CN104049114A - 电子器件量测治具及量测装置 - Google Patents
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Abstract
一种电子器件量测治具,用于对电子器件进行电性测量,该电子器件具有多个电连接端子,该量测治具包括器件固定座、探针固定座、多个第一探针及多个第二探针。该器件固定座具有收容待测量的电子器件的器件收容槽。该探针固定座固定于该器件固定座一侧。多个第一探针固定于该探针固定座,且一端用于与多个电连接端子电连接。该多个第二探针固定于探针固定座,第二探针包括相对的第一和第二电连接针部,多个第一电连接针部分别电连接于多个第一探针,该第二电连接针部用于与电性测量装置电连接。本发明还涉及一种采用上述治具的量测装置。
Description
技术领域
本发明涉及电子器件量测装置,尤其涉及一种用于测量电子器件电性能的量测装置及电子器件量测方法。
背景技术
电子器件如用于相机中的致动器通常需要进行多项电性能测试,如行程测试(stroke testing)、动态倾角测试(dynamic tilt testing)及三姿态测试(3 posture testing)等。现有的每一个电性能测试工站均包括一插座式固定模块、一组探针及一测试电路板,待测的致动器固定于该固定模块内,该组探针与该致动器上的金手指相接触以电连接,该组探针通过导线与测试电路板实现电连接,从而保证电性能测试的顺利进行。然而,现有的多项电性能测试在结束其中一项电性能测试后,需要将致动器从该工站对应的固定模块内拆下,然后再安装到下一工站的固定模块内。然而,多次的安装与拆卸有可能会导致电子器件的损伤,如致动器的作动不良、表面刮伤等,从而降低良率。
发明内容
有临于此,提供一种检测良率较高的电子器件量测治具及量测装置实为必要。
一种电子器件量测治具,用于对电子器件进行电性测量,该电子器件具有多个电连接端子,该量测治具包括器件固定座、探针固定座、多个第一探针及多个第二探针。该器件固定座具有器件收容槽,用于收容待测量的电子器件。该探针固定座固定于该器件固定座一侧。该多个第一探针固定于该探针固定座,且该多个第一探针的一端用于与该电子器件的多个电连接端子分别电连接。该多个第二探针固定于该探针固定座,每一第二探针包括相对的第一电连接针部和第二电连接针部,该多个第二探针的第一电连接针部分别电连接于该多个第一探针,该第二电连接针部从该探针固定座露出,用于与电性测量装置电连接。
一种电子器件量测装置,用于对电子器件进行电性测量,该电子器件具有多个电连接端子,该量测装置包括如上所述的量测治具、多个第三探针及检测电路板。该多个第二探针的第二电连接针部分别与该多个第三探针电接触。该检测电路板上具有多个电连接端子,该检测电路板的多个电连接端子通过多个导线分别与该多个第三探针电连接。
相对于现有技术,本实施例的量测治具在对电子器件进行多项电性能测试时,可通过第二探针直接与电性能测试装置电连接,无需对电子器件进行多次的安装与拆卸,从而防止电子器件内部电子组件的损伤以及电子器件的作动不良、表面刮伤等,提高良率。
附图说明
图1是本发明第一实施例提供的量测治具与插座式致动器配合固定后的立体示意图。
图2是将图1中的量测治具与插座式致动器分离后的立体示意图。
图3是图1中的量测治具另一视角的立体示意图。
图4是图1中沿IV-IV方向的剖面示意图。
图5是本发明第二实施例提供的量测装置的立体示意图。
图6是图5中V部分的放大示意图。
图7是将图1中的量测治具安装于图5中的量测装置后的组装示意图。
图8是图7量测装置中的旋转支架与量测装置的另一视角的立体示意图。
图9是图7中沿IX-IX方向的剖面示意图。
主要元件符号说明
量测治具 | 10 |
插座式致动器 | 11 |
器件固定座 | 12 |
盖体 | 14 |
探针固定座 | 16 |
第一探针 | 18 |
第二探针 | 20 |
金手指 | 112 |
第一表面 | 121 |
第二表面 | 122 |
第一侧面 | 123 |
第二侧面 | 124 |
第三侧面 | 125 |
第四侧面 | 126 |
致动器收容槽 | 127 |
卡槽 | 128 |
卡钩 | 148 |
探针连接槽 | 129 |
底面 | 1291 |
连通孔 | 1292 |
固定槽 | 130 |
枢接固定座 | 131 |
第一枢接块 | 132 |
第一枢接孔 | 133 |
枢轴 | 134 |
第一表面 | 141 |
第二表面 | 142 |
第一侧面 | 143 |
第二侧面 | 144 |
观察操作孔 | 145 |
内腔 | 113 |
第二枢接块 | 146 |
第二枢接孔 | 147 |
连接部 | 161 |
第一探针固定部 | 162 |
第二探针固定部 | 163 |
探针固定板 | 164 |
探针固定孔 | 165 |
通孔 | 166 |
第一电连接针部 | 201 |
第二电连接针部 | 202 |
支撑端 | 203 |
连接端 | 204 |
三姿态测试装置 | 100 |
工作台 | 30 |
固定支架 | 40 |
旋转支架 | 50 |
激光位移计 | 60 |
马达固定架 | 70 |
马达 | 80 |
支撑表面 | 302 |
竖直固定板 | 501 |
水平固定板 | 502 |
旋转轴部 | 503 |
第一表面 | 504 |
第二表面 | 505 |
通孔 | 506 |
第三探针 | 90 |
探针安装部 | 92 |
检测电路板 | 94 |
第三探针固定部 | 922 |
定位螺丝 | 924 |
固定部 | 9222 |
安装部 | 9224 |
电连接端子 | 942 |
连接槽 | 507 |
导线 | 508 |
如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本发明。
具体实施方式
请参阅图1至图4,本发明第一实施例提供一种电子器件量测治具10,用于辅助量测电子器件的电性能,本实施例中,该电子器件为插座式(socket type)致动器11。该量测治具10包括器件固定座12、盖体14、探针固定座16、多个第一探针18及多个第二探针20。本实施例中,该插座式致动器11为长方体状,其一侧面上设置有多个金手指112,该插座式致动器11的内部功能模块通过该多个金手指112与外界电路实现电连接。该多个金手指112也可以为其它形式的电连接端子,并不以本实施例为限。
本实施例中,该器件固定座12为长方体状,其具有相对的第一表面121和第二表面122,以及连接第一表面121和第二表面122并首尾连接的第一侧面123、第二侧面124、第三侧面125及第四侧面126。该第一表面121开设有致动器收容槽127,用于收容该插座式致动器11,该致动器收容槽127呈与该插座式致动器11形状相似的长方体状,且略大于该插座式致动器11,以使该插座式致动器11可以容置其中。该第一侧面123开设有一卡槽128,用于与盖体14的卡钩148(如图2所示的卡钩148)相配合,以将盖体14卡固于所述器件固定座12。
该第二侧面124开设有探针连接槽129,该探针连接槽129由该第二侧面124向致动器收容槽127的方向开设,本实施例中,该探针连接槽129贯穿该第一表面121。该探针连接槽129远离该第二侧面124的底面1291开设有与该致动器收容槽127相连通的连通孔1292。
该第二表面122邻近于该第二侧面124的位置开设有固定槽130,该固定槽130贯穿该第一侧面123、第二侧面124和第三侧面125从而形成台阶状,该固定槽130用于固定该探针固定座16。
该量测治具10进一步包括一枢接固定座131,该枢接固定座131连接于该器件固定座12的第三侧面125,该枢接固定座131包括两个凸出于该第一表面121的第一枢接块132,该两个第一枢接块132分别开设一第一枢接孔133,且两个第一枢接孔133同轴,一枢轴134的两端分别收容于该两个第一枢接块132的第一枢接孔133内。
该盖体14为长方形板状,该盖体14用于覆盖该器件固定座12的第一表面121,并与待检测的插座式致动器11相接触,以将该插座式致动器11固定于致动器收容槽127。该盖体14具有相对的第一表面141和第二表面142,及连接第一表面141和第二表面142并分别与该第一表面141相对两边相连的第一侧面143和第二侧面144。该盖体14内开设有贯穿该第一表面141和第二表面142的观察操作孔145,用于露出部分该插座式致动器11以便于该插座式致动器11进行观察和操作,本实施例中,该观察操作孔145为圆柱状且与插座式致动器11的圆柱形内腔113同轴。该盖体14的第一侧面143设置有两个第二枢接块146,该两个第二枢接块146分别开设有一第二枢接孔147,且两个第二枢接孔147同轴,该两个第二枢接孔147分别套设于该枢轴134且位于该两个第一枢接块132之间,该两个第二枢接块146可以以该枢轴134为轴转动,从而使该盖体14枢接于该器件固定座12上。该盖体14的第二侧面144设置一卡钩148,用于与器件固定座12上的卡槽128相配合,以将盖体14卡合固定该器件固定座12上。使用时,盖体14以该枢轴134为轴转动,使致动器收容槽127完全露出,并将插座式致动器11安装于其内,然后旋转盖体14将该卡钩148卡合固定于该器件固定座12上的卡槽128内,从而将盖体14卡固定于该器件固定座12上。
该探针固定座16包括连接部161、第一探针固定部162及第二探针固定部163。本实施例中,该连接部161为长方形板状,其一端收容于器件固定座12的固定槽130内并与固定槽130的内表面相接触,该连接部161通过螺栓锁固于该器件固定座12。
该第一探针固定部162固定于该连接部161邻近于该盖体14的表面且部分延伸至该探针连接槽129内,从而整体呈“T”字形,该探针连接槽129沿垂直于该器件固定座12的第二侧面124的方向延伸,且贯穿该第一探针固定部162的相对两个侧面。
该第二探针固定部163设置于该连接部161与该第一探针固定部162相同的一侧,且位于该第一探针固定部162远离该器件固定座12的一侧,该第二探针固定部163包括一探针固定板164,该探针固定板164与该连接部161之间具有空隙,该探针固定板164具有多个探针固定孔165,该连接部161相对于该探针固定板164的位置具有通孔166。
该多个第一探针18部分收容并固定于该探针连接槽129内,该多个第一探针18的一端伸入该连通孔1292内并与该插座式致动器11的多个金手指112分别电连接,相对的另一端收容于该探针连接槽129内。该多个第一探针18的延伸方向平行于该器件固定座12的第一表面121。
每一第二探针20包括相连的第一电连接针部201和第二电连接针部202,该第一电连接针部201与该探针固定孔165具有相同横截面,该第一电连接针部201分别穿过该多个探针固定孔165并凸出于该探针固定板164远离该连接部161的一侧表面,该多个第一电连接针部201通过多个导线分别与该多个第一探针18远离该致动器收容槽127的一端电连接。该第二电连接针部202包括同轴设置且相连的支撑端203和连接端204,该支撑端203与该第一电连接针部201相邻,该连接端204远离该第一电连接针部201,且该连接端204和第一电连接针部201的横截面小于该支撑端203,本实施例中,该第一电连接针部201的横截面小于该连接端204。该多个第二探针20的第二电连接针部202收容于由该探针固定板164与该连接部161之间的空隙及该通孔166所形成的空间内。该多个第二探针20的延伸方向垂直于该器件固定座12的第一表面121。
在对该插座式致动器11进行电性能测试时,将该插座式致动器11安装于量测治具10内,然后将量测治具10与插座式致动器11整体设置于其中一个电性能测试工站,使量测治具10的第二电连接针部202与该电性能测试工站的测量装置电连接后进行测试,测试完毕后,将量测治具10与插座式致动器11整体从测量装置中拆卸,再设置于另一电性能测试工站进行测试,安装方法类似。如此则在对插座式致动器11进行多项电性能测试时,无需对插座式致动器11进行多次的安装与拆卸,从而防止致动器内部电子组件的损伤以及致动器的作动不良、表面刮伤等,提高良率。
请参阅图5至9,本发明第二实施例提供一种利用第一实施例的量测治具10的电性能测试装置。本实施例中,该电性能测试装置为三姿态测试装置100,用于测试在相同驱动电流情况下,插座式致动器11的光轴分别在竖直向上、竖直向下及水平方向三种姿态时,该插座式致动器11的驱动部件沿其光轴方向的移动量差。该三姿态测试装置100包括工作台30、固定支架40、旋转支架50、激光位移计60、马达固定架70及马达80。该工作台30具有支撑表面302,该固定支架40及马达固定架70均固定于该支撑表面302且相邻设置,该旋转支架50安装于该固定支架40,该马达80安装于该马达固定架70,该马达80与该旋转支架50相连,用于驱动该旋转支架50旋转。
该固定支架40为长条形板状,其沿垂直于该支撑表面302的方向延伸。该旋转支架50包括竖直固定板501、水平固定板502及一旋转轴部503。该旋转轴部503为圆柱状,其一端垂直固定于该竖直固定板501的一侧,该水平固定板502固定于该竖直固定板501与该旋转轴部503相背离的一侧,且垂直于该竖直固定板501。该旋转轴部503可旋转地固定于该固定支架40且轴向垂直于该固定支架40,该旋转轴部503相对于该竖直固定板501的另一端与该马达80连接且与马达80的旋转轴同轴,以使马达80带动旋转轴部503旋转,从而带动竖直固定板501及水平固定板502以该旋转轴部503为轴旋转。该水平固定板502具有相对的第一表面504和第二表面505,该水平固定板502上开设有一长条形通孔506,该通孔506贯穿该第一表面504和第二表面505。
该激光位移计60安装于该竖直固定板501,该激光位移60与该水平固定板502的第一表面504相邻,用于检测插座式致动器11在其光轴方向上的移动量。
该三姿态测试装置100进一步包括多个第三探针90、探针安装部92及检测电路板94。该多个探针安装部92包括第三探针固定部922及多个定位螺丝924,该第三探针固定部922包括相连的固定部9222和安装部9224,该固定部9222设置于该水平固定板502邻近于该通孔506的第二表面505一侧并通过该多个定位螺丝924固定于该水平固定板502的第二表面505一侧,该安装部9224设置于该通孔506内,且邻近于该水平固定板502的第一表面504的一端与该第一表面504平齐。
该检测电路板94固定于该水平固定板502的第二表面505上,用于与待测插座式致动器11电连接并提供电流,以使插座式致动器11的驱动部件在该电流的驱动下沿其光轴方向移动,从而检测该插座式致动器11分别在三姿态状况下的移动量。该检测电路板94包括多个电连接端子942,用于与该多个第三探针90电连接。
该多个第三探针90穿设于该安装部9224,每一第三探针90的一端透出该安装部9224邻近于该第一表面504的一侧,相对的另一端透出该安装部9224邻近于该第二表面505的一侧,每一第三探针90邻近于该第一表面504的端部具有一连接槽507,该多个第三探针90邻近于该第二表面505的端部通过多个导线508分别与该检测电路板94的多个电连接端子942相连。
在使用该三姿态测试装置100时,该量测治具10的设置并固定于该水平固定板502的第一表面504,该多个第二探针20的连接端204分别与该第三探针90的多个邻近于该第一表面504的端部相邻并收容于该连接槽507内,且该多个连接端204与对应的第三探针90相接触,从而使该多个第二探针20分别与对应的第三探针90电连接,进而使该插座式致动器11依次通过第一探针18、第二探针20及第三探针90电连接于该检测电路板94。该量测治具10与该水平固定板502可以通过螺丝或卡扣等方式进行固定。
利用该三姿态测试装置100对该插座式致动器11进行三姿态检测的方法如下:
首先,将该插座式致动器11装设于该致动器收容槽127内,使该插座式致动器11的多个金手指112分别与多个第一探针18电连接,并旋转盖体14,使盖体14的卡钩148卡合固定于该卡槽128内,使盖体14将该插座式致动器11固定。
其次,将该量测治具10固定于该三姿态测试装置100的水平固定板502上,使该多个第二探针20的连接端204分别收容于该第三探针90的连接槽507内并与该第三探针90电接触,并使该盖体14的观察操作孔145与该激光位移计60相对。
再次,启动该马达80使该旋转支架50旋转,使该水平固定板502旋转至水平方向,并使水平固定板502位于该激光位移计60的下方,并使该检测电路板94向该插座式致动器11提供一预定大小的电流,使该插座式致动器11的驱动部件沿其光轴移动,并由该激光位移计60测量该插座式致动器11的移动量并作记录。
进一步地,启动马达80分别使该水平固定板502旋转至竖直方向,及水平方向并位于该激光位移计60的上方,并分别由使该检测电路板94向该插座式致动器11提供相同大小的电流,且该激光位移计60测量该插座式致动器11的移动量并作记录。
最后,比较该插座式致动器11在上述三种姿态下沿其光轴方向的移动量差,达到检测的目的。
本实施例仅描述了该量测治具10在三姿态测试装置中的应用,可以理解的是,该量测治具10同样可应用于其它电性能测试中,如行程测试、动态倾角测试等,只要其它电性能测试装置中具有与该第二探针20相配合的第三探针90即可。
相对于现有技术,本实施例中的量测治具10可通过第二探针20直接与电性能测试装置电连接,无需将插座式致动器11拆下即可进行多项电性能测试,从而可以防止由于多次的安装与拆卸导致的电子器件的损伤,从而提高良率。
另外,本领域技术人员还可于本发明精神内做其它变化,以用于本发明等设计,只要其不偏离本发明的技术效果均可。这些依据本发明精神所做的变化,都应包含在本发明所要求保护的范围之内。
Claims (12)
1.一种电子器件量测治具,用于对电子器件进行电性测量,该电子器件具有多个电连接端子,该量测治具包括:
器件固定座,具有器件收容槽,用于收容待测量的电子器件;
探针固定座,固定于该器件固定座一侧;
多个第一探针,固定于该探针固定座,且该多个第一探针的一端用于与该电子器件的多个电连接端子分别电连接;及
多个第二探针,固定于该探针固定座,每一第二探针包括相对的第一电连接针部和第二电连接针部,该多个第二探针的第一电连接针部分别电连接于该多个第一探针,该第二电连接针部从该探针固定座露出,用于与电性测量装置电连接。
2.如权利要求1所述的量测治具,其特征在于,该器件固定座包括相对的第一表面和第二表面,该器件收容槽开设于该器件固定座的第一表面,该量测治具进一步包括盖体,用于覆盖该器件固定座的第一表面并压合固定该电子器件,该盖体相对于该器件收容槽的位置开设有一观察操作孔,用于露出部分该电子器件以便于观察和操作。
3.如权利要求2所述的量测治具,其特征在于,该盖体的一侧与该器件固定座相枢接,相对的另一侧设置有一卡钩,该器件固定座的一侧设置有一卡槽,该卡钩与该卡槽相配合以将盖体卡合固定于该器件固定座。
4.如权利要求2所述的量测治具,其特征在于,该器件固定座进一步包括连接该第一表面和第二表面的侧面,该侧面开设有连通该器件收容槽的连通孔,该第一探针的一端穿过该连通孔以电连接该器件的电连接端子,该第一探针相对的另一端通过导线与第二探针的第一电连接针部电连接。
5.如权利要求4所述的量测治具,其特征在于,该第一探针的延伸方向平行于该器件固定座的第一表面,该第二探针的延伸方向垂直于该器件固定座的第一表面。
6.如权利要求5所述的量测治具,其特征在于,该探针固定座包括第一探针固定部和第二探针固定部,该第一探针固定部固定于该器件固定座的一侧,该第二探针固定部位于该器件固定座的同一侧且位于该第一探针固定部远离该器件固定座的一侧,该第一探针固定部与该第二探针固定部通过一连接部相互固定,该多个第一探针固定于该第一探针固定部上,该多个第二探针固定于该第二探针固定部上。
7.如权利要求6所述的量测治具,其特征在于,该连接部为板状,其一侧固定于该器件固定座且邻近于该器件固定座的第二表面,该连接部平行于该第一表面,该第一探针固定部和第二探针固定部均固定于该连接部远离该第二表面的一侧,该第二探针固定部包括一探针固定板与该连接部相对,该探针固定板上设置有多个探针固定孔,该连接部相对于该探针固定板的位置开设有通孔,该多个第二探针分别穿过该多个探针固定孔,且该第二探针的第一电连接针部凸出于该探针固定板远离该连接部的一侧,记第二电连接针部收容于该通孔。
8.如权利要求7所述的量测治具,其特征在于,该第二电连接针部包括与该第一电连接针部相连的支撑端及与支撑端相连且远离该第一电连接针部的连接端,该第一电连接针部、支撑端及连接端同轴且该第一电连接针部和连接端的横截面均小于该支撑端的横截面。
9.一种电子器件量测装置,用于对电子器件进行电性测量,该电子器件具有多个电连接端子,该量测装置包括:
如权利要求1至8任一项所述的量测治具;
多个第三探针,该多个第二探针的第二电连接针部分别与该多个第三探针电接触;及
检测电路板,其上具有多个电连接端子,该检测电路板的多个电连接端子通过多个导线分别与该多个第三探针电连接。
10.如权利要求9所述的量测装置,其特征在于,该量测装置进一步包括固定支架、旋转支架、马达及激光位移计,该旋转支架包括相互垂直且连接的水平固定板和竖直固定板,该竖直固定板通过一旋转轴部可旋转地固定于该固定支架,该旋转轴部水平设置,该马达的旋转轴与该旋转轴部相连且同轴设置以带动该旋转支架以该旋转轴部为轴旋转,该激光位移计固定于该竖直固定板且与该水平固定板相对,该多个第三探针和检测电路板设置于该水平固定板,该量测治具安装于该水平固定板相邻于该激光位移计的一侧,且该器件固定座的器件收容槽与该激光位移计相对设置。
11.如权利要求10所述的量测装置,其特征在于,该水平固定板开设有一通孔,该量测装置进一步包括探针安装部,该探针安装部固定于该通孔内,该多个第三探针贯穿该探针安装部且相对两端分别相邻于该水平固定板邻近于该激光位移计的一侧和远离该激光位移计的一侧,该第二连接针部电连接于该第三探针邻近于该激光位移计的一端,该检测电路板固定于该水平固定板远离该激光位移计的一侧。
12.如权利要求11所述的量测装置,其特征在于,该第二电连接针部包括与该第一电连接针部相连的支撑端及与支撑端相连且远离该第一电连接针部的连接端,该第一电连接针部、支撑端及连接端同轴且该第一电连接针部和连接端的横截面均小于该支撑端的横截面,该多个第三探针邻近于该激光位移计的端部分别具有连接槽,该多个第二电连接针部的连接端分别收容于该第三探针的连接槽内并与该第三探针电接触。
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CN104049114A true CN104049114A (zh) | 2014-09-17 |
Family
ID=51502214
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201310081800.6A Pending CN104049114A (zh) | 2013-03-14 | 2013-03-14 | 电子器件量测治具及量测装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN104049114A (zh) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105092910A (zh) * | 2015-07-13 | 2015-11-25 | 中国科学院物理研究所 | 用于电输运测量的电连接装置 |
US11435175B2 (en) | 2019-04-16 | 2022-09-06 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Displacement detector, surface shape measuring apparatus, and roundness measuring apparatus |
CN115616261A (zh) * | 2022-12-15 | 2023-01-17 | 长春光华微电子设备工程中心有限公司 | 一种探卡组件及探针台设备 |
-
2013
- 2013-03-14 CN CN201310081800.6A patent/CN104049114A/zh active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US11435175B2 (en) | 2019-04-16 | 2022-09-06 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Displacement detector, surface shape measuring apparatus, and roundness measuring apparatus |
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C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C02 | Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001) | ||
WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
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