部分
32…露光フィールド
Claims (23)
- プローブユニットが備える複数のプローブと、抵抗値測定用パッドが備える3以上のノードとの間に設定された第一の一対一の対応関係に従って、前記プローブユニットと前記抵抗値測定用パッドとを接触させて、前記3以上のノードの少なくとも一対の相互間の抵抗値を測定して第一測定結果として記録する第一測定ステップと、
前記第一測定結果に基づいて、前記プローブユニットが備える複数のプローブの各々の接触抵抗値を計算する計算ステップ
とを具備する
プローブ抵抗値測定方法。 - 請求項1に記載されたプローブ抵抗値測定方法であって、
前記計算ステップは、
前記第一測定ステップにおいて測定された抵抗値を、前記複数のプローブと前記3以上のノードとの間の接触抵抗値と前記ノード間の抵抗値との和によって表現した第一式を生成するサブステップと、
前記第一式を前記複数のプローブと前記3以上のノードとの間の接触抵抗値について解くことによって、前記複数のプローブとノードとの間の接触抵抗値を算出するサブステップ
とを備える
プローブ抵抗値測定方法。 - 請求項1又は2に記載されたプローブ抵抗値測定方法であって、
前記抵抗値測定用パッドが備える複数のノードの隣接するノード間の抵抗値は一定である
プローブ抵抗値測定方法。 - 請求項1から3のいずれかに記載されたプローブ抵抗値測定方法であって、
前記3以上のノードは、4以上のノードである
プローブ抵抗値測定方法。 - 請求項1から4のいずれかに記載されたプローブ抵抗値測定方法であって、
更に、前記プローブユニットが備える複数のプローブと、前記3以上のノードとの間に設定された第二の一対一の対応関係に従って、前記プローブユニットと前記抵抗値測定用パッドとを接触させて、前記3以上のノードの相互間の抵抗値を測定して第二測定結果として記録する第二測定ステップを具備し、
前記計算ステップにおいて、前記各々の接触抵抗値は、前記第二測定結果に基づいて計算される
プローブ抵抗値測定方法。 - 請求項5に記載されたプローブ抵抗値測定方法であって、
前記第一の一対一の対応関係と、前記第二の一対一の対応関係とは、前記抵抗値測定用パッドが設けられている基板を回転することによって切り替えられる
プローブ抵抗値測定方法。 - 請求項5又は6に記載されたプローブ抵抗値測定方法であって、
前記計算ステップは更に、
前記第二測定ステップにおいて測定された抵抗値を、前記複数のプローブと前記複数のノードとの間の接触抵抗値と前記ノード間の抵抗値との和によって表現した第二式を生成するサブステップを備え、
前記接触抵抗値を算出するサブステップにおいて、前記複数のプローブとノードとの間の接触抵抗値は、前記第一式と前記第二式の連立式を前記複数のプローブと前記3以上のノードとの間の接触抵抗値について解くことによって算出される
プローブ抵抗値測定方法。 - 請求項1から7のいずれかに記載されたプローブ抵抗値測定方法であって、
更に、前記プローブユニットが備える複数のプローブと前記抵抗値測定用パッドが設けられている基板に設けられた半導体領域とを接続させて、前記半導体領域と前記複数のノードとの間の抵抗値を測定して第三測定結果として記録する第三測定ステップを具備し、
前記計算ステップにおいて、前記各々の接触抵抗値は、前記第三測定結果に基づいて計算される
プローブ抵抗値測定方法。 - 請求項8に記載されたプローブ抵抗値測定方法であって、
前記3以上のノードは、3のノードである
プローブ抵抗値測定方法。 - 請求項1から9のいずれかに記載されたプローブ抵抗値測定方法であって、
前記抵抗値測定用パッドが設けられる基板には、前記基板上に設けられた素子用パッドを介して電気的にアクセス可能な半導体回路が配置され、
前記抵抗値測定用パッドと前記素子用パッドとは同一線上で混在する
プローブ抵抗値測定方法。 - 請求項1から9のいずれかに記載されたプローブ抵抗値測定方法であって、
前記抵抗値測定用パッドは、半導体回路と電気的に接続する回路が設けられる領域よりも周縁の基板上に設けられる
プローブ抵抗値測定方法。 - 請求項1から9のいずれかに記載されたプローブ抵抗値測定方法であって、
前記抵抗値測定用パッドが設けられる半導体基板上に形成された導体膜は絶縁体でカバーされ、
前記抵抗値測定用パッドは、前記絶縁体に窓が設けられ前記導体膜が露出した領域である
プローブ抵抗値測定方法。 - 半導体基板上に設けられた半導体回路と電気的に分離した3以上のパッドと、
前記3以上のパッドを直列に接続し、互いに同一の抵抗値を有する配線
とを具備する
プローブ抵抗値測定用パッドを有する半導体装置。 - 請求項13に記載されたプローブ抵抗値測定用パッドを有する半導体装置であって、
前記3以上のパッドは4以上のパッドである
プローブ抵抗値測定用パッドを有する半導体装置。 - 請求項13に記載されたプローブ抵抗値測定用パッドを有する半導体装置であって、
前記3以上のパッドのうちの1つは前記半導体基板上に設けられた半導体領域に接続されている
プローブ抵抗値測定用パッドを有する半導体装置。 - 請求項15に記載されたプローブ抵抗値測定用パッドを有する半導体装置であって、
前記3以上のパッドは3つのパッドのみからなる
プローブ抵抗値測定用パッドを有する半導体装置。 - 請求項13から16のいずれかに記載されたプローブ抵抗値測定用パッドを有する半導体装置であって、
更に、前記半導体回路と接続された素子用パッドを具備し、
前記3以上のパッドと前記素子用パッドとは同一線上に配置される
プローブ抵抗値測定用パッドを有する半導体装置。 - 請求項13から17のいずれかに記載されたプローブ抵抗値測定用パッドを有する半導体装置であって、
前記抵抗値測定用パッドは、前記半導体基板上の半導体回路が設けられる領域よりも周縁の基板上に配置される
プローブ抵抗値測定用パッドを有する半導体装置。 - 請求項13から16のいずれかに記載されたプローブ抵抗値測定用パッドを有する半導体装置であって、
前記半導体基板の前記抵抗値測定用パッドが設けられる領域には導体膜とその導体膜を覆う絶縁体が設けられ、
前記抵抗値測定用パッドは、前記絶縁体に窓が設けられ前記導体膜が露出した領域である
プローブ抵抗値測定用パッドを有する半導体装置。 - 請求項13から19のいずれかに記載されたプローブ抵抗測定用パッドを有する半導体装置であって、
更に、前記半導体基板上に半導体回路を形成する際に前記半導体回路のアライメント基準位置またはアライメント誤差を計測するために使用されるアライメント関連パターンと、寸法または厚さを計測するために使用される工程モニタ関連パターンと、半導体回路とのうち少なくともひとつを具備し、
前記3以上のパッドは、前記アライメント関連パターン、前記工程モニタ関連パターン又は前記半導体回路が形成された領域に配置される
プローブ抵抗値測定用パッドを有する半導体装置。 - 請求項13から20のいずれかに記載されたプローブ抵抗測定用パッドを有する半導体装置であって、
前記半導体基板上にはスクライブ線が形成され、
前記3以上のパッドは、前記スクライブ線と重なる位置に配置される
プローブ抵抗値測定用パッドを有する半導体装置。 - 請求項13から21のいずれかに記載されたプローブ抵抗測定用パッドを有する半導体装置であって、
前記3以上のパッドは、第1の露光工程によって形成された第1部分と、第2の露光工程によって形成された第2部分とを含む
プローブ抵抗値測定用パッドを有する半導体装置。 - 請求項13から22のいずれかに記載されたプローブ抵抗測定用パッドを有する半導体装置であって、
前記3以上のパッドは互いに第1の方向に整列し、
更に、前記半導体基板上に設けられた半導体回路と電気的に分離した他の3以上のパッドと、
前記他の3以上のパッドを直列に接続し、互いに同一の抵抗値を有する他の配線とを具備し、
前記他の3以上のパッドは、前記第1の方向と異なる第2の方向に整列する
プローブ抵抗値測定用パッドを有する半導体装置。
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