JP2008229610A - ハロゲン系ガスの除害剤及びそれを使用するハロゲン系ガスの除害方法 - Google Patents
ハロゲン系ガスの除害剤及びそれを使用するハロゲン系ガスの除害方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008229610A JP2008229610A JP2007307023A JP2007307023A JP2008229610A JP 2008229610 A JP2008229610 A JP 2008229610A JP 2007307023 A JP2007307023 A JP 2007307023A JP 2007307023 A JP2007307023 A JP 2007307023A JP 2008229610 A JP2008229610 A JP 2008229610A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- halogen
- zeolite
- based gas
- agent
- detoxifying
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Treating Waste Gases (AREA)
- Solid-Sorbent Or Filter-Aiding Compositions (AREA)
- Silicates, Zeolites, And Molecular Sieves (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Abstract
【解決手段】SiO2/Al2O3モル比が2.0〜2.3のフォージャサイト型ゼオライト、カチオンとしてアルカリ金属および/またはアルカリ土類金属を少なくとも1種を含有するハロゲン系ガス除害剤を用いる。バインダー含有量が10%以下の成形体が好ましく、特にバインダーレス剤であることが好ましい。カチオンはNa及び/又はKからなる群から選ばれる少なくとも1種であることが好ましい。
【選択図】 なし
Description
ゼオライト粉末としてLSXゼオライト(SiO2/Al2O3モル比2.0のフォージャサイト型ゼオライト)を使用してハロゲン系ガスの除害剤を調製した。LSXゼオライトの合成は以下のようにして行った。
実施例1で合成されたLSXゼオライト100重量部に対してカオリン粘土を25重量部、CMC(カルボキシメチルセルロース)4重量部とを混合し、水を適宜加えながら最終的にLSX粉末100重量部に対して75重量部となるように調整した後、1時間混練した。この混練物を直径1.5mmの円柱状に成形し、長さは3〜5mmに調整した後に、200℃で乾燥した。次いで乾燥空気流通下において、600℃で3時間焼成した後に、大気中で冷却して水分が20〜25%になるように加湿した。
実施例2と同様にして成形体を造粒した。得られた成形体を内径108mm、高さ1500mmのカラムに充填してバインダーレス化を行った。バインダーレス化には、NaOH濃度2.2mol/L、SiO2濃度1.0wt%の溶液を30リットル使用し、溶液を循環させながら温度90℃で6時間反応させてフォージャサイト型ゼオライトへ転化した。次いでカラムに充填したまま水で十分に洗浄した。得られた除害剤のSiO2/Al2O3モル比は2.1であり、カチオンはNa89mol%及びK11mol%であった。活性化処理及びハロゲン系ガスの除害評価は実施例1と同じ操作を行った。除害剤の除害能力の結果を表1に示す。
バインダーレス化までは実施例3と同様に操作し、バインダーレス化後にNa交換を行った。Na交換、活性化処理、除害評価は実施例1と同様に行った。なおカチオンはNa99mol%、K1mol%であった。除害剤の除害能力の結果を表1に示す。
ゼオライト粉末として東ソー製F−9粉末(SiO2/Al2O3モル比2.5、カチオンがNaであるフォージャサイト型ゼオライト)を使用し、成形、焼成、バインダーレス化は実施例3と同様に行った。ハロゲン系ガスの除害評価は実施例1と同じ操作を行った。除害剤の除害能力の結果を表1に示す。
ゼオライト粉末として東ソー製F−9粉末(SiO2/Al2O3モル比2.5、カチオンがNaであるフォージャサイト型ゼオライト)を使用して実施例2と同様の操作を行い、バインダーレス化は行わなかった。ハロゲン系ガスの除害評価は実施例1と同じ操作を行った。除害剤の除害能力の結果を表1に示す。
ゼオライト粉末として東ソー製A−4粉末(SiO2/Al2O3モル比2.0のA型ゼオライト)を使用し、該ゼオライト粉末100重量部に対してカオリン粘土を25重量部、CMC(カルボキシメチルセルロース)4重量部を混合し、水を適宜加えながら最終的にA−4粉末100重量部に対して70重量部となるように調整した後、1時間混練した。この混練物を押出し直径1.5mmの円柱状に成形し、長さは3〜5mmに調整した後に、200℃で乾燥した。次いで乾燥空気流通下において、600℃で3時間焼成した後に、大気中で冷却して水分が20〜25%になるように加湿した。
ゼオライト粉末として東ソー製HSZ−320NAA(SiO2/Al2O3モル比5.5のフォージャサイト型ゼオライト)を使用したこと以外は、実施例3と同様に操作した。得られた除害剤のSiO2/Al2O3モル比は5.0であり、カチオンはNaのみであった。ハロゲン系ガスの除害評価は実施例1と同じ操作を行った。除害剤の除害能力の結果を表1に示す。
Claims (5)
- SiO2/Al2O3モル比が2.0〜2.3のフォージャサイト型ゼオライト、カチオンとしてアルカリ金属および/またはアルカリ土類金属を少なくとも1種を含有することを特徴とするハロゲン系ガス除害剤。
- バインダー含有量が10%以下の成形体である請求項1に記載のハロゲン系ガス除害剤。
- カチオンがNa及び/又はKからなる群から選ばれる少なくとも1種を含有する請求項1〜2に記載のハロゲン系ガスの除害剤。
- カチオンとしてNa70mol%以上、Kが30mol%以下を含有する請求項1〜3に記載のハロゲン系ガスの除害剤。
- ハロゲン系ガスを請求項1〜4のいずれかに記載のハロゲン系ガスの除害剤と接触させることを特徴とするハロゲン系ガスの除害方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007307023A JP5145904B2 (ja) | 2007-02-21 | 2007-11-28 | ハロゲン系ガスの除害剤及びそれを使用するハロゲン系ガスの除害方法 |
KR1020080015430A KR101448271B1 (ko) | 2007-02-21 | 2008-02-20 | 할로겐계 가스의 제해제 및 그것을 사용하는 할로겐계가스의 제해방법 |
TW97105936A TWI406702B (zh) | 2007-02-21 | 2008-02-20 | 鹵素系氣體除害劑及使用其之鹵素系氣體之除害方法 |
US12/071,394 US8282900B2 (en) | 2007-02-21 | 2008-02-20 | Agent for rendering halogen-containing gas harmless, and method of rendering halogen-containing gas harmless using same |
EP08003066A EP1967254B1 (en) | 2007-02-21 | 2008-02-20 | Use of a faujasite and method for the adsorption of halogen-containing gases |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007040876 | 2007-02-21 | ||
JP2007040876 | 2007-02-21 | ||
JP2007307023A JP5145904B2 (ja) | 2007-02-21 | 2007-11-28 | ハロゲン系ガスの除害剤及びそれを使用するハロゲン系ガスの除害方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008229610A true JP2008229610A (ja) | 2008-10-02 |
JP5145904B2 JP5145904B2 (ja) | 2013-02-20 |
Family
ID=39903034
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007307023A Expired - Fee Related JP5145904B2 (ja) | 2007-02-21 | 2007-11-28 | ハロゲン系ガスの除害剤及びそれを使用するハロゲン系ガスの除害方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5145904B2 (ja) |
TW (1) | TWI406702B (ja) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010137174A (ja) * | 2008-12-12 | 2010-06-24 | Tosoh Corp | ハロゲン系ガスの除害剤及びそれを使用するハロゲン系ガスの除害方法 |
JP2011514839A (ja) * | 2008-03-03 | 2011-05-12 | ヒェミーヴェルク バット ケーストリッツ ゲーエム ベーハー | 吸着性粒状物およびその製造方法 |
JP2011200750A (ja) * | 2010-03-24 | 2011-10-13 | Ube Industries Ltd | ハロゲン系ガスの除去方法 |
JP2012143741A (ja) * | 2011-01-07 | 2012-08-02 | Kocat Inc | 排ガス吸着剤及びそれを利用した排ガス処理方法 |
JP2013159526A (ja) * | 2012-02-06 | 2013-08-19 | Nissan Motor Co Ltd | ミクロポーラス炭素系材料の製造方法 |
JP2016155072A (ja) * | 2015-02-24 | 2016-09-01 | 宇部興産株式会社 | ハロゲン系ガスの処理剤及びハロゲン系ガスの処理方法 |
KR20230125025A (ko) | 2020-12-25 | 2023-08-28 | 가부시끼가이샤 레조낙 | 염소 가스 분해용 촉매, 배출 가스 처리 장치 및 염소가스의 분해 방법 |
JP7354898B2 (ja) | 2019-08-27 | 2023-10-03 | 住友金属鉱山株式会社 | 排ガス処理方法および炭化珪素多結晶ウエハの製造方法 |
CN117165789A (zh) * | 2023-10-27 | 2023-12-05 | 海朴精密材料(苏州)有限责任公司 | 一种钨化学气相沉积生产废气的资源化利用方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01213243A (ja) * | 1988-02-19 | 1989-08-28 | Toray Ind Inc | 1―ブロム―3,5―ジクロルベンゼンの分離方法 |
JPH0256242A (ja) * | 1988-08-19 | 1990-02-26 | Agency Of Ind Science & Technol | 気体状有機ハロゲン化合物の吸着剤 |
JP2000070647A (ja) * | 1998-09-01 | 2000-03-07 | Akio Henmi | 人工ゼオライトによるダイオキシンを主とした環境ホルモンなど有害化学物質の吸着除去および分解の方法 |
JP2004181299A (ja) * | 2002-11-29 | 2004-07-02 | Kanto Denka Kogyo Co Ltd | ベントガスの除害方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0826631B1 (en) * | 1996-08-30 | 2001-12-05 | Tosoh Corporation | Heat-resistant low-silica zeolite, and process for production and application thereof |
US6171370B1 (en) * | 1998-03-04 | 2001-01-09 | Tosoh Corporation | Adsorbent for separating gases |
US6183539B1 (en) * | 1998-07-01 | 2001-02-06 | Zeochem Co. | Molecular sieve adsorbent for gas purification and preparation thereof |
-
2007
- 2007-11-28 JP JP2007307023A patent/JP5145904B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2008
- 2008-02-20 TW TW97105936A patent/TWI406702B/zh not_active IP Right Cessation
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01213243A (ja) * | 1988-02-19 | 1989-08-28 | Toray Ind Inc | 1―ブロム―3,5―ジクロルベンゼンの分離方法 |
JPH0256242A (ja) * | 1988-08-19 | 1990-02-26 | Agency Of Ind Science & Technol | 気体状有機ハロゲン化合物の吸着剤 |
JP2000070647A (ja) * | 1998-09-01 | 2000-03-07 | Akio Henmi | 人工ゼオライトによるダイオキシンを主とした環境ホルモンなど有害化学物質の吸着除去および分解の方法 |
JP2004181299A (ja) * | 2002-11-29 | 2004-07-02 | Kanto Denka Kogyo Co Ltd | ベントガスの除害方法 |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011514839A (ja) * | 2008-03-03 | 2011-05-12 | ヒェミーヴェルク バット ケーストリッツ ゲーエム ベーハー | 吸着性粒状物およびその製造方法 |
JP2010137174A (ja) * | 2008-12-12 | 2010-06-24 | Tosoh Corp | ハロゲン系ガスの除害剤及びそれを使用するハロゲン系ガスの除害方法 |
JP2011200750A (ja) * | 2010-03-24 | 2011-10-13 | Ube Industries Ltd | ハロゲン系ガスの除去方法 |
JP2012143741A (ja) * | 2011-01-07 | 2012-08-02 | Kocat Inc | 排ガス吸着剤及びそれを利用した排ガス処理方法 |
JP2013159526A (ja) * | 2012-02-06 | 2013-08-19 | Nissan Motor Co Ltd | ミクロポーラス炭素系材料の製造方法 |
JP2016155072A (ja) * | 2015-02-24 | 2016-09-01 | 宇部興産株式会社 | ハロゲン系ガスの処理剤及びハロゲン系ガスの処理方法 |
JP7354898B2 (ja) | 2019-08-27 | 2023-10-03 | 住友金属鉱山株式会社 | 排ガス処理方法および炭化珪素多結晶ウエハの製造方法 |
KR20230125025A (ko) | 2020-12-25 | 2023-08-28 | 가부시끼가이샤 레조낙 | 염소 가스 분해용 촉매, 배출 가스 처리 장치 및 염소가스의 분해 방법 |
CN117165789A (zh) * | 2023-10-27 | 2023-12-05 | 海朴精密材料(苏州)有限责任公司 | 一种钨化学气相沉积生产废气的资源化利用方法 |
CN117165789B (zh) * | 2023-10-27 | 2023-12-29 | 海朴精密材料(苏州)有限责任公司 | 一种钨化学气相沉积生产废气的资源化利用方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5145904B2 (ja) | 2013-02-20 |
TW200906473A (en) | 2009-02-16 |
TWI406702B (zh) | 2013-09-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5145904B2 (ja) | ハロゲン系ガスの除害剤及びそれを使用するハロゲン系ガスの除害方法 | |
JP5375890B2 (ja) | 二酸化炭素の吸着分離方法 | |
JP5309945B2 (ja) | ハロゲン系ガスの除害剤及びそれを使用するハロゲン系ガスの除害方法 | |
JP5181869B2 (ja) | Pfc吸着剤及びそれを用いたpfc除害方法 | |
JP4648977B2 (ja) | 高温用途のハロゲン化物捕捉剤 | |
KR20190116291A (ko) | 할로겐 가스의 제거제, 이의 제조방법, 이를 이용한 할로겐 가스 제거방법 및 할로겐 가스를 제거하는 시스템 | |
EP1967254B1 (en) | Use of a faujasite and method for the adsorption of halogen-containing gases | |
JP2581642B2 (ja) | エッチング排ガス除害剤及び排ガス処理方法 | |
JP4564242B2 (ja) | 三フッ化塩素を含む無機ハロゲン化ガス含有排ガスの処理方法、処理剤及び処理装置 | |
JP2001219056A (ja) | ダイオキシン類の吸着材 | |
JP5499816B2 (ja) | ハロゲン系ガスの除去方法 | |
JP5350809B2 (ja) | 予備処理槽を備えた排ガス処理装置 | |
JP4873108B2 (ja) | 二酸化炭素の吸着分離方法 | |
JPH1170319A (ja) | 無機ハロゲン化ガスを含有する排ガスの処理方法及び処理装置 | |
CN112930323B (zh) | Pentasil型沸石和其制造方法 | |
JP2009082785A (ja) | 有害物質含有ガスの処理方法及び装置 | |
KR100684201B1 (ko) | 불소 포함 배기가스의 처리방법 및 이의 방법을 사용하기위한 흡착 컬럼 장치 | |
JP2002018226A (ja) | 二酸化炭素の吸着分離方法 | |
JPH0417082B2 (ja) | ||
JP2004181299A (ja) | ベントガスの除害方法 | |
JP3345607B2 (ja) | 酸性ガスと反応したハイドログロシュラーの再生方法 | |
JPH057044B2 (ja) | ||
TWI352616B (en) | Method for treating gas containing fluorine compou | |
JP2608394B2 (ja) | 除去剤 | |
JP2020185533A (ja) | 塩化水素除去剤 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20101012 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110920 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111108 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120710 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121002 |
|
A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20121015 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121030 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121112 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5145904 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151207 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |