JP2008285410A - リチャージ装置、原料供給装置、及びインゴット引上げ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】リチャージ装置は、ホッパー本体32に設けられホッパー本体32を坩堝20の上方の所定位置に掛止するための第1のストッパー64と、吊り棒72に設けられホッパー本体32を掛止するための第2のストッパー70と、吊り棒72を覆う略円筒形状の石英管78と、ホッパー本体32に設けられた回り止め62を備える。
【選択図】図4
Description
従来のホッパーを用いてリチャージを行った場合と、本願発明におけるホッパーを用いてリチャージを行った場合との効果について、表1を用いて以下に具体的に説明する。
10…シリコン単結晶引き上げ装置
12…チャンバ
14…サブチャンバ
16…シード軸
18…ゲートバルブ
20…石英坩堝
22…黒鉛坩堝
24…ヒータ
26…断熱材
28…支持軸
30…ホッパー
32…ホッパー本体
34…シャフト
36…底蓋
38…融液
40…サブチャンバ蓋
42…種結晶
44…ゲート
50…ランプ材
52…上部筒体
54…下部筒体
56…フランジ
58…フランジ
60…連結器
62…回り止め
62a…ローラ
64…ストッパー
66…天板
68…貫通穴
70…ストッパー
72…吊り棒
74…連結器
76…石英ガラス棒
78…石英管
80…空気穴
82…隙間
84…隙間部
110…シリコン単結晶引き上げ装置
120…石英坩堝
136…底蓋。
Claims (8)
- 略筒状のホッパー本体と、前記ホッパー本体の下端開口部を開閉する底蓋と、前記底蓋を吊り下げる吊持手段と、を有するリチャージ装置において、
前記ホッパー本体に設けられホッパー本体を坩堝上方の所定位置に掛止するための第1のストッパーと、
前記吊持手段に設けられ前記ホッパー本体を掛止するための第2のストッパーと、
前記吊持手段を覆う略円筒形状の石英管と、
前記ホッパー本体に、回り止めを有することを特徴とするリチャージ装置。 - 略筒状のホッパー本体と、前記ホッパー本体の下端開口部を開閉する底蓋と、前記底蓋を吊り下げる吊持手段と、を有するリチャージ装置において、
前記ホッパー本体内に、前記吊持手段を覆う略円筒形状の石英管を有することを特徴とするリチャージ装置。 - 前記石英管は前記吊持手段に対して摺動可能であることを特徴とする請求項1または2に記載のリチャージ装置。
- 略筒状のホッパー本体と、前記ホッパー本体の下端開口部を開閉する底蓋と、前記底蓋を吊り下げる吊持手段と、を有するリチャージ装置において、
前記吊持手段に設けられ前記ホッパー本体を掛止するためのストッパーを有することを特徴とするリチャージ装置。 - 略筒状のホッパー本体と、前記ホッパー本体の下端開口部を開閉する底蓋と、前記底蓋を吊り下げる吊持手段と、を有するリチャージ装置において、
前記ホッパー本体に、回り止めを有することを特徴とするリチャージ装置。 - 石英ガラスの略筒状のホッパー本体と、前記ホッパー本体の下端開口部を開閉する錐体の底蓋と、前記底蓋を吊り下げたシャフトと、前記ホッパー本体に設けられホッパー本体を坩堝上方の所定位置に掛止するための第1のストッパーと、を有するリチャージ装置において、
前記ホッパー本体は、上端開口部を覆う天板と、前記天板に穿設されたシャフト挿通用の貫通穴と、を有し、
前記シャフトは、長さ調節が可能な吊り棒と、前記吊り棒の中程に固定され前記ホッパー本体を掛止するための第2のストッパーと、前記底蓋と一体として成形された石英ガラス棒と、前記吊り棒と前記石英ガラス棒とを連結する連結器と、を有することを特徴とするリチャージ装置。 - チョクラルスキー法による単結晶の育成に用いられ、固形原料をルツボ内の原料融液にチャージする原料供給装置であって、
前記固形原料を充填する円筒状の原料供給管と、
前記原料供給管の下方開口端を開閉する円錐状の底蓋と、
前記原料供給管の内部を保護管で被覆されつつ貫通し前記底蓋に連結され、底蓋の下降並びに原料供給管および底蓋の上昇を可能とする吊持部材と、
前記原料供給管の下降を停止させる掛止部材と、
前記吊持部材を介して前記原料供給管および底蓋を吊り下げて昇降可能にする引き上げ手段とを具備し、
前記原料供給管の下方開口端を開放し、ルツボ内の原料融液に前記固形原料を投入することを特徴とする原料供給装置。 - インゴットの原料融液を収容する石英坩堝と、前記石英坩堝を囲繞する黒鉛坩堝と、前記黒鉛坩堝を囲繞するヒータと、前記各部材を収容するチャンバと、チャンバの上部にゲートバルブを介して設けられたサブチャンバと、前記サブチャンバの前面に設けられた開閉可能なサブチャンバ蓋と、前記サブチャンバの内面に設けられたフランジ状のゲートと、上下動可能に支持したシード軸と、前記シード軸に吊り下げられたホッパーと、を有するインゴット引上げ装置において、
前記ホッパーは、ホッパー本体と、シャフトと、底蓋とを有し、
前記ホッパー本体は、略円筒形状の石英ガラスの筒体と、前記筒体の上部を覆う天板と、前記天板に穿設されたシャフト挿通用の貫通穴と、前記筒体の外周に設けられ前記ホッパー本体を前記ゲートに掛止することができる第1のストッパーと、を有し、
前記シャフトは、長さ調節が可能な吊り棒と、前記吊り棒の中程に固定され前記ホッパー本体を掛止することができる第2のストッパーと、前記底蓋と一体として成形された石英ガラス棒と、前記吊り棒と前記石英ガラス棒とを連結する連結器と、前記吊り棒と前記石英ガラス棒と前記連結器とを覆う略円筒形状の石英管と、を有することを特徴とするインゴット引上げ装置。
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