JPH0337183A - 粒状シリコン原料供給装置 - Google Patents

粒状シリコン原料供給装置

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JPH0337183A JP1173676A JP17367689A JPH0337183A JP H0337183 A JPH0337183 A JP H0337183A JP 1173676 A JP1173676 A JP 1173676A JP 17367689 A JP17367689 A JP 17367689A JP H0337183 A JPH0337183 A JP H0337183A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ 本発、明は、チョクラルスキー法によるシリコン単結晶
の製造装置に関する。特に、シリコン粒子をるつぼ内に
供給する粒状シリコン原料供給装置に関する。
［従来の技術］ チョクラルスキー法によるシリコン単結晶のじ１き上げ
装置において粒状シリコン原料を供給しながらシリコン
単結晶の連続引き上げを行う方法が良く知られている。
この場合、シリコン単結晶の育成は不純物の混入を避け
るために減圧不活性ガス雰囲気で行うのが一般的であり
、原料粒子の供給方法としては引き上げチャンバーの直
上に該チャンバーと連通ずる箱体を設け、原料貯蔵ポツ
パーの下部開口より排出されたシリコン粒子を該箱体内
の原料供給フィーダーにより定量供給し、案内管を経て
るつぼに粒状シリコン原°料を供給するものである。
一例として、特公昭６１−１７５３７がある。
［発明が解決しようとする課Ｂ］ 粒状シリコン原料を供給しながら単結晶の育成を行うシ
リコン単結晶の引き上げ装置では、原料である原料貯蔵
ホッパー内のシリコン粒子を使い終わった際に、該ホッ
パー内にシリコン粒子が補給される。このシリコン粒子
の補給は、原料貯蔵ホッパーを内蔵する箱体の一箇所に
引き上げチャンバーとの連通を遮断でき、真空シール可
能な仕切り弁を設け、該仕切り弁を閉じた後、原料貯蔵
ホッパーを内蔵する箱体を常圧に戻して行われるのが一
般的である。
しかし、箱体の一箇所に仕切り弁を設けた場合には、る
つぼにシリコン粒子を導く案内管は該仕切り弁を貫通さ
せて設けることが出来ず、該仕切り弁の前後で２分割さ
れることになる。従って、シリコン粒子をるつぼに供給
する際は、シリコン粒子が該仕切り弁前の案内管より仕
切り弁後の案内管に重力によって自由落下し、落下する
際にシリコン粒子が仕切り弁後の案内管に当たってはね
返ったり、飛散したりして該仕切り弁の弁座面にシリコ
ン粒子が付着したり、堆積したりする。この様に仕切り
弁の弁座面にシリコン粒子が付着した状態では、原料ホ
ッパーに新たにシリコン粒子を補給する際、仕切り弁を
閉じても仕切り弁の弁座面と弁体の間にシリコン粒子が
噛み込み、仕切り弁の真空封じ能力が低下する。この為
に、引き上げチャンバーに空気が混入し、その後のシリ
コン単結晶の引き上げが出来なくなるという問題点があ
る。
［課題を解決するための手段］ 本発明は、前記の問題点を解決し目的を達成するために
なされたものであり、本発明に係わる粒状シリコン原料
供給装置は、シリコン粒子をるつぼ中に供給しながらシ
リコン単結晶を引き上げるシリコン単結晶の製造装置に
おいて、原料貯蔵ホッパーおよび原料供給フィーダーを
内蔵し、引き上げ装置の引き上げチャンバーと連通ずる
箱体に、該チャンバーとの連通を遮断でき、且つ真空シ
ール可能な仕切り弁を設けると共に、該仕切り弁が開の
時、該仕切り弁を貫通し、且つ該仕切り弁が閉の時、該
仕切り弁がら抜き出されるような昇降自在なシリコン粒
子供給管を備えたものである。
［作用］ この発明においては、１本のシリコン単結晶を引き上げ
る毎に原料貯蔵ホッパーを内蔵する箱体に設けられた少
なくとも１箇所の真空シール可能な仕切り弁を閉じ、原
料貯蔵ホッパ一部分のみを常圧に戻してこの原料貯蔵ホ
ッパーにシリコン粒子が補給される。また、シリコン単
結晶を引き上げる際には、該仕切り弁を開け、シリコン
粒子供給管を該仕切り弁を貫通させて設けることにより
原料貯蔵ホッパー内の粒状原料が原料フィーダーにより
該シリコン粒子供給管を経てるつぼ内に定量供給される
。
［実施例コ 第１図は、本発明の一実施例である粒状シリコン原料供
給装置の断面図である。シリコン単結晶の引き上げ装置
の引き上げチャンバー１０の開口部の上部に下端に仕切
り弁１８を有し、原料貯蔵ホッパー１３及び原料供給フ
ィーダー１５を内蔵し、チャンバー１０と連通可能な箱
体１１が設けられる。Ｗ料貯蔵ホッパー１３はホッパー
受は台１４で保持されている。仕切り弁１８の上部には
ロート状案内管１６およびシリコン粒子供給管１９が設
けられる。ロート状案内管１６は案内管受は台１７で支
持されている。引き上げチャンバー１０の開口部には、
はね返り防止板２ｏおよびシリコン粒子２２をるつぼに
導くロート状案内管２１が設けられている。
次に、動作について説明する。
１本のシリコン単結晶を引き上げる毎に、シリコン粒子
供給管１つを図示していない供給管昇降機構により仕切
り弁１８内がら上昇させ、箱体１１の下端にある仕切り
弁１８を閉じ、箱体内を常圧に戻して箱体の上部にボル
ト締められている箱体蓋１２を開けて、引き上げ用原料
であるシリコン粒子２２が原料貯蔵ホッパー１３に補給
される。この際、仕切り弁１８の弁座部分にシリコン粒
子２２が付着し、仕切り弁１８による真空封じ能力が不
十分であると、引き上げチャンバー１０内に大気が混入
し、その後のシリコン単結晶のづき上げが出来なくなる
。
原料貯蔵ホッパー１３にシリコン粒子２２を補給した後
攻のシリコン単結晶を引き上げる場合には、箱体蓋１２
を箱体上部にボルト締めし、箱体１１内部を減圧不活性
ガス雰囲気に置換し、仕切り弁１８が開けられる。
引き上げ作業は箱体１１内の原料貯蔵ホッパー１３に貯
蔵されているシリコン粒子２２を原料供給フィーダー１
５により、単結晶の引き上げ量に相当する量だけ定量供
給しながら行われる。このシリコン粒子供給に際しては
、仕切り弁１８が閉の時に仕切り弁１８より抜きだされ
、ロート状案内管１６の外側に引き上げられていたシリ
コン粒子供給管１９を、図示していない供給管昇降機構
により仕切り弁１８を貫通して下降させ、引き上げチャ
ンバー１０の開口部に設けたはね返り防止板２０の開口
部に挿入する。第２図にシリコン粒子供給管１９を引き
上げチャンバー１０の開口部に設けたはね返り防止板２
０の開口部に挿入した状態を示す。
原料供給フィーダー１５により定量供給されたシリコン
粒子２２は、原料供給フィーダー１５よりロート状案内
管１６を経てロート状案内管２１に重力落下するが、一
部のシリコン粒子はロート状案内管２１の円錐形状部分
に当たってはね返る。前述のようにシリコン粒子供給管
１９を仕切り弁１８を貫通させて設けることにより、は
ね返ったシリコン粒子が仕切り弁１８の弁座部分に付着
し、仕切り弁による真空封じ能力が低下するといった問
題を解決することが出来る。
また、ロート状案内管１６、ロート状案内管２１、シリ
コン粒子供給管１９、はね返り防止板２０等のシリコン
粒子と接する部分の材質を石英、シリコン、またはテフ
ロンとすることにより、シリコン粒子をるつぼ内に供給
する際に粒子内への不純物の混入を防止できる。
［発明の効果］ 以上のように本発明によれば、粒状シリコン原料をるつ
ぼ中に供給しながらシリコン単結晶を引き上げるシリコ
ン単結晶の製造装置において、原料貯蔵ホッパーおよび
原料供給フィーダーを内蔵し、引き上げ装置の引き上げ
チャンバーと連通ずる紐体に、該チャンバーとの連通を
遮断でき且つ真空シール可能な仕切り弁を設けると共に
、該仕切り弁が開の時、該仕切り弁を貫通し、且つ該仕
切り弁が閉の時、該仕切り弁から抜き出されるような昇
降自在なシリコン粒子供給管を備えているので、原料供
給チャンバーの容量が育成する単結晶１本分程度でも、
１本の単結晶を育成するごとに原料貯蔵ホッパーにシリ
コン粒子を補給できるので長時間の連続操業が可能とな
る。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例である粒状シリコン原料供給
装置を示す断面図、第２図は本発明に係わるシリコン粒
子供給管を引き上げチャンバーの開口部に設けた６よね
返り防止板の開口部に挿入した状態を示す断面図である
。 １０・・・引き上げチャンバー １］・・箱体、 ３・・・原料貯蔵ホッパー、１ ８・・・仕切り弁、 ９・・・シリコン粒子供給管、 ２２・・・シリコン粒子。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. シリコン粒子をるつぼ中に供給しながらシリコン単結晶
    を引き上げるシリコン単結晶の製造装置において、原料
    貯蔵ホッパーおよび原料供給フィーダーを内蔵し、引き
    上げ装置の引き上げチャンバーと連通する箱体に、該チ
    ャンバーとの連通を遮断でき且つ真空シール可能な仕切
    り弁を設けると共に、該仕切り弁が開の時、該仕切り弁
    を貫通し、且つ該仕切り弁が閉の時、該仕切り弁から抜
    き出されるような昇降自在なシリコン粒子供給管を備え
    たことを特徴とする粒状シリコン原料供給装置。
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