JP6246507B2 - プローブカード及びその製造方法 - Google Patents
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Description
図1〜図4は第1実施形態のプローブカードの製造方法を示す図、図5は第1実施形態のプローブカードを示す図である。本実施形態では、プローブカードの製造方法を説明しながらプローブカードの構造について説明する。
図12〜図13は第2実施形態のプローブカードの製造方法を示す図、図14は第2実施形態のプローブカードを示す図である。第2実施形態では、配線基板から樹脂部が外側に突出し、樹脂部の突出部に接触端子が配置される。
置された状態となる。
図16〜図20は第3実施形態のプローブカードの製造方法を示す図、図21は第3実施形態のプローブカードを示す図である。
図22〜図24は第4実施形態のプローブカードの製造方法を示す図、図25は第4実施形態のプローブカードを示す図である。第4実施形態では、銅箔の凹部内に密着用の金めっき層を形成することなく、ワイヤボンディング法によって凹部に接触端子となる金電極を密着性よく形成する方法について説明する。
図26〜図29は第5実施形態のプローブカードの製造方法を示す図、図30は第5実施形態のプローブカードを示す図である。第5実施形態では、第4実施形態に続いて、銅箔の凹部内に密着用の金めっき層を形成することなく、ワイヤボンディング法によって凹部に接触端子となる金電極を密着性よく形成する別の方法について説明する。
図31〜図32は第6実施形態のプローブカードの製造方法を示す図、図33は第6実施形態のプローブカードを示す図である。第6実施形態では、第4又は第5実施形態の製造方法を使用し、周辺領域よりも樹脂部を外側に突出させ、樹脂部の突出部に接触端子が配置される形態について説明する。
Claims (10)
- 絶縁層と、前記絶縁層の上に形成された配線層とを備えた配線基板と、
前記配線基板の絶縁層及び配線層を厚み方向に貫通して形成された開口部と、
前記開口部の周辺の前記配線基板の上面に配置されると共に、前記開口部の内面から露出して形成され、かつ、前記配線層に接続された接続パッドと、
前記配線基板の開口部に形成されると共に、弾性を有する材料から形成され、かつ、前記接続パッドを埋め込む樹脂部と、
前記樹脂部の下面から突出する柱状の接触部と、前記接触部の上に配置されると共に、前記樹脂部に埋め込まれ、かつ、前記接触部よりも幅広な凸状部とを備えた接触端子であって、先端の接触面が平坦面となった前記接触端子と、
前記樹脂部の中に埋め込まれ、前記接触端子と前記接続パッドとを接続するワイヤと
を有し、
前記接触端子と前記ワイヤとは同じ金属から形成され、前記接触端子の直径は前記ワイヤの直径よりも大きく、
前記接触端子の一方の端側の前記ワイヤとの接続部が前記樹脂部に埋め込まれ、前記接触端子の他方の端側は前記樹脂部から露出していることを特徴とするプローブカード。 - 絶縁層と、前記絶縁層の上に形成された配線層とを備えた配線基板と、
前記配線基板の絶縁層及び配線層を厚み方向に貫通して形成された開口部と、
前記開口部の周辺の前記配線基板の上面に配置されると共に、前記開口部の内面から露出して形成され、かつ、前記配線層に接続された接続パッドと、
前記配線基板の開口部に形成されると共に、弾性を有する材料から形成され、かつ、前記接続パッドを埋め込む樹脂部と、
前記樹脂部の下面から突出する柱状の接触部と、前記接触部の上に配置されると共に、前記樹脂部に埋め込まれ、かつ、前記接触部よりも幅広な凸状部とを備えた接触端子であって、前記接触部と前記凸状部との間のリング状の部分に内側に食い込むくびれ部が形成され、先端の接触面が平坦面となった前記接触端子と、
前記樹脂部の中に埋め込まれ、前記接触端子と前記接続パッドとを接続するワイヤと
を有し、
前記接触端子と前記ワイヤとは同じ金属から形成され、前記接触端子の直径は前記ワイヤの直径よりも大きく、
前記接触端子の一方の端側の前記ワイヤとの接続部が前記樹脂部に埋め込まれ、前記接触端子の他方の端側は前記樹脂部から露出していることを特徴とするプローブカード。 - 前記樹脂部は、前記配線基板の下面から突出していることを特徴とする請求項1又は2に記載のプローブカード。
- 前記ワイヤは、金属ワイヤの外面に樹脂層と金属層とが被覆された同軸型ワイヤであることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載のプローブカード。
- 前記プローブカードを用いて被検査対象の電気測定を行う際に、
前記被検査対象の一つの電極パッドと、隣接する2つの前記接触端子とを接触させて行うことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載のプローブカード。 - 前記プローブカードを用いて被検査対象の電気測定を行う際に、
前記被検査対象の一つの電極パッドと、2本の前記ワイヤが接続された一つの前記接触端子とを接触させて行うことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載のプローブカード。 - 第1金属層の上にめっきレジストをパターニングする工程と、
電解めっきにより、前記第1金属層の露出面に第2金属層を形成する工程と、
前記めっきレジストを除去して、前記第2金属層に凹部を形成する工程とを含む方法により、表面領域に複数の前記凹部を形成した金属基材を用意する工程と、
絶縁層と、
前記絶縁層の上に形成された配線層と、
前記絶縁層及び配線層を厚み方向に貫通して形成された開口部と、
前記開口部の周辺の前記配線基板の上面に配置されると共に、前記開口部の内面から露出して形成され、かつ、前記配線層に接続された接続パッドと
を備えた配線基板を用意する工程と、
前記配線基板の開口部から前記金属基材の複数の凹部が露出するように、前記配線基板を前記金属基材の上に接着する工程と、
ワイヤボンディング法により、前記金属基材の凹部の全体にワイヤの先端部からなる金属電極を埋め込んで接触端子を形成すると共に、前記接触端子と前記配線基板の接続パッドとを前記ワイヤで接続する工程と、
前記配線基板の開口部内に、弾性を有する材料からなる樹脂部を形成して、前記ワイヤを前記樹脂部で埋め込む工程と、
前記金属基材を除去して、前記ワイヤと一体的に繋がり、前記樹脂部の下面から突出する前記接触端子を露出させる工程と
を有し、
前記接触端子と前記ワイヤとは同じ金属から形成され、前記接触端子の直径は前記ワイヤの直径よりも大きく形成されることを特徴とするプローブカードの製造方法。 - 前記接触端子と前記接続パッドとを接続する工程の後であって、前記樹脂部を形成する工程の前に、
前記ワイヤの外面を樹脂層で被覆する工程と、
前記樹脂層の外面を金属層で被覆する工程とを有し、
前記ワイヤが同軸型ワイヤとして形成されることを特徴とする請求項7に記載のプローブカードの製造方法。 - 前記第2金属層を形成する工程は、
前記第2金属層の厚みを前記めっきレジストの厚みより厚く設定して、前記第2金属層の上端部に横方向に突き出る突起部を形成することを含むことを特徴とする請求項7に記載のプローブカードの製造方法。 - 前記金属基材は銅箔であり、前記接触端子及びワイヤは金から形成されることを特徴とする請求7乃至9のいずれか一項に記載のプローブカードの製造方法。
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