JP2008239449A - 固体材料供給装置、固体材料処理装置および固体材料供給方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】固体材料21を貯蔵する材料貯蔵容器5は、固体材料21が排出される開口である容器材料排出口6bを閉鎖する閉鎖位置と、容器材料排出口6bを開放する開放位置とに変位可能に形成される開閉部材7を有する。また開閉部材7は、開閉部材7が閉鎖位置から開放位置に変位するとともに、材料投入バルブ2が有する投入バルブ筐体3に形成される投入バルブ開口部3aに挿通するように構成される。
【選択図】図4
Description
Scale Integration)などの半導体デバイス材料として広く用いられる。結晶体を製造する結晶製造装置において、結晶体を継続的に製造するために、結晶体が製造される材料処理チャンバ内に配置される坩堝に、固体材料を随時供給する装置が種々提案されている。大径かつ長大な結晶体を連続的に製造するために、坩堝から引上げられる結晶体の成長容量に応じて、固体材料を坩堝に投入する固体材料供給装置が、たとえば特許文献1〜7に開示されている。
前記バルブは、材料貯蔵容器から排出される固体材料が通過する開口であるバルブ開口部を有する筐体状に形成されるバルブ筐体と、前記バルブ筐体の内壁面に形成されるバルブ当接面に当接または離反することにより、前記バルブ開口部を閉鎖または開放するための弁体とを含んで構成され、
前記材料貯蔵容器は、固体材料が投入される開口である容器材料投入口および固体材料が排出される開口である容器材料排出口を有する円形断面、もしくは多角形断面の筒状部材と、開閉部材とを含んで構成され、
前記開閉部材は、前記容器材料排出口を閉鎖する閉鎖位置と、容器材料排出口を開放する開放位置とに変位可能に形成され、
開閉部材は、開閉部材が前記閉鎖位置から前記開放位置に変位するとともに、前記バルブ開口部に挿通するように構成されることを特徴とする固体材料供給装置である。
前記複数の開閉部材は、それぞれ前記容器材料排出口を閉鎖する閉鎖位置と、容器材料排出口を開放する開放位置とに変位可能に形成され、
複数の開閉部材は、それぞれ前記閉鎖位置から前記開放位置に変位するとともに、前記バルブ開口部に挿通するように構成されることを特徴とする。
前記突出部材は、開閉部材が前記閉鎖位置から前記開放位置に変位するとともに、前記バルブ開口部に挿通するように構成されることを特徴とする。
開閉部材は、前記回転軸まわりに回転することで、前記閉鎖位置と前記開放位置とに変位可能に構成されることを特徴とする。
前記チャンバには、固体材料がチャンバ内に投入される開口であるチャンバ材料投入口が形成され、
固体材料供給装置に形成される容器材料排出口から排出される固体材料が、前記チャンバ材料投入口に導かれるように、チャンバと固体材料供給装置とが接続されていることを特徴とする固体材料処理装置である。
開閉部材が回転軸まわりに回転して、容器材料排出口を開放する開放位置に変位するとともにバルブに形成されるバルブ開口部に挿通して、固体材料を容器材料排出口からバルブ開口部に向けて排出する固体材料排出工程とを含んで構成される固体材料供給方法である。
複数の開閉部材が回転軸まわりに回転して、容器材料排出口を開放する開放位置に変位するとともにバルブに形成されるバルブ開口部に挿通して、固体材料を容器材料排出口からバルブ開口部に向けて排出する固体材料排出工程とを含んで構成される固体材料供給方法である。
2,32 材料投入バルブ
3,33 投入バルブ筐体
4,34 投入バルブ弁体
5,35 材料貯蔵容器
6,36 筒状部材
7,37 第1開閉部材
8 第2開閉部材
10,40 材料準備チャンバ
11 準備チャンババルブ
12 材料収容手段
13 材料処理チャンバ
14 プルチャンバ
15 処理装置バルブ
16 坩堝
17 坩堝回転軸
18 加熱手段
19 結晶引上げ手段
20,50 固体材料処理装置
21 シリコン固体材料
22 シリコン融液
41 シュータ
Claims (9)
- 開閉可能なバルブと、固体材料を貯蔵する材料貯蔵容器とを含んで構成され、
前記バルブは、材料貯蔵容器から排出される固体材料が通過する開口であるバルブ開口部を有する筐体状に形成されるバルブ筐体と、前記バルブ筐体の内壁面に形成されるバルブ当接面に当接または離反することにより、前記バルブ開口部を閉鎖または開放するための弁体とを含んで構成され、
前記材料貯蔵容器は、固体材料が投入される開口である容器材料投入口および固体材料が排出される開口である容器材料排出口を有する円形断面、もしくは多角形断面の筒状部材と、開閉部材とを含んで構成され、
前記開閉部材は、前記容器材料排出口を閉鎖する閉鎖位置と、容器材料排出口を開放する開放位置とに変位可能に形成され、
開閉部材は、開閉部材が前記閉鎖位置から前記開放位置に変位するとともに、前記バルブ開口部に挿通するように構成されることを特徴とする固体材料供給装置。 - 前記材料貯蔵容器が有する前記開閉部材は、複数の開閉部材で構成され、
前記複数の開閉部材は、それぞれ前記容器材料排出口を閉鎖する閉鎖位置と、容器材料排出口を開放する開放位置とに変位可能に形成され、
複数の開閉部材は、それぞれ前記閉鎖位置から前記開放位置に変位するとともに、前記バルブ開口部に挿通するように構成されることを特徴とする請求項1に記載の固体材料供給装置。 - 前記開閉部材には、前記容器材料排出口に当接して容器材料排出口を閉鎖する開閉部材の部材当接面に対して、一辺が接する板状に形成される突出部材が設けられ、
前記突出部材は、開閉部材が前記閉鎖位置から前記開放位置に変位するとともに、前記バルブ開口部に挿通するように構成されることを特徴とする請求項1または2に記載の固体材料供給装置。 - 前記バルブ筐体に形成される前記バルブ当接面は、前記容器材料排出口から排出される固体材料が前記バルブ開口部に向けて投入される投入方向に対して、同一方向に向いていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の固体材料供給装置。
- 開閉部材が有する前記部材当接面は、固体材料の硬さよりも高い硬さをもつ材料によって形成されることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1つに記載の固体材料供給装置。
- 前記開閉部材には、前記筒状部材の近傍に配置されるように、前記部材当接面に接して回転軸が形成され、
開閉部材は、前記回転軸まわりに回転することで、前記閉鎖位置と前記開放位置とに変位可能に構成されることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1つに記載の固体材料供給装置。 - 筐体状に形成されるチャンバと、請求項1〜6のいずれか1つに記載の固体材料供給装置とを含んで構成され、
前記チャンバには、固体材料がチャンバ内に投入される開口であるチャンバ材料投入口が形成され、
固体材料供給装置に形成される容器材料排出口から排出される固体材料が、前記チャンバ材料投入口に導かれるように、チャンバと固体材料供給装置とが接続されていることを特徴とする固体材料処理装置。 - 材料貯蔵容器が有する開閉部材が、材料貯蔵容器に形成される容器材料排出口を閉鎖する閉鎖位置に位置した状態で、固体材料を材料貯蔵容器に形成される容器材料投入口に向けて投入して材料貯蔵容器内で貯蔵する固体材料貯蔵工程と、
開閉部材が回転軸まわりに回転して、容器材料排出口を開放する開放位置に変位するとともにバルブに形成されるバルブ開口部に挿通して、固体材料を容器材料排出口からバルブ開口部に向けて排出する固体材料排出工程とを含んで構成される固体材料供給方法。 - 材料貯蔵容器が有する複数の開閉部材が、材料貯蔵容器に形成される容器材料排出口を閉鎖する閉鎖位置にそれぞれ位置した状態で、固体材料を材料貯蔵容器に形成される容器材料投入口に向けて投入して材料貯蔵容器内で貯蔵する固体材料貯蔵工程と、
複数の開閉部材が回転軸まわりに回転して、容器材料排出口を開放する開放位置に変位するとともにバルブに形成されるバルブ開口部に挿通して、固体材料を容器材料排出口からバルブ開口部に向けて排出する固体材料排出工程とを含んで構成される固体材料供給方法。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104233467A (zh) * | 2013-06-11 | 2014-12-24 | Lg矽得荣株式会社 | 补给装置 |
CN109943883A (zh) * | 2017-12-21 | 2019-06-28 | Gtat公司 | 柴可拉斯基生长装置转换配件 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5895548A (ja) * | 1981-11-30 | 1983-06-07 | Toshiba Corp | リチヤ−ジ装置 |
JPS58151674A (ja) * | 1982-03-02 | 1983-09-08 | Mitsubishi Electric Corp | ガロア体における除算装置 |
JPS58151673A (ja) * | 1982-03-03 | 1983-09-08 | Fujitsu Ltd | 取引操作装置の取引モ−ド制御方式 |
JPS58170533A (ja) * | 1982-04-01 | 1983-10-07 | Toshiba Mach Co Ltd | リチヤ−ジ装置 |
JPS59156992A (ja) * | 1983-02-21 | 1984-09-06 | Toshiba Mach Co Ltd | 半導体結晶引上機用リチヤ−ジ装置 |
JPH0337183A (ja) * | 1989-07-05 | 1991-02-18 | Nkk Corp | 粒状シリコン原料供給装置 |
JP2003002779A (ja) * | 2001-06-20 | 2003-01-08 | Komatsu Electronic Metals Co Ltd | 単結晶引上げ用容器の原料供給装置および原料供給方法 |
JP2005001977A (ja) * | 2003-05-16 | 2005-01-06 | Sumitomo Mitsubishi Silicon Corp | チョクラルスキー法による原料供給装置および原料供給方法 |
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5895548A (ja) * | 1981-11-30 | 1983-06-07 | Toshiba Corp | リチヤ−ジ装置 |
JPS58151674A (ja) * | 1982-03-02 | 1983-09-08 | Mitsubishi Electric Corp | ガロア体における除算装置 |
JPS58151673A (ja) * | 1982-03-03 | 1983-09-08 | Fujitsu Ltd | 取引操作装置の取引モ−ド制御方式 |
JPS58170533A (ja) * | 1982-04-01 | 1983-10-07 | Toshiba Mach Co Ltd | リチヤ−ジ装置 |
JPS59156992A (ja) * | 1983-02-21 | 1984-09-06 | Toshiba Mach Co Ltd | 半導体結晶引上機用リチヤ−ジ装置 |
JPH0337183A (ja) * | 1989-07-05 | 1991-02-18 | Nkk Corp | 粒状シリコン原料供給装置 |
JP2003002779A (ja) * | 2001-06-20 | 2003-01-08 | Komatsu Electronic Metals Co Ltd | 単結晶引上げ用容器の原料供給装置および原料供給方法 |
JP2005001977A (ja) * | 2003-05-16 | 2005-01-06 | Sumitomo Mitsubishi Silicon Corp | チョクラルスキー法による原料供給装置および原料供給方法 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104233467A (zh) * | 2013-06-11 | 2014-12-24 | Lg矽得荣株式会社 | 补给装置 |
JP2014240342A (ja) * | 2013-06-11 | 2014-12-25 | エルジー・シルトロン・インコーポレーテッド | 充電装置 |
CN109943883A (zh) * | 2017-12-21 | 2019-06-28 | Gtat公司 | 柴可拉斯基生长装置转换配件 |
CN109943883B (zh) * | 2017-12-21 | 2023-10-24 | Gtat公司 | 柴可拉斯基生长装置转换配件 |
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