JPH08501150A - 集積回路装置における配線セグメントのテスト構成体及び方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 本発明によれば、テスト相期間中に、複数個のメタル配線セグメントを１個又はそれ以上の蛇行構成体へ連結させる手段が設けられており、従って、それらのメタルセグメントが連続的である場合には、一端において印加される信号は他端において検知される。１個の蛇行チェーンに接続された複数個のメタルセグメントは、単一の供給源及び目的地から連続性に関して同時的にテストさせることが可能である。好適には、２個の蛇行チェーンを互いに物理的に交互に配置した状態で設け、従って、隣接する配線セグメント間の電気的短絡が存在すると、一方の蛇行チェーンヘ印加される信号は、他方の蛇行チェーン上で検知される。

Description

【発明の詳細な説明】 集積回路装置における配線セグメントのテスト構成体及び方法発明の分野 本発明は、集積回路装置に関するものであって、製造期間中において集積回路 装置をテストする方法に関するものである。更に、詳細には、本発明は、プログ ラマブル集積回路装置における配線セグメントのテストに関するものである。発明の背景 集積回路装置が製造される場合に、適切な動作のために、集積回路装置の構成 要素、好適には全ての構成要素をテストすることが必要である。例えば、全ての トランジスタをテストせねばならない。全てのアンチヒューズは、その元の状態 において非導電性であることがテストされねばならない（プログラミング、即ち 書込は、一度だけしかおこなうことができず、且つユーザのために残されねばな らないので、アンチヒューズはプログラムした状態、即ち書き込んだ状態でテス トすることは不可能である。）。メタルラインも全てテストされねばならず、全 長にわたって連続的であるか否か及び隣接するメタルラインに短絡していないか 否かの両方についてテストされねばならない。テストを簡単なものとさせるため には、メタルラインへテストベクトルを印加させる簡単な手段を使用することが 好適である。発明の要約 本発明によれば、メタルセグメントが連続的なものである場 合に一端において印加された信号が他端で検知されるように、テスト期間中に複 数個のメタル配線セグメントを１つ又はそれ以上の蛇行構成体へ連結させる手段 が設けられている。１つの蛇行チェーンに接続された複数個のメタルセグメント は、単一の供給源及び目的地からの連続性に対して同時的にテストすることが可 能である。好適には、２つの蛇行チェーンを設け、それらを物理的に互いにイン ターディジテイテッド、即ち交互に組み合わせており、従って、隣接する配線セ グメント間での電気的短絡があると、一方の蛇行チェーンへ印加された信号は他 方の蛇行チェーン上で検知されることとなる。図面の簡単な説明 図１は本発明の第１実施例を示している。 図２は本発明の第２実施例を示している。 図３は本発明の第３実施例を示している。発明の詳細な説明 図１は、プログラマブルロジック装置における配線セグメントを表す複数個の 配線セグメントＬ１，Ｌ２，Ｌ３を示している。該装置の動作期間中に、これら の配線セグメントは、図１に示していない複数個の他の構成体を互いに、又は他 の配線セグメントへ接続させるために使用することが可能である。本発明によれ ば、例えばＴ１，Ｔ２，Ｔ３などのトランジスタが形成されており、従って、そ れらがターンオンされると、それらは該配線セグメントを連続的なチェーンに連 結させる。テスト信号ＴＥＳＴがトランジスタＴ１，Ｔ２，Ｔ３のゲートへ印加 されると、該トランジスタはターンオンされて、配線セグメントＬ１，Ｌ２，Ｌ ３を相互接続させる。これらの配線セグメントが適切に形成されており且つ何等 連続性を破壊するような欠陥が存在しない場合には、入力Ａにおいて印加される 信号は、出力ＡＸにおいて検知される。本装置の動作期間中、配線セグメントを 相互接続させるトランジスタＴ１，Ｔ２，Ｔ３はターンオフされ、従ってこれら の配線セグメントは、別途、所望により本装置の一部を相互接続させるために使 用することが可能である。テスト用のトランジスタＴ１，Ｔ２，Ｔ３は非常に小 型のトランジスタとすることが可能である。何故ならば、それらのトランジスタ は、連続性のテストのために担持せねばならない電流は小さなものであるに過ぎ ないからである。 好適実施例においては、図２に示した如く接続された２つの蛇行構成体が設け られている。物理的に隣接した複数個のメタルラインは交互に接続されて、二つ の異なる蛇行チェーンＡ及びＢを構成している。交互のメタルラインを二つの異 なるチェーンに電気的に分離させることによって、本構成体は、隣接するメタル ラインの間の短絡と、各メタルラインの連続性との両方に対してテストすること が可能である。この単一又は二重蛇行相互接続方法は、複数個の導電性ラインを テストせねばならない任意の種類のアーキテクチャーをテストするために使用す ることが可能である。 図２においてＴＥＳＴとして示した単一の制御信号は、メタル（金属）ライン の連続性をテストするために全てのトランジ スタを同時的にターンオンさせる。 図３は、本発明の第３実施例を示している。水平方向のラインと垂直方向のラ インの両方のラインが示されている。水平方向ライン及び垂直方向ラインをテス トするために、別個の対の蛇行チェーンを使用する。この構成の場合、水平方向 ラインと垂直方向ラインとの間の交点において発生することのある短絡を検知す ることが可能である。記号Ｈは、水平方向ライン、又は水平方向ラインと相互接 続するトランジスタ又はアンチヒューズを示している。同様に、記号Ｖは、垂直 ライン、又は垂直ラインと相互接続するトランジスタ又はアンチヒューズを示し ている。簡単化のために、全てについて記号を付してあるわけではない。 水平方向ラインと垂直方向ラインとを相互接続させるために、あるプログラマ ブル装置においてはアンチヒューズを使用する。そのような一つのアンチヒュー ズＡＨＶを図３に示してある。アンチヒューズ相互接続を使用する実際の装置に おいては、この様なアンチヒューズは多数の交点において設けられている。この 様なアンチヒューズは、典型的に、該装置の隣接する導電層における導電性ライ ンの間に形成される。例えば、水平方向導電性ラインは主に第１メタル（金属） で形成することが可能であり、且つ垂直方向導電性ラインは主に第２メタル（金 属）で形成することが可能である。第１メタル及び第２メタルの間の単一又は複 数個の層における交点において形成されるアンチヒューズは、１個のアンチヒュ ーズと接触するライン 間に十分な電圧差を印加させることによって、プログラムさせることが可能であ る。図３に示されているような構成体は、水平方向ラインと垂直方向ラインとの 間にアンチヒューズを有する装置をテストするのに特に有用である。製造された 場合にアンチヒューズＡＨＶが非導電性ではない場合には、そのことは、例えば 、ノードＡへ５Ｖの特定のテスト信号を印加させ且つノードＤＸにおいてこの電 圧を検知することによって、検知することが可能である。アンチヒューズＡＨＶ が適切に形成されている場合には、テスト期間中にノードＡとノードＤＸとの間 に何等電流が流れることはない。 上述した説明から、当業者にとっては多数のその他の実施例が自明となるもの である。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ Ｈ０３Ｋ 19/177 0836−5Ｋ 8831−4Ｍ Ｈ０１Ｌ 21/82 Ｔ (72)発明者 トン， バンセント， エル. アメリカ合衆国， カリフォルニア 94555，フリモント， レイク オネイダ ストリート，33250

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．集積回路装置をテストするテスト構成体において、 複数個の導電性配線セグメント（Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３）、 前記配線セグメントを少なくとも１個の蛇行チェーンヘ制御可能に接続させる 手段（Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３，ＴＥＳＴ）、 前記蛇行チェーンの一端へテスト信号を印加する手段（Ａ）、 前記蛇行チェーンの他端において前記テスト信号を検知する手段（ＡＸ）、 を有するテスト構成体。 ２．請求項１において、 前記少なくとも１個の蛇行チェーンが２個の蛇行チェーンを有しており、 前記蛇行チェーンの一端へテスト信号を印加する手段（Ａ）が、前記２個の蛇 行チェーンの各々の一端へテスト信号を印加する手段（Ａ，Ｂ）を有しており、 前記蛇行チェーンの他端において前記テスト信号を検知する手段（ＡＸ）が前 記２個の蛇行チェーンの各々の他端において前記テスト信号を検知する手段（Ａ Ｘ，ＢＸ）を有している、テスト構成体。 ３．請求項２において、 前記２個の蛇行チェーンは、主に水平方向配線セグメントから形成された２個 の水平方向蛇行チェーン、及び主に垂直方向配線セグメントから形成された２個 の垂直方向蛇行チェーンを 有しており、 前記２個の蛇行チェーンの各々の一端へ２個のテスト信号を印加する手段（Ａ ，Ｂ）が各水平方向蛇行チェーンの一端へ２個のテスト信号を印加し且つ各垂直 方向蛇行チェーンの一端へ２個のテスト信号を印加する手段（Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ） を有しており、且つ 前記２個の蛇行チェーンの各々の他端において２個のテスト信号を検知する手 段（ＡＸ，ＢＸ）が、各水平方向蛇行チェーンの他端において２個のテスト信号 を検知し且つ各垂直方向の蛇行チェーンの他端において２個のテスト信号を検知 するための手段（ＡＸ，ＢＸ，ＣＸ，ＤＸ）を有している、 テスト構成体。 ４．集積回路装置における配線セグメントのテスト方法において、 複数個の前記配線セグメントを少なくとも１個の蛇行チェーンへ接続させ、 前記蛇行チェーンの一端へテスト信号を印加し、 前記蛇行チェーンの他端において前記テスト信号を検知する、 上記各ステップを有するテスト方法。 ５．請求項４において、 前記接続ステップが、一方のチェーンを形成する配線セグメントが他方のチェ ーンを形成する配線セグメントに物理的に近接しているように、前記複数個の配 線セグメントを互いに交互 の配置とさせた２個の蛇行チェーンに接続させ、 前記蛇行チェーンの一端へテスト信号を印加するステップが、前記蛇行チェー ンの各々の一端へ２個のテスト信号を印加し、且つ 前記蛇行チェーンの他端において前記テスト信号を検知するステップが、前記 蛇行チェーンの各々の他端においてテスト信号を検知する、 テスト方法。 ６．集積回路装置をテストするテスト構成体において、 複数個の導電性配線セグメント（Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３）、 前記配線セグメントを少なくとも２個の蛇行チェーンへ制御可能に接続させる 手段（Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３，ＴＥＳＴ）、 前記蛇行チェーンの一方の一端へテスト信号を印加する手段（Ａ）、 前記蛇行チェーンの他方の他端において前記テスト信号を検知する手段（ＢＸ ）、 を有するテスト構成体。 ７．請求項６において、前記蛇行チェーンの前記一方は、第１導電層内に形成 されており、且つ前記蛇行チェーンの前記他方は第２導電層内に形成されている ことを特徴とするテスト構成体。 ８．請求項７において、前記蛇行チェーンの少なくとも幾つかの交点間にアン チヒューズが形成されており、前記蛇行チェーンの前記他方の一端において前記 テスト信号を検知する 手段は前記アンチヒューズにおける短絡を検知することが可能であるテスト構成 体。 ９．請求項６において、前記２個の蛇行チェーンは同一の導電層内に形成され ているテスト構成体。