KR101690245B1 - 원료 공급장치 - Google Patents

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Abstract

실시예는 원료 공급장치에 관한 것으로서, 원료가 장입되는 투입관과, 투입관의 하단부 가장자리를 따라 형성되는 다수 개의 분할면으로 이루어지는 개폐부와, 투입관과 개폐부를 수직으로 관통하여 배치되는 지지축과, 각각의 분할면의 내측면과 지지축의 하부를 연결하는 연결부와, 지지축의 하단에 구비되어 개폐부의 하단 가장자리에 대응되도록 형성되는 받침부를 포함한다.

Description

원료 공급장치{Material Feeder}
실시예는 원료 공급장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 원료가 담기는 투입관 하단부의 공간이 확장될 수 있는 구조에 의해 크기가 다른 결정의 원료를 안정적이고 효율적으로 공급할 수 있는 원료 공급장치에 관한 것이다.
반도체 소자나 태양전지 등의 제조에 사용되는 기판은 주로 단결정 웨이퍼이며, 특히 실리콘 단결정 웨이퍼가 많이 사용된다. 이러한 단결정 웨이퍼는 일반적으로 종자 결정으로부터 단결정 잉곳을 성장시키고 이를 얇은 두께로 절단하여 만든다.
이와 같은 단결정 웨이퍼를 제조하는 단결정 웨이퍼 잉곳 제조 장치는 도 1에 도시한 바와 같이, 내부에 공간이 형성되는 챔버, 챔버 내에 설치되어 다결정 실리콘 원료가 장입되고 용융되는 도가니(20), 도가니(20)를 가열하여 다결정 실리콘 원료(S)를 용융하여 실리콘 융액으로 형성하는 도가니 가열수단(30), 실리콘 종자 결정(silicon seed crystal)을 실리콘 융액에 침지하고 이를 서서히 인상시키는 인상수단(50)을 구비하여 실리콘 종자 결정으로부터 소정 직경의 단결정 잉곳을 성장시킨다.
상술한 바와 같이 실리콘 단결정 웨이퍼를 제조하는 공정 중에 단결정 잉곳 제조장치에 원료를 용이하게 투입하기 위하여 고체 원료를 투입하는 원료 공급장치가 단결정 잉곳 제조장치의 내부에 설치된다.
종래의 원료 공급장치는 받침부(40)를 하방으로 이동시켜 투입관(10)을 통해 도가니(20)로 고체인 다결정 실리콘(S)을 공급하게 되는데, 이때 투입관(10) 하단부의 둘레 길이가 고정적이므로 크기가 큰 다결정 실리콘의 결정들이 투입관(10)의 투입구에 걸려서 투입관(10)의 하단부가 막히는 문제점이 있다.
또한, 도가니에서 가열된 실리콘 융액 위에 고체인 다결정 실리콘이 투하되면서 용융상태의 실리콘이 주위에 튀어 주변 구조물이 오염되는 문제점이 있다.
실시예는 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해서 안출된 것으로, 원료가 공급될 때 원료가 공급되는 투입관의 하부 공간을 확장할 수 있는 원료 공급장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 원료가 공급될 때 투입관의 하부 공간을 확장함으로써 원료가 도가니에 투하될 때 원료의 융액이 주변 구조물에 튀는 것을 방지할 수 있는 원료 공급장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일실시예는 원료가 장입되는 투입관; 상기 투입관의 하단부 가장자리를 따라 형성되는 다수 개의 분할면으로 이루어지는 개폐부; 상기 투입관과 상기 개폐부를 수직으로 관통하여 배치되는 지지축; 각각의 상기 분할면의 내측면과 상기 지지축의 하부를 연결하는 연결부; 및 상기 지지축의 하단에 구비되어 상기 개폐부의 하단 가장자리에 대응되도록 형성되는 받침부를 포함하는 원료 공급장치를 제공한다.
본 발명의 일실시예에서, 상기 분할면은 상기 투입관의 하단에 힌지고정되어 상기 투입관의 외측으로 회전하며 개방될 수 있다.
그리고, 상기 투입관의 상단에 배치되고 가장자리에 플랜지가 형성되는 덮개를 더 포함하고, 상기 지지축이 상기 덮개의 중앙부를 관통할 수 있다.
또한, 상기 지지축의 외주면에 상기 지지축의 외경보다 두께가 크게 형성되어 상기 덮개의 상단면에 맞닿는 걸림부재가 구비될 수 있다.
아울러, 상기 투입관을 감싸도록 구비되는 가이드 관을 더 포함하고, 상기 투입관이 상기 가이드 관을 따라 수직으로 승강할 수 있다.
그리고, 상기 가이드 관의 내면에는 상기 덮개의 플랜지 하단면이 놓이는 고정 플랜지가 형성될 수 있다.
한편, 상기 연결부는 상기 지지축의 하부에 형성되는 제1 회전유닛; 상기 분할면의 내측면에 각각 형성되는 제2 회전유닛; 및 상기 제1 회전유닛과 제2 회전유닛에 연결되어 상기 지지축의 상하 이동에 따라 상기 분할면을 회전 이동시켜 상기 분할면이 상기 투입관을 개폐하는 지지대를 포함할 수 있다.
또한, 상기 제1 회전유닛은 상기 지지대의 일단이 이동하는 제1 개구부가 형성되는 제1 삽입관; 및 상기 제1 삽입관에 삽입되는 제1 회전축을 포함할 수 있다.
그리고, 상기 제2 회전유닛은 상기 지지대의 타단이 이동하는 제2 개구부가 형성되는 제2 삽입관; 및 상기 제2 삽입관에 삽입되는 제2 회전축을 포함할 수 있다.
아울러, 상기 지지축의 상단에 연결되어 상기 지지축을 승강시키는 인상수단을 더 포함할 수 있다.
그리고, 상기 받침부는 상협하광의 형태로 형성될 수 있다.
상술한 바와 같은 실시예에 의하면, 원료가 공급될 때 원료가 공급되는 투입관 하단부의 공간을 확장할 수 있어 결정의 크기가 큰 실리콘 결정도 투입관의 하단에서 걸리지 않고 안정적으로 공급될 수 있다.
또한, 투입관의 하부 공간이 확장되면서 개방되는 투입관의 하부면이 주변 구조물에 근접하여 위치하게 됨으로써 원료가 도가니에 투하될 때, 원료의 융액이 주변 구조물에 튀지 않아 주변 구조물이 원료에 의해 오염되거나 파손되는 것을 방지할 수 있다.
도 1은 종래의 원료 공급장치가 설치된 단결정 잉곳 성장 장치를 나타내는 단면도이다.
도 2는 단결정 잉곳 성장 장치를 나타내는 개략 단면도이다.
도 3은 실시예에 따른 원료 공급장치를 나타내는 단면도이다.
도 4는 실시예에 따른 원료 공급장치를 나타내는 평면도이다.
도 5a는 실시예에 따른 제1 회전유닛를 나타내는 단면도이다.
도 5b는 실시예에 따른 제2 회전유닛를 나타내는 부분 사시도이다.
도 6은 실시예에 따른 걸림장치를 나타내는 단면도이다.
도 7a와 도 7b는 실시예의 원료 공급장치를 이용하여 원료를 투입하는 과정을 나타내는 개념도이다.
이하 상기의 목적을 구체적으로 실현할 수 있는 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 2는 단결정 잉곳 성장 장치를 나타내는 개략 단면도이다. 도 2를 참조하면, 실시예에 다른 단결정 잉곳 성장 장치(1)는 내부에 실리콘 용융액으로부터 실리콘 단결정 잉곳이 성장하기 위한 공간이 형성되는 챔버(200)와, 챔버(200)의 내부에 구비되어 실리콘 단결정 잉곳의 원재료에 해당하는 실리콘 용융액이 수용되는 도가니(220)와, 도가니(220)를 가열하기 위한 가열수단(230)을 포함한다.
그리고, 후술할 원료 공급장치를 승강시키는 인상수단(250)을 더 포함한다.
단결정 잉곳 성장 장치에 대하여 보다 상세히 설명하면, 챔버(200)의 하부는 도가니(220) 및 가열수단(230) 등이 설치되어 고온의 열이 발생되고, 유지되는 가열챔버(210)로 구성된다.
도가니(220)는 다결정 실리콘의 고체 원료가 용융되어 실리콘 용융액으로 수용될 수 있도록 전체적으로 오목한 그릇의 형상이다. 여기서, 도가니(220)는 실리콘 용융액과 직접 접촉되는 석영 도가니와, 석영 도가니의 외면을 둘러싸면서 석영 도가니를 지지하는 흑연 도가니로 이루어진다.
또한, 도가니(220)의 측면에는 도가니(220)를 향하여 열을 방출하는 가열수단(230)이 배치된다.
챔버(200)의 상부에는 인상수단(250)이 설치되며, 실시예에서 인상수단(250)은 케이블과 케이블을 인장하는 구동수단(미도시)으로 구비되고, 케이블의 하단에는 시드 척(미도시)이 설치된다. 그리고, 시드 척에는 실리콘 결정을 용융시키는 멜팅(melting) 공정에서 가열챔버의 상부로 손실되는 열을 차단하기 위한 단열부재나 도가니 내의 실리콘 용융액에 접촉되어 인상되면서 단결정 잉곳을 성장시키는 종자 결정(seed crystal)을 장착될 수 있다. 아울러, 시드 척에는 후술할 원료 공급장치가 장착될 수도 있다.
도 3은 실시예에 따른 원료 공급장치를 나타내는 단면도이다. 원료 공급장치는 원료를 저장하고 도가니에 원료 즉, 다결정 실리콘 고체 덩어리를 투입하기 위한 장치이다.
도 3에 도시한 바와 같이 실시예에 따른 원료 공급장치(100)는 원료가 장입되는 투입관(110)과, 투입관(110)의 하단부 가장자리를 따라 형성되는 다수 개의 분할면으로 이루어지는 개폐부(111)와, 투입관(110)과 개폐부(111)를 수직으로 관통하여 배치되는 지지축(120)과, 각각의 분할면의 내측면과 지지축(120)의 하부를 연결하는 연결부(130)와, 지지축(120)의 하단에 구비되어 개폐부(111)의 하단 가장자리에 대응되도록 형성되는 받침부(140)를 포함한다.
보다 상세히 설명하면, 투입관(110)은 원통형상이고 크기가 다양한 다결정 실리콘(S)이 투입관(110)의 상부로 장입된다. 그러나, 투입관의 형상은 내부에 원료가 저장될 수 있는 공간이 형성될 수 있으면 원통형상에 한정되지 않고, 투입관의 단면이 타원, 다각형 등 다양하게 변경되어 형성될 수 있다.
그리고, 투입관(110)의 하단부에는 개폐부(111)가 구비되는데, 투입관(110)의 하단부 가장자리에 다수 개의 분할면이 연결되어 다결정 실리콘(S)이 장입될 때에는 투입관(110)의 면과 일직선 상에 위치하고, 투입관(110)에 장입되어 저장된 다결정 실리콘(S)이 도가니도 공급될 때에는 다수 개의 분할면 하단부가 투입관의 외측으로 이동하면서 투입관이 개방된다.
여기서, 분할면은 투입관의 하단에 힌지고정되어 투입관의 외측으로 회전하며 개방된다.
도 2에 도시한 바와 같이, 투입관(110)의 상단에는 덮개(150)가 배치되는데 덮개(150)는 여닫이 방식으로 구비되어 시드 척으로부터 원료 공급장치가 분리되었을 때 투입관에 다결정 실리콘을 장입하기 용이하게 해준다. 또한, 덮개(150)의 중앙부에 지지축(120)이 관통하고, 덮개(150)의 외측 가장자리에는 플랜지(151)가 형성된다.
한편, 투입관(110)을 감싸도록 가이드 관(160)이 구비되어 투입관(110)이 가이드 관(160)을 따라 수직으로 승강하게 된다. 또한, 가이드 관(160)의 내면에는 고정 플랜지(161)가 형성되는데, 가이드 관(160) 내에서 인상수단(250)에 의해 투입관(110)이 이동하다가 투입관(110)에 저장된 다결정 실리콘(S)을 도가니(220)에 투하시킬 수 있는 높이에서 덮개(150)의 플랜지(151) 하단면이 고정 플랜지(161)에 놓이면서 투입관(110)이 고정된다.
아울러, 고정 플랜지(161)의 가장자리와 투입관(110)의 외주면 간의 거리가 너무 멀면 투입관(110)이 수직으로 이동하면서 투입관의 흔들림이 발생하므로 투입관이 안정적으로 이동될 수 있도록 투입관이 가이드 관을 따라 이동할 수 있으면서 고정 플랜지가 투입관이 흔들리지 않도록 안내해 줄 수 있는 범위 내에서 고정 플랜지의 너비가 결정될 수 있다.
그리고, 지지축(120)이 투입관(110)과 개폐부(111)의 중앙을 수직으로 관통하여 배치되며, 지지축(120)의 상단은 인상수단(250)과 연결되어 인상수단(250)에 의해 상하로 이동하게 된다.
이때, 각각의 분할면의 내측면과 지지축(120)의 하부가 연결되고, 지지축(120)이 이동할 때 개폐부(111)가 투입관(110)을 개폐하게 된다.
그리고, 투입관(110)에 저장된 다결정 실리콘(S)을 도가니(220)로 공급하기 위해 투입관(110)이 가이드 관(160)의 고정 플랜지(161)에 의해 고정된 상태에서 지지축(120)이 하방으로 이동한다. 그리고, 걸림부재(121)가 지지축(120)의 외주면에 형성되는데, 걸림부재(121)는 지지축(120)의 외경보다 두께가 크게 형성되어 덮개(150)의 상단면에 맞닿도록 구비된다.
그리고, 지지축(120)의 하단에는 받침부(140)가 구비되는데 받침부(140)는 개폐부(111)의 하단 가장자리에 대응되도록 형성된다. 또한, 받침부(140)는 받침부(140)의 중앙부로부터 받침부(140)의 하방으로 경사가 형성되는 상협하광의 형태로 구비된다. 이러한 받침부(140)의 형상으로 개폐부(111)가 개방되면 투입관(110)에 저장되어 있던 다결정 실리콘(S) 덩어리가 투입관(110)에 미끄러져 도가니(220)로 공급될 수 있다. 그리고, 받침부(140)가 하방으로 경사지게 형성되므로 투입관(110)에 저장된 다결정 실리콘(S) 덩어리가 투입관(110)에 남지 않고 도가니(220)로 공급될 수 있다.
한편, 도 3에 도시한 바와 같이, 연결부(130)가 각각의 분할면의 내측면과 지지축(120)의 하부를 연결하여 지지축(120)이 이동하면서 분할면이 투입관(110)을 개폐할 수 있게 된다.
그리고, 연결부(130)는 지지축(120)의 하부에 형성되는 제1 회전유닛(131)과, 분할면의 내측면에 각각 형성되는 제2 회전유닛(132)과, 제1 회전유닛(131)과 제2 회전유닛(132)에 연결되어 지지축(120)의 상하 이동에 따라 분할면을 회전 이동시켜 분할면이 투입관(110)을 개폐하는 지지대(133)를 포함한다.
도 4는 실시예에 따른 원료 공급장치를 나타내는 평면도이고, 도 5a는 실시예에 따른 제1 회전유닛를 나타내는 단면도이며, 도 5b는 실시예에 따른 제2 회전유닛를 나타내는 부분 사시도이다. 도 4, 도 5a 및 5b를 참조하면, 실시예에서 분할면(111a, 111b, 111c, 111d)은 4개가 형성된다. 그러나, 투입관의 크기와 형상에 따라 분할면의 갯수와 넓이는 다르게 형성될 수 있다.
그리고, 각각의 분할면(111a, 111b, 111c, 111d)과 지지축(120)이 제1 회전유닛(131), 제2 회전유닛(132) 및 지지대(133)를 포함하는 연결부에 의해 연결된다.
도 5a에 도시한 바와 같이, 지지축(120)의 하부에 제1 회전유닛(131)이 구비되는데, 제1 회전유닛(131)은 제1 삽입관(131a)과 제1 회전축(131b)으로 이루어진다. 제1 삽입관(131a)은 원형의 링형태로 지지축(120)을 감싸도록 구비된다. 제1 삽입관(131a)에는 지지대(133)의 일단이 이동하도록 제1 개구부(131c)가 형성된다. 그리고, 제1 개구부(131c)는 지지대의 굵기와 지지대의 지지대가 이동되는 거리를 고려하여 형성된다. 또한, 제1 삽입관(131a)에는 제1 회전축(131b)이 삽입되고 제1 회전축(131b)에 지지대(133)의 일단이 연결된다.
아울러, 도 4와 도 5b를 참조하면, 각 분할면(111a, 111b, 111c, 111d)의 내측에 제2 회전유닛(132)이 각각 형성되는데, 제2 회전유닛(132)은 제2 삽입관(132a)과 제2 회전축(132b)으로 이루어진다. 또한, 제2 삽입관(132a)은 분할면(111a, 111b, 111c, 111d)의 너비보다 짧은 길이의 파이프 형태로 분할면(111a, 111b, 111c, 111d)의 가로방향으로 구비된다.
그리고, 제2 삽입관(132a)에는 지지대(133)의 타단이 이동하도록 제2 개구부(132c)가 형성된다. 그리고, 제2 개구부(132c)는 지지대의 굵기와 지지대가 이동되는 거리를 고려하여 형성된다. 또한, 제2 삽입관(132a)에는 제2 삽입관(132a)의 내경과 대응되도록 제2 회전축(132b)이 삽입되고 제2 회전축(132b)에 지지대(133)의 타단이 연결된다.
상술한 바와 같이, 지지축의 하부에 구비되는 제1 회전유닛과 각 분할면의 내측에 구비되는 제2 회전유닛로 구성되는 연결부에 의해 지지축이 상하로 이동할 때 개폐부가 개폐됨으로써 투입관에 저장된 다결정 실리콘과 같은 원료를 공급할 수 있게 된다.
여기서, 연결부의 제1 회전유닛과 제2 회전유닛이 설치되는 위치 및 지지대의 길이에 따라 분할면이 개방되는 범위가 결정될 수 있는데, 개방되는 범위를 제어할 수 있으므로 투입관에 저장된 다결정 실리콘이 도가니로 투입될 때, 크기가 다른 다결정 실리콘이 분할면과 받침부 사이에 걸리지 않고 안정적으로 공급할 수 있게 된다. 또한, 종래의 원료 공급장치보다 지지축이 하부로 짧은 거리를 이동하여도 분할면이 동시에 개방되므로 다결정 실리콘 등의 원료가 공급될 수 있는 공간이 충분히 확보될 수 있다.
아울러, 투입관에 저장된 다결정 실리콘이 도가니로 공급될 때, 분할면이 개방되면서 분할면이 투입관의 주변에 설치되는 구조물들을 보호할 수 있게 된다. 다시 말해서, 투입관에 저장된 다결정 실리콘이 도가니로 투입될 때 도가니에서는 먼저 투입된 다결정 실리콘을 가열하는 멜팅(melting) 공정이 동시에 수행된다. 이때 도가니에 담긴 다결정 실리콘 용융액에 고체인 다결정 실리콘이 공급되면서 투입관 주변에 설치되는 구조물에 다결정 실리콘 용융액이 튀어 구조물이 오염되거나 파손되는 문제를 방지할 수 있게 되는 것이다.
도 6은 실시예에 따른 걸림장치를 나타내는 단면도이다. 도 6을 참조하면, 걸림부재(121)는 지지축(120)의 외경보다 두께가 크게 지지축(120)의 외주면에 형성된다. 그리고, 지지축(120)이 덮개(150)의 중앙부를 관통하여 상하로 이동하다가 개폐부가 최대한으로 개방되었을 때, 걸림부재(121)가 덮개(150)의 상단면에 맞닿아 지지축(120)이 일정 높이에서 고정될 수 있게 된다. 여기서, 걸림부재(121)가 덮개(150)의 상단면에 맞닿을 때 발생하는 충격을 흡수할 수 있도록 걸림부재(121)와 덮개(150) 사이에는 완충부재(122)가 더 구비될 수 있다.
또한, 걸림부재(121)는 크기가 다른 다결정 실리콘 덩어리가 개폐부를 통해 도가니로 공급될 때, 개방된 분할면과 받침부 사이에 다결정 실리콘 덩어리가 걸리지 않고 빠져나갈 수 있는 공간이 충분히 확보될 수 있도록 지지축(120)에 형성될 수 있다.
상술한 바와 같이, 걸림부재가 지지축에 형성되는 위치와 연결부의 길이 및 구비되는 위치에 따라 분할면의 개방 범위가 결정될 수 있다.
도 7a와 도 7b는 실시예의 원료 공급장치를 이용하여 원료를 투입하는 과정을 나타내는 개념도이다. 도 7a와 도 7b를 참조하여 원료 공급장치가 원료를 투입하는 과정을 설명한다.
도 7a에 도시한 바와 같이, 단결정 실리콘(S)과 같은 원료가 투입관(110)에 주입되어 저장된 상태에서 인상수단(250)에 지지축(120)이 연결된다. 그리고, 분할면(111a, 111b, 111c, 111d)은 투입관(110)의 외주면과 수평을 이루어 고정되고, 분할면(111a, 111b, 111c, 111d)의 하단과 지지축(120) 하부에 구비되는 받침부(140)의 가장자리가 맞닿아 투입관(110)이 폐쇄된다.
투입관에 저장된 단결정 실리콘을 도가니로 공급하기 위해 도 7b에 도시한 바와 같이, 인상수단(250)에 의해 지지축(120)을 하강시키면 지지축(120)의 하부에 형성되는 제1 회전유닛(131)과 분할면(111a, 111b, 111c, 111d)의 내측면에 형성되는 제2 회전유닛(132)을 연결하는 지지대(133)가 이동하면서 투입관(110)의 하부에 힌지고정된 분할면(111a, 111b, 111c, 111d)의 하단부가 투입관(110)의 외측으로 벌어지면서 투입관(110)이 개방되며, 하부로 이동하면 지지축(120)은 걸림부재(121)가 덮개의 상단에 구비되는 완충부재(122)에 맞닿아 고정된다.
따라서, 지지축이 하강하면서 지지축의 하단부에 구비되는 받침부는 하방으로 이동함과 동시에 분할면이 개방되므로 종래의 원료 공급장치보다 투입관에 담긴 크기가 다른 단결정 실리콘을 도가니에 투입할 수 있는 공간을 확보하기가 용이해 진다. 또한, 단결정 실리콘 덩어리가 실리콘 용융액이 담긴 도가니에 투입되면서 실리콘 용융액이 투입관 주변에 튀는 것을 분할면이 개방되면서 분할면이 투입관 주변 구조물을 가려주게 되므로 주변 구조물이 오염되거나 파손되는 것을 방지해 주게 된다.
이상에서 실시예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
1 : 단결정 잉곳 제조장치 100 : 원료 공급장치
10, 110 : 투입관 111 : 개폐부
111a, 111b, 111c, 111d : 분할면 120 : 지지축
121 : 걸림부재 122 : 완충부재
130 : 연결부 131 : 제1 회전유닛
131a : 제1 삽입관 131b : 제1 회전축
131c : 제1 개구부 132 : 제2 회전유닛
132a : 제2 삽입관 132b : 제2 회전축
132c : 제2 개구부 133 : 지지대
40, 140 : 받침부 150 : 덮개
151 : 플랜지 160 : 가이드 관
161 : 고정 플랜지 210 : 가열챔버
20, 220 : 도가니 30, 230 : 가열수단
50, 250 : 인상수단 S : 다결정 실리콘

Claims (11)

  1. 원료가 장입되는 투입관;
    상기 투입관의 하단부 가장자리를 따라 형성되는 다수 개의 분할면으로 이루어지는 개폐부;
    상기 투입관과 상기 개폐부를 수직으로 관통하여 배치되는 지지축;
    각각의 상기 분할면의 내측면과 상기 지지축의 하부를 연결하는 연결부; 및
    상기 지지축의 하단에 구비되어 상기 개폐부의 하단 가장자리에 대응되도록 형성되는 받침부를 포함하고,
    상기 분할면은 상기 투입관의 하단에 힌지고정되어 상기 투입관의 외측으로 회전하며 개방되는 원료 공급장치.
  2. 삭제
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 투입관의 상단에 배치되고 가장자리에 플랜지가 형성되는 덮개를 더 포함하고, 상기 지지축이 상기 덮개의 중앙부를 관통하는 원료 공급장치.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 지지축의 외주면에 상기 지지축의 외경보다 두께가 크게 형성되어 상기 덮개의 상단면에 맞닿는 걸림부재가 구비되는 원료 공급장치.
  5. 제3 항에 있어서,
    상기 투입관을 감싸도록 구비되는 가이드 관을 더 포함하고, 상기 투입관이 상기 가이드 관을 따라 수직으로 승강하는 원료 공급장치.
  6. 제5 항에 있어서,
    상기 가이드 관의 내면에는 상기 덮개의 플랜지 하단면이 놓이는 고정 플랜지가 형성되는 원료 공급장치.
  7. 제1 항에 있어서,
    상기 연결부는
    상기 지지축의 하부에 형성되는 제1 회전유닛;
    상기 분할면의 내측면에 각각 형성되는 제2 회전유닛; 및
    상기 제1 회전유닛과 제2 회전유닛에 연결되어 상기 지지축의 상하 이동에 따라 상기 분할면을 회전 이동시켜 상기 분할면이 상기 투입관을 개폐하는 지지대를 포함하는 원료 공급장치.
  8. 제7 항에 있어서,
    상기 제1 회전유닛은
    상기 지지대의 일단이 이동하는 제1 개구부가 형성되는 제1 삽입관; 및
    상기 제1 삽입관에 삽입되는 제1 회전축을 포함하는 원료 공급장치.
  9. 제7 항에 있어서,
    상기 제2 회전유닛은
    상기 지지대의 타단이 이동하는 제2 개구부가 형성되는 제2 삽입관; 및
    상기 제2 삽입관에 삽입되는 제2 회전축을 포함하는 원료 공급장치.
  10. 제1 항에 있어서,
    상기 지지축의 상단에 연결되어 상기 지지축을 승강시키는 인상수단을 더 포함하는 원료 공급장치.
  11. 제1 항에 있어서,
    상기 받침부는 상협하광의 형태로 형성되는 원료 공급장치.
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