CN102565677A - 一种芯片的测试方法及其测试装置和该装置的使用方法 - Google Patents
一种芯片的测试方法及其测试装置和该装置的使用方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102565677A CN102565677A CN2012100174786A CN201210017478A CN102565677A CN 102565677 A CN102565677 A CN 102565677A CN 2012100174786 A CN2012100174786 A CN 2012100174786A CN 201210017478 A CN201210017478 A CN 201210017478A CN 102565677 A CN102565677 A CN 102565677A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- test
- linear axis
- wafer
- rotation
- brilliant platform
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
Description
Claims (8)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2012100174786A CN102565677A (zh) | 2012-01-19 | 2012-01-19 | 一种芯片的测试方法及其测试装置和该装置的使用方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2012100174786A CN102565677A (zh) | 2012-01-19 | 2012-01-19 | 一种芯片的测试方法及其测试装置和该装置的使用方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN102565677A true CN102565677A (zh) | 2012-07-11 |
Family
ID=46411583
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN2012100174786A Pending CN102565677A (zh) | 2012-01-19 | 2012-01-19 | 一种芯片的测试方法及其测试装置和该装置的使用方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN102565677A (zh) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103149524A (zh) * | 2013-02-25 | 2013-06-12 | 东莞市福地电子材料有限公司 | 一种倒装led芯片测试机与测试方法 |
CN103245901A (zh) * | 2013-04-26 | 2013-08-14 | 东莞市福地电子材料有限公司 | 一种倒装led芯片测试机和测试方法 |
CN103969026A (zh) * | 2013-02-04 | 2014-08-06 | 京元电子股份有限公司 | 具旋转光源机构的测试机及使用该测试机的动态测试设备与方法 |
CN104502828A (zh) * | 2014-12-31 | 2015-04-08 | 华中科技大学 | 一种倒装led芯片在线检测方法 |
CN105182209A (zh) * | 2015-09-23 | 2015-12-23 | 深圳市星火辉煌系统工程有限公司 | 微型显示芯片的生产检测系统及方法 |
CN108535621A (zh) * | 2018-04-11 | 2018-09-14 | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 | 分立器件芯片的晶圆测试方法 |
CN115616261A (zh) * | 2022-12-15 | 2023-01-17 | 长春光华微电子设备工程中心有限公司 | 一种探卡组件及探针台设备 |
CN115610958A (zh) * | 2022-12-20 | 2023-01-17 | 天津伍嘉联创科技发展股份有限公司 | 一种双出晶振供料装置 |
CN117316262A (zh) * | 2023-11-30 | 2023-12-29 | 深圳市领德创科技有限公司 | 一种自动flash芯片检测机台 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5585738A (en) * | 1994-03-31 | 1996-12-17 | Tokyo Electron Limited | Probe system having vertical height detection and double focal image pickup coinciding with probe contact in height adjustment |
CN1790042A (zh) * | 2005-12-05 | 2006-06-21 | 深圳市矽电半导体设备有限公司 | 一种半导体晶圆片多路测试方法和多路测试探针台 |
US7405584B2 (en) * | 2006-05-16 | 2008-07-29 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Prober and probe contact method |
CN101996856A (zh) * | 2009-08-26 | 2011-03-30 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 晶圆可接受测试的实时监控方法 |
CN201859857U (zh) * | 2010-10-21 | 2011-06-08 | 李明 | 采用led背光板和平行通光筒的晶圆级图像传感器测试装置 |
-
2012
- 2012-01-19 CN CN2012100174786A patent/CN102565677A/zh active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5585738A (en) * | 1994-03-31 | 1996-12-17 | Tokyo Electron Limited | Probe system having vertical height detection and double focal image pickup coinciding with probe contact in height adjustment |
CN1790042A (zh) * | 2005-12-05 | 2006-06-21 | 深圳市矽电半导体设备有限公司 | 一种半导体晶圆片多路测试方法和多路测试探针台 |
US7405584B2 (en) * | 2006-05-16 | 2008-07-29 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Prober and probe contact method |
CN101996856A (zh) * | 2009-08-26 | 2011-03-30 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 晶圆可接受测试的实时监控方法 |
CN201859857U (zh) * | 2010-10-21 | 2011-06-08 | 李明 | 采用led背光板和平行通光筒的晶圆级图像传感器测试装置 |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103969026A (zh) * | 2013-02-04 | 2014-08-06 | 京元电子股份有限公司 | 具旋转光源机构的测试机及使用该测试机的动态测试设备与方法 |
CN103969026B (zh) * | 2013-02-04 | 2016-09-21 | 京元电子股份有限公司 | 具旋转光源机构的测试设备 |
CN103149524A (zh) * | 2013-02-25 | 2013-06-12 | 东莞市福地电子材料有限公司 | 一种倒装led芯片测试机与测试方法 |
CN103245901A (zh) * | 2013-04-26 | 2013-08-14 | 东莞市福地电子材料有限公司 | 一种倒装led芯片测试机和测试方法 |
CN104502828A (zh) * | 2014-12-31 | 2015-04-08 | 华中科技大学 | 一种倒装led芯片在线检测方法 |
CN105182209A (zh) * | 2015-09-23 | 2015-12-23 | 深圳市星火辉煌系统工程有限公司 | 微型显示芯片的生产检测系统及方法 |
CN108535621A (zh) * | 2018-04-11 | 2018-09-14 | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 | 分立器件芯片的晶圆测试方法 |
CN115616261A (zh) * | 2022-12-15 | 2023-01-17 | 长春光华微电子设备工程中心有限公司 | 一种探卡组件及探针台设备 |
CN115616261B (zh) * | 2022-12-15 | 2023-03-10 | 长春光华微电子设备工程中心有限公司 | 一种探卡组件及探针台设备 |
CN115610958A (zh) * | 2022-12-20 | 2023-01-17 | 天津伍嘉联创科技发展股份有限公司 | 一种双出晶振供料装置 |
CN117316262A (zh) * | 2023-11-30 | 2023-12-29 | 深圳市领德创科技有限公司 | 一种自动flash芯片检测机台 |
CN117316262B (zh) * | 2023-11-30 | 2024-04-09 | 深圳市领德创科技有限公司 | 一种自动flash芯片检测机台 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN102565677A (zh) | 一种芯片的测试方法及其测试装置和该装置的使用方法 | |
CN105486995B (zh) | 全自动探针台图像定位装置及视觉对准方法 | |
CN107514983B (zh) | 一种基于三维测量技术测量物体表面积的系统及方法 | |
CN105530510B (zh) | 一种摄像头水平测试机 | |
CN103373476B (zh) | 飞机机翼壁板形面检测加工的柔性工装及检测加工方法 | |
CN107394103A (zh) | 一种电芯注液自动化生产设备 | |
CN108326545A (zh) | 一种遥控器产品组装与测试线体及组装与测试方法 | |
CN207942175U (zh) | 一种遥控器产品组装与测试线体 | |
CN107179460A (zh) | 一种电动汽车无线充电系统测试位置调节装置 | |
CN206237268U (zh) | 平面电机永磁体阵列拼接中防止永磁体极性错误的装置 | |
CN105910553A (zh) | 一种检测平面的检测仪及其检测方法 | |
CN103575996B (zh) | 天线检测装置 | |
CN205785105U (zh) | 一种检测平面的检测仪 | |
CN205748309U (zh) | 一种pcb板平整度检测装置 | |
CN207779931U (zh) | 一种基板半板检测装置 | |
CN205067041U (zh) | 一种用于仪器振动测试的循环输送定位装置 | |
CN107422270A (zh) | 电芯扫码内阻测试机构及电芯注液自动化生产设备 | |
CN202471910U (zh) | 一种姿态感应传感器芯片的测试台 | |
CN107329078A (zh) | 指纹识别芯片测试设备 | |
CN104502828B (zh) | 一种倒装led芯片在线检测方法 | |
CN106370656B (zh) | 自动化显微取像设备及取像方法 | |
CN105571519A (zh) | 三维扫描仪的点云拼接的辅助装置及其拼接方法 | |
CN204090327U (zh) | 一种贴片机的传动导轨 | |
CN102595800A (zh) | 多基板的高精度的同步贴板的视觉定位装置及其方法 | |
CN105627958A (zh) | 双龙门检测机台 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
DD01 | Delivery of document by public notice |
Addressee: Liu Qiang Document name: the First Notification of an Office Action |
|
CB02 | Change of applicant information | ||
CB02 | Change of applicant information |
Address after: 314100 Zhejiang County of Jiashan province to the Valley Park two street Luoxing Road No. 33 Applicant after: Jiaxing Jingyan Intelligent Equipment Technology Co., Ltd. Address before: Room 2188, building 3, 1D 1E 314100, Zhejiang County of Jiashan Province town of Jiashan Dayun Road Applicant before: Jiaxing Jingyan Intelligent Equipment Technology Co., Ltd. |
|
C02 | Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001) | ||
WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20120711 |