JPS58170533A - リチヤ−ジ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ンプ状の半導体原料などを供給するためのりチャージ装
置に関する。

半導体結晶をＯ　Ｚ　（ｃｈｏｃｈｒａｌｅｋｉ）法に
より成長させる場合、１回の結晶成長が終結したとき、
常に所定量の融液がルツボ内に残留する。この融液が残
留している状態でルツボを冷却すると、残留融液が凝固
する際の熱膨張とルツボの熱膨張との差によりルツボが
破損して再使用不可能となり、また冷却するだめの時間
や再加熱するための時間７７ハ掛゛、）て運転効率を著
しく低−１させる。この／−め。

１回の結晶成長が終結したどき、ルツボを冷却させずに
次回の結晶成長のだめの原料をルツボ内へ供給すること
が好ましい。ところが、前記ルツボは、常圧または減圧
の不活性ガス雰囲気中で結晶成長を行なう必要性からチ
ャンバ内に納めらね、また原料供給時にもルツボ内の残
留融液が酸化しないように、常圧捷たは減圧の不活性ガ
ス雰囲気は容易でなかった。

本発明の目的は、前述したような情況下にあるルツボ内
等への原料供給を、遠隔操作により的確に行ない得るよ
うにしたりチャージ装置を提供するにある。

本発明の他の目的は、引上機が備えている引上ワイヤま
たは引上軸を利用し、その昇降動作によって原料の投入
を行ない得るようにしたりチャージ装置を提供するにあ
る。

本発明のさらに他の目的は、ルツボ内等へ原装置を提供
するにある。

Ｊ以下本発明の一実施例を示す第１図ないし第３図につ
いて説明する。１ｏは図示しない引上機の引、十−軸で
、この引上軸１ｏの下端にピ刈１により軸１２が着脱可
能に数個けられるようになっている。軸１２の下端には
切欠き部１３ａを設けた口金１３が固着さね、この口金
１３に下端を開放した筒体１４が取付けられている。こ
の筒体１４は、第２図において中央で縦に２つ割りにな
され、各々の筒片１ｉ１ａ、１４ｂはヒンジ１５により
互いに揺動可能に数個けられている。筒体１４は、内面
側１６がＳｉ、　Ｍ（、等の耐熱材または５ｉＣ−８ｉ
ａＮａ等の耐熱セラミックス材で形成され、外面側１７
がステンレス板等の耐腐蝕性材料で被われている。筒片
１４ａ、１４ｂの下端には、ちょう＠１８により底板１
９ａ、１９ｂが取付けられている。

底板１’？ａ、ｌ’／ｂの両側先端にはワイヤなどの底
板開閉部拐（以下ワイヤとして説明する）　２０ａ。

２０ｂが連結されている。これらのワイヤ２０ａ、２０
ｂは、互いに逆側の筒片１４ｂ、１４ａの外面に設け／
こガイド２１に導かれ、該筒片１４ｂ、１４ａの外面に
沿って上方へ伸びている。ワイヤ２０ａ、２０ｂは、軸
１２の上端寄りにアーム２２を介して取付けられた滑車
２３に巻掛けられて下方に向けられ、軸１２に摺動可能
に係合された重錘２４に連結されている。

前記ワイヤ２０ａ、　２０ｂには、底板１４ａ、１４ｂ
と滑車２３の間でかつ重錘２４の上方に位置する個所に
当金２５が止めねじ２６により位置調整可能に固定され
ている。この当金２５は、その中央が軸１２に摺動可能
に係合されると共に、軸１２に形成した平らなガイド面
２７と駒２８により軸１２に対する回転を規制されてい
る。この当金２５は、引上機などの被りチャージ側に設
けたストッパ２９に対し、軸１２が所定の角位置の範囲
内にあるとき当接し、それ以外の角位置にあるときには
上下方向へ通過し得るようになっている。

次いで本装置の動作について説明する。ピン１１により
本装置を引上軸１０に連結する前に、本装置を横または
斜めにして口金１３の切欠き部１３ａがらランプ状半導
体原料などの原料を筒体１４内へ入れる。次いで本装置
を立ててビン１１により軸１２を引上軸１０に連結する
。このとき重錘２４は軸１２に沿って下降し、ワイヤ２
０ａ、　２０ｂの底板１９ａ、１９ｂに連結されている
側を上方へ引張り、底板ｌ　９ａ、　１９ｂに対して閉
じる方向の力を付与すると共に、該ワイヤ２０ａ、　２
０ｂが互いに逆側の筒片１４ｂ、１４ａ側から底板１９
ａ、１９ｂに連結されているため、筒片１４ａ、　１４
ｂに対してもこれらを閉じる方向の力を八 付与する。そこで、筒片１４ａ、１４ｂおよび底板１９
ａ＋１’？ｂは第２図に示すように互いに閉じた状態を
保って引上軸１０に吊るされる。こうして、本装置を引
−に軸１０に吊るしたならば、該引上軸ｉｏを当金２５
がストッパ２９に当接しない角位置に回転させて下降さ
せる。引上軸１０の下降に伴って本装置が下降し、底板
ｌ’？ａ、１９ｂが第２図に示すようにルツボ３０内の
残留融液３１の固化表面３２に接近したところで引上軸
１０の下降を停止させる。このとき、当金２５がストッ
パ２９より若干下方に位置するように、予じめこれらの
関係部材の位置を定めておく。

次いで当金２５とストッパ２９を当接させ得る角位置へ
引上軸１０を回転させ、該引上軸１０を比較的ゆるやか
に上昇させる。この引上軸１０の上昇に伴って本装置が
上昇し、当金２５も上昇する。本装置が若干上昇すると
、当金２５がストッパ２９に当接する。

そこで、軸１２、口金１３、筒体１４、底板１９ａ、　
１９ｂは引上軸１０の上昇に伴って引続き上昇するが、
当金２５は上昇を阻止され、前記軸１２等の上昇に伴っ
て重錘２４を軸１２に対して相対的に上昇させる。この
ため、当金２５およびこれから底板１９ａ、１９ｂまで
伸びているワイヤ２０ａ、　２０ｂは、第３図に７］ｅ
すように、筒体１４の上昇に伴って相対的に下降するこ
とになる。そこで、ワイヤ２０ａ、　２０ｂによる底板
１’？ａ、１９ｂおよび筒片１４ａ、　１４ｂは、該筒
片１４ａ。

１４１）内に収納されている原料の重力により、次第に
開かれ、前記原料をルツボ３０内に落下させる。

このとき、筒片１４ａ、１４ｂが上昇しながら底板１９
ａ。

＋９ｂが次第に開いていくためＪ底板１９ａ、１９ｂが
開き始める位置を残留融液３１の固化表面３２に接近さ
せることができ、原料の落下距離をより小さく押えるこ
とができる。しかも原料の落下に伴って筒体１４がに昇
するため、原料投入開始時の原料の落″下をより静かに
行なうことができる。

底板１９ａ、１９ｂが第３図に示すように全開状態にな
った後は、筒体１４をさらに上昇させるか、またはルツ
ボ３０を下降させるかのいずれかにより筒体１４内に残
っている原料をすべてルツボ３０内へ排出する。この排
出は、筒体１４の上昇速度またＩｔｉルツボ３０の下降
速度を適宜な値に定めることにより比較的静かに行なわ
れる。

こうして、筒体１４内の全原料をルツボ３０内へ投入し
終ったならば、ルツボ３０を所定量下降させて投入され
た原料と底板１９ａ、　１９ｂとの間に所定量の空間を
設け、引上軸１０を下降させて、底板１９ａ。

１９ｂおよび筒片＋４ａ、＋４ｂを第２図に示す初期の
状態に戻し、さらに当金２５とストツノ々２９が当接し
ない角位置へ引上軸１０を回転させて、引上軸１０を上
昇させ、ビン１１を抜いて本装置を引上軸１０から外す
ことにより１回のりチャージを終了する。

前述した実施例は、底板１９ａ、　１９ｂを閉じるため
の力をワイヤ２０ａ、、２０ｂに付与する手段として重
錘２４を用いた例を示したが、これに限らずバネ。

ヤ２０ａ、　２０ｂによらずロッドとリンクなどを用い
てもよく、さらにまた底板１９ａ、１９ｂの開閉手段と
してロッドとリンクなどの剛体を用いた場合には、これ
を前述した実施例の場合とは逆に下方へ押圧したとき底
板ｌ’？ａ、　１９ｂを閉じるようにしておき、筒体１
４を下降させつつ底板１９ａ、１９ｂを開くよりにすれ
ば、引上軸ｌｏｔたけこれに代る引上ワイヤを回転させ
ることなく、単に下降させるのみでよい等種々変更可能
である。

以上述べたように本発明によれば、引−ヒワイヤまたは
引上軸等により本装置を昇降させ、場合によっては昇降
および回転させることのみで、原料をリチャージするこ
とができ、このため遠隔操イ１によって簡単かつ的確に
リチャージができ、さらに筒体の下端を残留融液の固化
表面により接近させた状態から筒体を上昇させつつ底板
を開くようにすれば、リチャージ開始時の原料落下をよ
り静かに行なうことができる等の効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるリチャージ装置の一実施例を示す
側面図、第２図は第１図のＩ［−Ｉ［線による断面図、
第３図は第２図と同一部分の断面で底板が開いた状態を
示す図である。 １０・　・・引上軸、１１・・・・・・　ビン、１２・
・・・・・・・軌１３・・・　口金、　　１４・・・・
・・・・筒体、１４ａ、１４ｂ・・・・・・底板、２０
ａ、２０ｂ・・・・曲・ワイヤ（底板開閉部材）、２３
・・・・・・・滑車、２４・・・・・・重錘（付勢手段
）、２５・・・・・・・・当金、２６・・・・　止めね
じ、２７・・・・・・・ガイド面、２８・・・・駒、　
　　２９・・・・・・・・・ストッパ、３０・・・・・
・・ルツボ、３１・・・・・・・・・残留融液、３２・
・・・・・　固化表面。 出願人　東芝機械株式会社

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １　下端が開放され上端が引上ワイヤまたは引上軸に連
   結可能になされた筒体と、同筒体の下端にヒンジにより
   揺動可能に取付けられた１ないし複数枚の底板と、前記
   筒体に沿って移動可能に設けられると共に前記底板に該
   底板を開閉可能に連結された底板開閉部材と、同底板開
   閉部材に対し底板が閉じる方向への力を付与する重錘も
   しくはバネなどの付勢手段と、被りチャージ側に固設さ
   れ材に取付けられた当金とからなるリチャージ装置。 ２、底板開閉部材が、当金を上昇させる方向へ移動した
   とき底板を閉じ、これと逆の方向へ移動したとき底板を
   開くように構成されている特許請求の範囲第１項記載の
   りチャージ装置。 ３底板開閉部材が、筒体に沿って上下に伸びるワイヤで
   形成され、その下端が底板の先端に連結されると共に上
   端側が滑車を介して下方に向けられその先端に付勢手段
   である重錘を連結した特許請求の範囲第２項記載のりチ
   ャージ装置。 ４、　当金が、ワイヤの下端から滑車に至るまでの間に
   位置調整可能に固定されている特許請求の範囲第３項記
   載のりチャージ装置。 ５、　重錘および当金が、筒体を支持するためその上部
   に接続されている軸に摺動可能に係合されている特許請
   求の範囲第４項記載のリチャー４置。