JP2008235498A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】互いに種類が異なる複数の容量素子を半導体基板1上に積み重ねて配置して並列に接続する。これらの容量素子は、同じ平面領域に配置し、平面寸法をほぼ同じにする。下側の容量素子は、半導体基板1に設けたn型半導体領域4と、n型半導体領域4上に絶縁膜5を介して設けた上部電極6とを両電極とするMOS型の容量素子C1とすることができる。容量素子C1の上部に配線M2〜M6の櫛型のパターンにより形成したMIM型の容量素子を配置し、これを容量素子C1と並列に接続する。
【選択図】図2
Description
本実施の形態の半導体装置を図面を参照して説明する。本実施の形態の半導体装置は、容量素子を有する半導体装置である。
ここで、式中のCは図11〜図13の縦軸に対応する容量値、式中のVは図11〜図13の横軸に対応する電圧値である。VC0は電圧ゼロのときの容量値である。
ここで、VC1=a/VC0、VC2=b/VC0として表すと、
C=(1+VC1×V+VC2×V2)×VC0
ここで、上記VC1は、電圧の一次係数(電圧Vの一乗の係数)、上記VC2は、電圧の二次係数(電圧Vの二乗の係数)に相当する。
図15は、本実施の形態の半導体装置の要部断面図であり、図16は、本実施の形態の半導体装置の要部平面図である。図15は、上記実施の形態1の図2に対応するものであり、図16は、上記実施の形態1の図6に対応するものである。従って、図16のA−A線の断面が図15に対応する。
図17は、本実施の形態の半導体装置の要部回路図であり、図18および図19は、本実施の形態の半導体装置の要部断面図であり、図20および図21は、本実施の形態の半導体装置の要部平面図である。
図23は、本実施の形態の半導体装置の要部回路図であり、上記実施の形態3の図18に対応するものである。図24および図25は、本実施の形態の半導体装置の要部断面図であり、上記実施の形態3の図18および図19にそれぞれ対応するものである。
上記実施の形態1では、キャパシタ形成領域において、容量素子C1,C2を形成していたが、本実施の形態では、MOS型の容量素子C1の代わりにPIP型の容量素子C4を形成する。
図30は、本実施の形態の半導体装置の要部回路図であり、上記実施の形態3の図17に対応するものである。図31および図32は、本実施の形態である半導体装置の要部断面図であり、上記実施の形態3の図18および図19にそれぞれ対応するものである。
これまで説明した実施の形態1〜6では、互いに種類が異なる複数の容量素子(上記実施の形態1,2では容量素子C1,C2、上記実施の形態3では容量素子C1,C2,C3、上記実施の形態4では容量素子C2,C3、上記実施の形態5では容量素子C4,C2、上記実施の形態6では容量素子C4,C2,C3に対応)が、半導体基板1上に積み重ねられて配置され、並列に接続されている。また、それら容量素子C1〜C4は、互いに種類が異なる容量素子であるが、互いに特性(C−V特性、すなわち容量の電圧依存性)が異なる容量素子でもある。
図33のように下部電極43を複数設けた場合も、上記実施の形態3で説明したように、容量素子C3の複数の下部電極43と、容量素子C2の第1電極(配線M2〜M6の金属パターンMP1,MP3からなる第1電極)とが、平面的に重なる(好ましくは同じ)位置に形成された配線M2〜M6の配線部MC1,MC3および配線M7の配線部M7aと、それらの間を接続するプラグを介して電気的に接続される。また、上記実施の形態3で説明したように、容量素子C3の複数の上部電極49と、容量素子C2の第2電極(配線M2〜M6の金属パターンMP2,MP4からなる第2電極)とが、平面的に重なる(好ましくは同じ)位置に形成された配線M2〜M6の配線部MC2,MC4および配線M7の配線部M7bと、それらの間を接続するプラグを介して電気的に接続される。
2 素子分離領域
3 ウエル領域
4 n型半導体領域
5 絶縁膜
6 上部電極
7 n型半導体領域
11,14,17,18,21,22,25,26,29,30,33,34,37,38,41,46,50 絶縁膜
12,12a,12b,12c,12d コンタクトホール
13,13a,13b,13c,13d プラグ
15,19,23,27,31,35,39,44 スルーホール
16,20,24,28,32,36,40,45 プラグ
42 下部電極用開口部
43 下部電極
47,48 導体膜
49 上部電極
51 開口部
52 ボンディングパッド
C1,C2,C3,C4 容量素子
M1,M2,M3,M4,M5,M6,M7 配線
M1a,M1b,M7a,M7b,M7c 配線部
MC1,MC2,MC3,MC4 配線部
MD1,MD2,MD3,MD4 配線部
MP1,MP2,MP3,MP4 金属パターン
L1,L2,L3、W1,W2,W3 寸法
Claims (20)
- 半導体基板と、
前記半導体基板上に積み重ねられて配置された、互いに種類が異なる複数の容量素子と、
を有し、
前記複数の容量素子が並列に接続されていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1記載の半導体装置において、
前記複数の容量素子は、同じ平面領域の異なる層に配置されていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1記載の半導体装置において、
MOS型容量素子またはPIP型容量素子からなる第1種類の容量素子と、同層の金属パターン間の容量を利用した第2種類の容量素子と、下部金属電極と前記下部金属電極上の上部金属電極との間の容量を利用した第3種類の容量素子とのうち、少なくとも2種類の容量素子を前記複数の容量素子が含んでいることを特徴とする半導体装置。 - 請求項3記載の半導体装置において、
前記第1種類の容量素子は前記第2種類の容量素子よりも下層に配置され、前記第3種類の容量素子は前記第2種類の容量素子よりも上層に配置されることを特徴とする半導体装置。 - 請求項3記載の半導体装置において、
前記MOS型容量素子は、前記半導体基板の一部を下部電極とし、前記半導体基板上に第1絶縁膜を介して形成された導体層を上部電極とする容量素子であり、
前記PIP型容量素子は、前記半導体基板上に形成された第1多結晶シリコン層を下部電極とし、前記第1多結晶シリコン層上に第2絶縁膜を介して形成された第2多結晶シリコン層を上部電極とする容量素子であることを特徴とする半導体装置。 - 請求項3記載の半導体装置において、
前記第3種類の容量素子は、前記下部金属電極と前記上部金属電極との間の容量を利用するが、同層の金属パターン間の容量は利用していない容量素子であることを特徴とする半導体装置。 - 請求項6記載の半導体装置において、
前記第3種類の容量素子の前記上部金属電極が、前記半導体装置のボンディングパッド電極用の金属層と同層の金属層を利用して形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項3記載の半導体装置において、
前記第2種類の容量素子は、同層に形成された第1金属パターンおよび第2金属パターン間の容量を利用した容量素子であり、
前記第1金属パターンは、第1方向に延在する複数の第1導体部が、前記第1方向に交差する第2方向に延在する第1連結部で連結されたパターン形状を有し、
前記第2金属パターンは、前記第1方向に延在しかつ前記複数の第1導体部の間にそれぞれ配置された複数の第2導体部が、前記第2方向に延在する第2連結部で連結されたパターン形状を有していることを特徴とする半導体装置。 - 請求項3記載の半導体装置において、
前記第2種類の容量素子を形成する前記金属パターンは、前記半導体基板上に形成された配線層により形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項9記載の半導体装置において、
前記半導体基板上に形成された複数の配線層を有し、
前記第2種類の容量素子を形成する前記金属パターンは、前記複数の配線層の1層以上に形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項9記載の半導体装置において、
前記半導体基板上に形成された複数の配線層を有し、
前記第2種類の容量素子を形成する前記金属パターンは、前記複数の配線層のうちの2層以上に形成されており、
同層の前記金属パターン間の容量と、異なる層の前記金属パターン間の容量とを利用して前記第2種類の容量素子が形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1記載の半導体装置において、
前記半導体基板上に形成された、互いに異なる層でかつ平面的に重なる位置に配置された複数の配線部を有し、
前記複数の容量素子が、前記複数の配線部を利用して接続されていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1記載の半導体装置において、
前記複数の容量素子は、平面寸法がほぼ同じであることを特徴とする半導体装置。 - 半導体基板と、
前記半導体基板上に積み重ねられて配置された、互いに特性が異なる複数の容量素子と、
を有し、
前記複数の容量素子が並列に接続されていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項14記載の半導体装置において、
前記複数の容量素子は、同じ平面領域の異なる層に配置されていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項14記載の半導体装置において、
前記複数の容量素子は、平面寸法がほぼ同じであることを特徴とする半導体装置。 - 請求項14記載の半導体装置において、
MOS型容量素子またはPIP型容量素子からなる第1種類の容量素子と、同層の金属パターン間の容量を利用した第2種類の容量素子と、下部金属電極と前記下部金属電極上の上部金属電極との間の容量を利用した第3種類の容量素子とのうち、少なくとも2種類の容量素子を前記複数の容量素子が含んでいることを特徴とする半導体装置。 - 請求項17記載の半導体装置において、
前記第1種類の容量素子は前記第2種類の容量素子よりも下層に配置され、前記第3種類の容量素子は前記第2種類の容量素子よりも上層に配置されることを特徴とする半導体装置。 - 請求項17記載の半導体装置において、
前記第3種類の容量素子は、前記下部金属電極と前記上部金属電極との間の容量を利用するが、同層の金属パターン間の容量は利用していない容量素子であることを特徴とする半導体装置。 - 請求項14記載の半導体装置において、
前記半導体基板上に形成された、互いに異なる層でかつ平面的に重なる位置に配置された複数の配線部を有し、
前記複数の容量素子が、前記複数の配線部を利用して接続されていることを特徴とする半導体装置。
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