JP2005210122A - 半導体素子のテストパターン及びこれを用いたテスト方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 半導体素子のテストパターンは半導体基板上に配置された導電パターン100を具備して、該導電パターン100は互いに平行しながら等しい間隔で離隔された複数のライン領域100a及び該複数のライン領域100aをジグザグの構造で接続する接続領域100bを含む。該接続領域100bと対応されるように互いに隣合うライン領域10aの一端部を電気的にスイッチングさせる複数のトランジスタ102を含み、該複数のトランジスタ102はそれぞれ互いに隣合うライン領域100aの中から一つの一端部に電気的に接続されるソース領域及び互いに隣合うライン領域100aの中から残り一つの一端部に電気的に接続される。また、複数のトランジスタ102の中から一つまたはそれらの組合せを選ぶためのトランジスタ選択部T2が該複数のトランジスタ102の各ゲートと電気的に接続される。
【選択図】 図1
Description
前述のように本発明の好ましい実施形態で、前記導電パターン100はポリシリコンパターンである。数式1から前記ポリシリコンパターンに電気的な不良がない場合の抵抗値を計算することができる。以下、特許請求範囲を含む本明細書で、電気的な不良がない場合に導電パターンが有する抵抗を固有線抵抗とする。
(Do:断線を引き起こす欠陷の大きさ、W:ライン領域の幅、S:スペース領域の幅、n:断線が発生したライン領域の数)
以下、前記導電パターン100の中の所定領域が短絡された場合に前記短絡を引き起こす欠陷の大きさを評価する方法について説明する。
(Ds:短絡を引き起こす欠陷の大きさ、W:ライン領域の幅、S:スペース領域の幅、n:短絡が発生したライン領域の数)
すなわち、もしも前記複数のライン領域100aの中から二つのライン領域が互いに短絡された場合に前記短絡を引き起こす欠陷D3の大きくは互いに短絡されたライン領域の間に介在されたスペース領域104の幅Sより大きいか等しく、互いに短絡されたライン領域の幅2W及び互いに短絡されたライン領域の間と両側に介在されたスペース領域104との幅3Sより小さい大きさを有するものとして近似されることができる。
100a:ライン領域
100b:接続領域
102、T1、T2、T3、T4、T5、T6:トランジスタ
IP1:入力パッド
IP2:追加入力パッド
OP1:出力パッド
OP2:追加出力パッド
TS:トランジスタ選択部
Claims (20)
- 半導体基板上に配置された導電パターンと、
ソース及びドレイン領域が前記導電パターンの互いに異なる部分にそれぞれ電気的に接続されて前記導電パターンを一定間隔で区切る複数のトランジスタと、
前記複数のトランジスタの各ゲートと電気的に接続されて前記複数のトランジスタの中から一つ、またはそれらの組合せを選ぶためのトランジスタ選択部と、
を含むことを特徴とする半導体素子のテストパターン。 - 前記導電パターンは、ポリシリコンパターンであることを特徴とする請求項1に記載の半導体素子のテストパターン。
- 前記導電パターンの一端部に接続された入力パッド及び前記導電パターンの他端部に接続された出力パッドをさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体素子のテストパターン。
- 前記トランジスタ選択部は、前記複数のトランジスタの各ゲートと電気的に接続された複数の選択パッドを含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体素子のテストパターン。
- 前記トランジスタ選択部は、前記複数のトランジスタの各ゲートと電気的に接続されたデコーダ及び前記デコーダに入力信号を伝送するためのデコーダパッドを含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体素子のテストパターン。
- 半導体基板上に配置されて、互いに平行しながら等しい間隔で離隔された複数のライン領域及び前記複数のライン領域をジグザグの構造で接続する接続領域を含む導電パターンと、
前記接続領域と対応されるように互いに隣合う前記ライン領域の一端部を電気的にスイッチングさせて、前記互いに隣合うライン領域の中から一つの一端部に電気的に接続されるソース領域及び前記互いに隣合うライン領域の中から残り一つの一端部に電気的に接続されるドレイン領域を有する複数のトランジスタと、
前記複数のトランジスタの各ゲートと電気的に接続されて前記複数のトランジスタの中から一つ、またはそれらの組合せを選ぶためのトランジスタ選択部と、
を含むことを特徴とする半導体素子のテストパターン。 - 前記導電パターンは、ポリシリコンであることを特徴とする請求項6に記載の半導体素子のテストパターン。
- 前記導電パターンの一端部に接続された入力パッド及び前記導電パターンの他端部に接続された出力パッドをさらに含む請求項6に記載の半導体素子のテストパターン。
- 前記導電パターンに沿って前記入力パッドと最初に接続される前記接続領域と電気的に接続された追加入力パッド及び前記導電パターンに沿って前記出力パッドと最初に連結される前記接続領域と電気的に接続された追加出力パッドをさらに含むことを特徴とする請求項8に記載の半導体素子のテストパターン。
- 前記トランジスタ選択部は、前記複数のトランジスタの各ゲートとそれぞれ電気的に接続された複数の選択パッドを含むことを特徴とする請求項6に記載の半導体素子のテストパターン。
- 前記トランジスタ選択部は、前記複数のトランジスタの各ゲートと電気的に接続されたデコーダ及び前記デコーダに入力信号を伝送するためのデコーダパッドを含むことを特徴とする請求項6に記載の半導体素子のテストパターン。
- 半導体基板上に配置された導電パターンの抵抗を測定して前記導電パターンの電気的な不良の存在可否を検出し、電気的な不良が存在する場合前記電気的な不良の種類を決め、
ソース及びドレイン領域が前記導電パターンの互いに異なる部分に電気的に接続されて前記導電パターンを一定間隔で区切る複数のトランジスタの中から一つ、またはそれらの組合せを選択してターンオンさせて、前記導電パターンでの電流の流れを測定し、
前記選択を繰り返して前記電気的な不良が発生した位置を探しだし、
前記電気的な不良を引き起こす欠陷の大きさを評価することを特徴とする半導体素子のテスト方法。 - 前記導電パターンは、半導体基板上に配置されて、互いに平行しながら等しい間隔で離隔された複数のライン領域及び前記複数のライン領域をジグザグの構造で接続する接続領域を含むことを特徴とする請求項12に記載の半導体素子のテスト方法。
- 前記複数のトランジスタは、それぞれ前記接続領域と対応されるように互いに隣合う前記ライン領域の一端部を電気的にスイッチングさせて、前記互いに隣合うライン領域の中から一つの一端部に電気的に接続されるソース領域及び前記互いに隣合うライン領域の中から残り一つの一端部に電気的に接続されるドレイン領域を有することを特徴とする請求項13に記載の半導体素子のテスト方法。
- 前記導電パターンは、ポリシリコンパターンであることを特徴とする請求項14に記載の半導体素子のテスト方法。
- 前記導電パターンの抵抗が前記導電パターンの固有線抵抗よりも大きい場合は、前記導電パターンは断線されたことと判断することを特徴とする請求項14に記載の半導体素子のテスト方法。
- 前記断線の発生した位置は、前記ライン領域を単位として確認されて、前記断線は前記複数のライン領域の中から一つ、または前記複数のライン領域の中から隣合う少なくとも二つのライン領域に同時に発生したものとして確認されることを特徴とする請求項16に記載の半導体素子のテスト方法。
- 前記断線を引き起こす欠陷の大きさは、nW+(n−1)S≦Do≦nW+(n+1)S(Do:断線を引き起こす欠陷の大きさ、W:ライン領域の幅、S:スペース領域の幅、n:断線が発生したライン領域の数)として示されることを特徴とする請求項16に記載の半導体素子のテスト方法。
- 前記導電パターンの抵抗が前記導電パターンの固有線抵抗よりも小さい場合は、前記導電パターンは短絡されたものとして判断することを特徴とする請求項14に記載の半導体素子のテスト方法。
- 前記短絡を引き起こす欠陷の大きくは、(n−2)W+(n−1)S≦Ds<nW+(n+1)S(Ds:短絡を引き起こす欠陷の大きさ、W:ライン領域の幅、S:スペース領域の幅、n:短絡が発生したライン領域の数)として示されることを特徴とする請求項19に記載の半導体素子のテスト方法。
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