CN115616261B - 一种探卡组件及探针台设备 - Google Patents

Abstract

本公开提供了一种探卡组件及探针台设备。所述探卡组件包括：探卡架；探针板卡，安装于所述探卡架；第一姿态调整组件，用于调整所述探针板卡与待测电阻件在竖直方向上的相对位置，所述第一姿态调整组件包括：第一转轴，其安装于所述一对侧壁中一者的外侧；第一调节件，其位于所述探卡架下方，与所述第一转轴枢转连接以使得所述第一调节件可绕所述第一转轴旋转；第二姿态调整组件，用于调整所述探针板卡与待测电阻件在水平方向上的相对位置，所述第二姿态调整组件包括：第二转轴，其安装于所述探卡架，与所述探针板卡枢转连接以使得所述探针板卡可绕第二转轴旋转。

Description

一种探卡组件及探针台设备

技术领域

本公开涉及半导体测试设备技术领域，具体而言，涉及一种探卡组件及探针台设备。

背景技术

对于半导体被动元器件-晶片电阻调阻加工，目前的成熟产线加工方法一般是采用激光修调，通过激光的高能量，是电阻颗粒去电一部分，从而达到电阻颗粒截面积变小，阻值升高到一个高精度范围。在线检测阻值是其中的核心环节。探针作为检测工具，通常要按照不同电阻尺寸和阻值规格进行定制。在已有相对应的探针和电阻的前提下，为了使探测结果准确，稳定，就要求探卡架对探针固定后，能顺畅且准确的调节。探针相对电阻的准确位置（θ角调节）；探针相对电阻左右压力的一致性（俯仰调节）。在以上两点达到要求的同时还要保证一定的结构刚性，以保证重复测量的稳定性。能便捷，顺畅调节两项姿态并保持高刚性是一个好的探卡架的关键指标。

然而，现有技术方案中，整体探卡架由左右两个单独的支壁作为支撑。两个单独支撑装配时较难对齐，分体结构导致整体刚性差，探针运动时会造成较大偏移量，导致测量不稳。此外，现有的姿态调整组件，通过左支臂上安装两个俯仰调节旋钮，右支臂上安装一个调节旋钮，通过三点接触式支撑住俯仰调节板，使之与两个支臂分离，辅助俯仰调节板固定拉簧使俯仰调节板与三个调节旋钮的顶端紧密接触。现有方案存在如下问题：

1）因旋钮顶端与俯仰调节板浮动接触导致刚性不足，导致探卡运动时有横向移动进而导致测量不精确。

2）通过调节三个俯仰调节旋钮可以改变俯仰调节板与两个支臂底端的距离，以达到调节俯仰角度的功能。但是使用上述俯仰姿态方式调节不够顺畅，并且在调整一个点时另外两个点会发生位置移动会导致探针沿水平方向的两端施加于待测电阻件的压力不同，进而导致测量不精确。

3）探针固定板的外轮廓是圆弧，与之相配合安装的俯仰调节板的内轮廓也是圆弧型，前端设置两个θ角调节旋钮，后端三个复位弹簧，通过调节两个旋钮可以改变θ角度。因两个调节旋钮要配合调节一松一紧才能完成调节，θ角复位弹簧不能完全达到顺畅复位的效果导致探针无法一一对应的测量每一个待测电阻件。

发明内容

鉴于上述问题，本公开第一方面提供一种探卡组件，所述探卡组件包括：

探卡架；

探针板卡，安装于所述探卡架；

第一姿态调整组件，用于调整所述探针板卡与所述待测电阻件在竖直方向上的相对位置，所述第一姿态调整组件包括：

第一转轴，其安装于所述探卡架的一侧；

第一调节件，其位于所述探卡架下方，与所述第一转轴枢转连接以使得所述第一调节件可绕所述第一转轴旋转；

第二姿态调整组件，用于调整所述探针板卡与所述待测电阻件在水平方向上的相对位置，所述第二姿态调整组件包括：

第二转轴，其安装于所述探卡架，与所述探针板卡枢转连接以使得所述探针板卡可绕第二转轴旋转。

根据本公开的具体实施方式，所述探卡架包括：

第一基板，其与水平面平行设置，具有位于中央区域的缺口部，所述缺口部的下端面安装固定有探针板卡，所述探针板卡的中央区域固定有两排探针；

固定壁，其与所述第一基板垂直设置；

一对侧壁，所述一对侧壁包括位于第一侧的第一侧壁和位于第二侧的第二侧壁，所述第一侧壁和所述第二侧壁对称设置于所述第一基板的两侧部。

根据本公开的具体实施方式，所述第一基板的位于第一侧的外侧端部比所述第一侧壁的位于第一侧的外侧端靠外侧，并且所述第一基板的位于第二侧的外侧端部比所述第二侧壁的位于第二侧的外侧端靠外侧。

根据本公开的具体实施方式，所述第一调节件的第一侧设有轴安装孔，所述安装孔用于安装所述第一转轴；

所述第一调节件可绕所述第一转轴在竖直平面内沿顺时针方向或沿逆时针方向旋转。

根据本公开的具体实施方式，所述第一姿态调整组件还包括：

水平调整组件，其位于第二侧壁的外侧，用于调整所述第一调节件沿竖直方向上下移动以使得所述第一调节件的前端面和后端面齐平；所述水平调整组件；和/或

锁紧件，用于在第一姿态和第二姿态调整完成时锁定所述第一调节件和所述探针板卡。

根据本公开的具体实施方式，所述水平调整组件包括俯仰调节旋钮、位于俯仰调节旋钮两侧的第一调节压簧和第二调节压簧、以及位于俯仰调节旋钮的下方的调节片。

根据本公开的具体实施方式，所述第二转轴依次贯穿所述第一基板、所述第一调节件和所述探针板卡，并与所述探针板卡可旋转安装；

所述第二转轴的轴心位于所述探针板的与水平方向垂直的中心线上。

根据本公开的具体实施方式，所述第二姿态调整组件还包括：

水平调节旋钮，其与第二侧壁同侧，与所述探针板卡的前端可旋转连接，以用于调节所述探针板卡在水平面内绕所述第二转轴沿顺时针方向或沿逆时针方向旋转。

根据本公开的具体实施方式，

所述第二姿态调整组件还包括：

调节弹簧，其位于所述探针板卡的后侧，用于在进行第二姿态调整时保持所述探针板卡与所述水平调节旋钮接触以使得所述探针板卡在所述第二姿态调整后回到原位。

本公开第二方面提供一种探针台设备，包括：

本公开第一方面所述的探卡组件，所述探卡组件安装有探卡，并用于探测待测电阻件；

固定连接件，用于将所述探卡组件与所述探针台设备可动连接

本公开实施例的上述方案与现有技术相比，至少具有以下有益效果：

本公开的探卡组件，通过改进探卡架、第一姿态调整组件和第二姿态调整组件的结构，能够提高探卡组件的结构刚性，能够提高易安装性；通过枢转调整的方式调整所述探卡与所述待测电阻件在竖直方向上的相对位置，并通过枢转调整第一调节件以使得调整所述探针板卡与所述待测电阻件在水平方向上的相对位置，能够实现更顺畅的姿态调整过程进而提高检测精度。

进一步地，通过探卡架上一体成型有一对侧壁的设置，能够保证装配时的精确对齐，能够提高探卡架的结构刚性进而提高探卡组件的整体刚性，还能够有效避免因探针板卡运动时造成的偏移而导致的测量不稳的问题。

附图说明

结合附图并参考以下具体实施方式，本公开各实施例的上述和其他特征、优点及方面将变得更加明显。贯穿附图中，相同或相似的附图标记表示相同或相似的元素。应当理解附图是示意性的，元件和元素不一定按照比例绘制。在附图中：

图1为根据本公开实施例的探卡组件的一示例的立体结构示意图；

图2为图1的探卡组件的立体结构爆炸图；

图3为图1的探卡组件的探卡架的一示例的立体结构示意图；

图4为图1的探卡组件的另一角度的立体结构示意图；

图5为探针台设备的局部结构示意图。

具体实施方式

下面将参照附图更详细地描述本公开的实施例。虽然附图中显示了本公开的某些实施例，然而应当理解的是，本公开可以通过各种形式来实现，而且不应该被解释为限于这里阐述的实施例，相反提供这些实施例是为了更加透彻和完整地理解本公开。应当理解的是，本公开的附图及实施例仅用于示例性作用，并非用于限制本公开的保护范围。

应当理解，本公开的方法实施方式中记载的各个步骤可以按照不同的顺序执行，和/或并行执行。此外，方法实施方式可以包括附加的步骤和/或省略执行示出的步骤。本公开的范围在此方面不受限制。

为了进一步优化探卡组件的结构刚性，通过改进调整组件的结构及调整探针板卡相对于待测电阻件的两种姿态的调整方式，能够优化探卡组件的各部分的结构刚性，并能够使探卡组件实现高运动刚性，实现上述两种姿态（或两个方向）调节顺畅，进而能够提高测量精度。

需要说明的是，在本公开中，所述两种姿态的一个姿态是指探针板卡与所述待测电阻件在竖直方向上的相对位置（第一姿态，即俯仰姿态），另一个姿态是指探针板卡与所述待测电阻件在水平方向上的相对位置（第二姿态，即探针板卡在水平面上相对于所述待测电阻件的旋转角度θ角的位置姿态）。

本公开的探卡组件，通过改进探卡架、第一姿态调整组件和第二姿态调整组件的结构，能够提高探卡组件的结构刚性，能够提高易安装性；通过枢转调整的方式调整所述探卡与所述待测电阻件在竖直方向上的相对位置，并通过枢转调整第一调节件以使得调整所述探针板卡与所述待测电阻件在水平方向上的相对位置，能够实现更顺畅的姿态调整过程进而提高检测精度。

需要说明的是，在本公开中，以附图页面的左侧为第一侧，以附图页面的右侧为第二侧。以附图页面的上侧为上侧，以附图页面的下侧为下侧。以附图页面的后侧为后侧，以附图页面的前侧为前侧。以附图页面中左右方向（水平方向）为第一方向，而以与第一方向垂直的方向（即上下方向或竖直方向）为第二方向。以附图页面的上下方向为竖直方向，以附图页面的左右方向为水平方向。

下面将参照图1至图4详细说明本公开的探卡组件的可选实施例。

图1为根据本公开实施例的探卡组件的一示例的立体结构示意图。图2为图1的探卡组件的立体结构爆炸图。

参照图1和图2，本公开的探卡组件100包括探卡架10、探针板卡30以及用于调整探针板卡30姿态的第一姿态调整组件50和第二姿态调整组件70。

从图1中可知，探针板卡30安装于所述探卡架10，具体地，安装于所述探卡架10的下方。

需要说明的是，在本实施方式中，所述探针板卡30与所述探卡架10为分体结构，但是不限于此，上述仅作为可选示例进行说明，在其他示例探针板卡30还可以与所述探卡架10为一体结构。此外，所述探卡组件用于探测待测电阻件，例如半导体圆片电阻件等，以确定待测电阻件的电阻调整精确度。

图3为图1的探卡组件的探卡架的一示例的立体结构示意图。

如图2和图3所示，所述探卡架10包括第一基板11、固定壁12、与第一基板11和固定壁12一体成型的一对侧壁。

具体地，所述第一基板11与水平面平行设置，具有位于中央区域的缺口部Q，所述缺口部Q的下端面安装固定有探针板卡30，所述探针板卡30的中央区域固定有两排探针。所述固定壁12与所述第一基板11垂直设置。

进一步地，所述第一基板11还包括安装孔K，该安装孔K为贯穿所述第一基板11的上端面和下端面的贯通孔，用于安装第二姿态调整组件70的第二转轴71。

优选地，所述安装孔K的中心与所述第一基板11的中心o位于一条直线上，使得第二姿态调整组件70在进行水平面上相对位置调整时更精确，进而能够使第二姿态的调整更精确。

从图3中可知，所述一对侧壁包括位于第一侧的第一侧壁13和位于第二侧的第二侧壁14，所述第一侧壁13和所述第二侧壁14对称设置于所述第一基板11的两侧部。

在该示例中，所述第一侧壁13和第二侧壁14呈对称设置，并且所述第一侧壁13和第二侧壁14的结构相同，因此，下面将对第一侧壁13的结构进行具体说明，省略了对第二侧壁14的结构的说明。

具体地，所述第一侧壁13包括主体部131、自主体部131向外侧（即图2中的第一侧）延伸的外翻部133，其中，所述主体部131为自第一基板11向上延伸的壁体，具有第一形状，该第一形状为与竖直平面平行的截面形状，例如为图2所示的梯形。

需要说明的是，对于第一侧壁的上述截面形状，在其他示例中，还可以为三角形，不等边梯形，三角形和四边形组合的形状或其他多边形等等。上述仅作为可选示例进行说明，不能理解成对本发明的限制。

进一步地，第一侧壁13的主体部131的上端面与水平面呈倾斜状态的斜面，具体地，所述第一侧壁13的上端面为后高前低的斜面，即该上端面的后侧端部比该上端面的前侧端部更靠上侧。

在该示例中，第一姿态调整组件50用于调整所述探针板卡30与待测电阻件在竖直方向上的相对位置，所述第一姿态调整组件50包括第一转轴51、与第一转轴枢转连接的第一调节件53，其中，所述第一转轴51安装于所述一对侧壁中一者的外侧，具体为图2所示的第一侧壁13的外侧，更具体为第一侧壁13的外翻部133。

通过探卡架上一体成型有一对侧壁的设置，能够保证装配时的精确对齐，能够提高探卡架的结构刚性进而提高探卡组件的整体刚性，还能够有效避免因探针板卡运动时造成的偏移而导致的测量不稳的问题。

如图2所示，第一调节件53位于所述探卡架10下方，与所述第一转轴51枢转连接以使得所述第一调节件53可绕所述第一转轴51旋转，具体地，所述第一调节件53可绕所述第一转轴51在竖直平面内沿顺时针方向或沿逆时针方向旋转。

更具体地，按照图2所示的方向F（绕着第一转轴51按顺时针方向或按逆时针方向）旋转，其中，绕着第一转轴51按顺时针方向旋转时为第一调节件53相对于水平面向下运动，绕着第一转轴51按逆时针方向旋转时为第一调节件53相对于水平面向上运动，调整第一调节件53相对于水平面的相对位置以调整所述探针板卡30与待测电阻件在竖直方向上的相对位置（即第一姿态，又称为俯仰姿态）。

进一步地，所述第一调节件53的第一侧（即图2所示的左侧）设有轴安装孔，所述轴安装孔用于安装所述第一转轴51。所述第一调节件53下端面还设有台阶部54，所述台阶部54用于安装固定所述探针板卡30。

优选地，所述第一调节件53为铝制件。

具体地，所述第一调节件53设置有与所述第一基板11的安装孔K的位置相对应的安装孔，该安装孔用于安装第二转轴71。

可选地，所述第一调节件53包括凹槽部531，所述凹槽部531位于所述第二侧壁14的外侧，所述凹槽部531用于安装水平调整组件55。

在优选实施方式中，所述第一姿态调整组件50还包括水平调整组件55，水平调整组件55位于第二侧壁14的外侧，水平调整组件55用于调整所述第一调节件53沿竖直方向上下移动以使得所述第一调节件53的前端面和后端面齐平，参见图2和图3。

具体地，所述水平调整组件55包括俯仰调节旋钮551、位于俯仰调节旋钮551两侧的第一调节压簧552和第二调节压簧553、以及位于俯仰调节旋钮551的下方的调节片554，具体可参见图3和图4。

优选地，所述调节片554例如为刚片等硬质金属件，以提高其耐用性进而提高水平调整组件55的耐用性。

具体通过俯仰调节旋钮551对位于其两侧的第一调节压簧52和第二调节压簧53进行调节，以配合第一姿态调整组件50的第一调节件53绕着第一转轴51旋转，来共同调整第一调节件53在竖直平面内相对于待测电阻件的相对位置（竖直方向的位置），能够保证第一调节件53的前端部和后端部位于同一水平面上，并能够保证探针板卡30上的探针在竖直平面内与待测电阻件一一对应，能够保证探针板卡30上的每一个探针施加于待测电阻件的压力相等进而能够进一步有效保证第一姿态调整的顺畅性。

在图2的示例中，所述探卡组件100还包括第一锁紧件80，所述第一锁紧件80的数量为两个，所述第一锁紧件80用于在第一姿态和第二姿态调整完成时锁定所述第一调节件53和所述探针板卡30。

具体地，两个所述锁紧件80对称设置在第一侧壁13的内侧和第二侧壁14的内侧。

进一步地，所述探卡组件100还包括用于锁定探针板卡30的第二锁紧件90，在该示例中，所述第二锁紧件90的数量为四个，均匀布设于所述探针板卡30的四个角部。

从图2中可知，所述探针板卡30包括探针板31和用于安装所述探针板31的安装板33。

需要说明的是，在其他实施方式中，所述安装板33和所述探针板31还可以为一体结构，直接安装于探卡架10。上述仅作为可选示例进行说明，不能理解成对本发明的限制。

接着，将参照图2和图3，具体说明第二姿态调整组件70。

具体地，第二姿态调整组件70用于调整所述探针板卡30与待测电阻件在水平方向上的相对位置。

在该示例中，所述第二姿态调整组件70包括第二转轴71，其安装于所述探卡架10，与所述探针板卡30（具体地与探针板卡30的安装板33）枢转连接以使得所述探针板卡30可绕第二转轴71旋转。

如图3和图4所示，所述第二转轴71安装于第一基板11的安装孔K，具体地，所述第二转轴71依次贯穿所述第一基板11的安装孔K、所述第一调节件53的安装孔和所述探针板卡30的安装板33的安装孔，并与所述探针板卡30的安装板33可旋转安装，以使得所述探针板卡30相对于所述第二转轴71在水平面内沿箭头方向G（沿顺时针方向或逆时针方向）可旋转，能够更有效实现第二姿态的调整，并能够提高调整第二姿态的顺畅性。

具体地，所述第二转轴71的轴心位于所述探针板卡30的与水平方向垂直的中心线z上。

进一步地，所述第二姿态调整组件70还包括水平调节旋钮72，其与第二侧壁14同侧，与所述探针板卡30的前端可旋转连接，以用于调节所述探针板卡30的安装板33（即探针板卡30）在水平面内绕所述第二转轴71沿图3所示的箭头方向G（例如在水平面内顺时针方向或逆时针方向）旋转。

可选地，所述第二姿态调整组件70还包括调节弹簧76，调节弹簧76位于所述探针板卡30的后侧（具体可参见图2），用于在进行第二姿态调整时保持所述探针板卡30与所述水平调节旋钮72接触以使得所述探针板卡30在所述第二姿态调整后回到原位。

进一步地，所述第一基板11的位于第一侧的外侧端部比所述第一侧壁13的位于第一侧的外侧端靠外侧，并且所述第一基板11的位于第二侧的外侧端部比所述第二侧壁14的位于第二侧的外侧端靠外侧。

通过转动第二姿态调整组件的水平调节旋钮，调整所述探针板卡30的安装板33与所述第二转轴71可旋转安装，以使得所述探针板卡30相对于所述第二转轴71在水平面内沿箭头方向G（沿顺时针方向或逆时针方向）可旋转，能够更有效实现第二姿态的调整，并能够提高调整第二姿态的顺畅性。

需要说明的是，上述仅作为可选示例进行说明，不能理解成对本发明的限制。

图5为探针台设备的局部结构示意图。

参照图2和图5，本公开还提供一种探针台设备200，所述探针台设备200包括本公开的探卡组件，所述探卡组件安装有探针板卡30，并用于探测待测电阻件，例如半导体晶片电阻。

进一步地，所述探针台设备还包括固定连接件8，用于将所述探卡组件与所述探针台设备200可动连接，所述探卡组件用于探测待测电阻件。

具体地，所述固定连接件8与探卡架10的固定壁12固定连接，并可跟随所述固定连接件8沿探针台设备200的轨道进行升降运动。

所述探卡组件包括：探卡架；探针板卡，安装于所述探卡架；第一姿态调整组件，用于调整所述探针板卡与所述待测电阻件在竖直方向上的相对位置，第二姿态调整组件，用于调整所述探针板卡与所述待测电阻件在水平方向上的相对位置。

在该示例中，所述探卡架10包括第一基板11、固定壁12、与第一基板11和固定壁12一体成型的一对侧壁，所述一对侧壁包括第一侧壁13和第二侧壁14。

具体地，所述探卡架10包括所述第一基板11与水平面平行设置，具有位于中央区域的缺口部Q，所述缺口部Q的下端面安装固定有探针板卡30，所述探针板卡30的中央区域固定有两排探针。所述固定壁12与所述第一基板11垂直设置。

更具体地，所述第一姿态调整组件50包括：第一转轴51，其安装于所述探卡架10的一侧；第一调节件53，其位于所述探卡架10下方，与所述第一转轴51枢转连接以使得所述第一调节件53可绕所述第一转轴53旋转。

进一步地，第二姿态调整组件70，用于调整所述探针板卡与所述待测电阻件在水平方向上的相对位置，所述第二姿态调整组件70包括：第二转轴71，其安装于所述探卡架10，与所述探针板卡30枢转连接以使得所述探针板卡30可绕第二转轴71旋转。

需要说明的是，在图5的示例中的探针台设备200的探卡组件中各组件的结构与图1的示例中的探卡组件中各组件的结构大致相同，因此省略了相同部分的说明。

尽管已经采用特定于结构特征和/或方法逻辑动作的语言描述了本主题，但是应当理解所附权利要求书中所限定的主题未必局限于上面描述的特定特征或动作。相反，上面所描述的特定特征和动作仅仅是实现权利要求书的示例形式。

Claims (8)

1.一种探卡组件，其用于探测待测电阻件，其特征在于，所述探卡组件包括：

探卡架；

探针板卡，安装于所述探卡架；

第一姿态调整组件，用于调整所述探针板卡与所述待测电阻件在竖直方向上的相对位置，所述第一姿态调整组件包括：

第一转轴，其安装于所述探卡架的一侧；

第一调节件，其位于所述探卡架下方，与所述第一转轴枢转连接以使得所述第一调节件可绕所述第一转轴旋转；

第二姿态调整组件，用于调整所述探针板卡与所述待测电阻件在水平方向上的相对位置，所述第二姿态调整组件包括：

第二转轴，其安装于所述探卡架，与所述探针板卡枢转连接以使得所述探针板卡可绕第二转轴旋转；

所述探卡架包括：

第一基板，其与水平面平行设置，具有位于中央区域的缺口部，所述缺口部的下端面安装固定有所述探针板卡，所述探针板卡的中央区域固定有两排探针；

固定壁，其与所述第一基板垂直设置；

一对侧壁，所述一对侧壁包括位于第一侧的第一侧壁和位于第二侧的第二侧壁，所述第一侧壁和所述第二侧壁对称设置于所述第一基板的两侧部；

所述第二转轴依次贯穿所述第一基板、所述第一调节件和所述探针板卡，并与所述探针板卡可旋转安装；

所述第二转轴的轴心位于所述探针板卡的与水平方向垂直的中心线上。

2.根据权利要求1所述的探卡组件，其特征在于，

所述第一基板的位于第一侧的外侧端部比所述第一侧壁的位于第一侧的外侧端靠外侧，并且所述第一基板的位于第二侧的外侧端部比所述第二侧壁的位于第二侧的外侧端靠外侧。

3.根据权利要求1所述的探卡组件，其特征在于，

所述第一调节件的第一侧设有轴安装孔，所述安装孔用于安装所述第一转轴；

所述第一调节件可绕所述第一转轴在竖直平面内沿顺时针方向或沿逆时针方向旋转。

4.根据权利要求3所述的探卡组件，其特征在于，

所述第一姿态调整组件还包括：

水平调整组件，其位于第二侧壁的外侧，用于调整所述第一调节件沿竖直方向上下移动以使得所述第一调节件的前端面和后端面齐平；所述水平调整组件；和/或

锁紧件，用于在第一姿态和第二姿态调整完成时锁定所述第一调节件和所述探针板卡。

5.根据权利要求4所述的探卡组件，其特征在于，

所述水平调整组件包括俯仰调节旋钮、位于俯仰调节旋钮两侧的第一调节压簧和第二调节压簧、以及位于俯仰调节旋钮的下方的调节片。

6.根据权利要求1所述的探卡组件，其特征在于，

所述第二姿态调整组件还包括：

水平调节旋钮，其与第二侧壁同侧，与所述探针板的前端可旋转连接，以用于调节所述探针板在水平面内绕所述第二转轴沿顺时针方向或沿逆时针方向旋转。

7.根据权利要求1所述的探卡组件，其特征在于，

所述第二姿态调整组件还包括：

调节弹簧，其位于所述探针板卡的后侧，用于在进行第二姿态调整时保持所述探针板卡与所述水平调节旋钮接触以使得所述探针版在所述第二姿态调整后回到原位。

8.一种探针台设备，其特征在于，包括：

权利要求1至7中任一项所述的探卡组件，所述探卡组件安装有探卡，并用于探测待测电阻件；

固定连接件，用于将所述探卡组件与所述探针台设备可动连接。

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