JP2008205474A - 多層圧電セラミックアクチュエータ、および多層圧電セラミックアクチュエータの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】前記課題は、セキュリティ層材料である第2の材料の焼結度を、内部電極材料である第3の材料の焼結度と、該第2の材料および第3の材料それぞれにおける焼結を示す焼結度および/または該第2の材料と第3の材料との間の表面における焼結を示す焼結度と、圧電セラミック層材料である第1の材料の焼結度より低くすることによって解決される。
【選択図】図1
Description
・焼結温度で焼結される圧電セラミックの第1の材料を含む複数の圧電セラミック層(12)と、
・第2の材料を含んでおり、2つの圧電セラミック層(12)間に配置されるセキュリティ層(20)と、
・第3の材料を含んでいる複数の内部電極(16,18)と
を有しており、
各内部電極(16,18)は2つの圧電セラミック層(12)間に設けられており、
該第2の材料の焼結度は、該第3の材料の焼結度と、該第2の材料および第3の材料それぞれにおける焼結を示す焼結度および/または該第2の材料と第3の材料との間の表面における焼結を示す焼結度と、該第1の材料の焼結度より低くされることを特徴とする、多層圧電セラミックアクチュエータ
によって解決される。
12 圧電セラミック層
14 頂部層/底部層
16,18 内部電極
20 セキュリティ層
22 第1の外部電極
24 サブスタック
30 粒子
32 接触点
40 隙間
Claims (12)
- 多層圧電セラミックアクチュエータ(10)において、
・焼結温度で焼結される圧電セラミックの第1の材料を含む複数の圧電セラミック層(12)と、
・第2の材料を含んでおり、2つの圧電セラミック層(12)間に配置されるセキュリティ層(20)と、
・第3の材料を含んでいる複数の内部電極(16,18)と
を有しており、
各内部電極(16,18)は2つの圧電セラミック層(12)間に設けられており、
該第2の材料の焼結度は、該第3の材料の焼結度と、該第2の材料および第3の材料それぞれにおける焼結を示す焼結度および/または該第2の材料と第3の材料との間の表面における焼結を示す焼結度と、該第1の材料の焼結度より低くされることを特徴とする、多層圧電セラミックアクチュエータ。 - 前記第2の材料の融点は前記第3の材料の融点より高い、請求項1記載の多層圧電セラミックアクチュエータ。
- 前記第2の材料は、実質的にPdまたはPtである、請求項1または2記載の多層圧電セラミックアクチュエータ。
- 前記第2の材料の粒子の表面積と体積との平均比は、前記第3の材料の表面積と体積との平均比より小さい、請求項1から3までのいずれか1項記載の多層圧電セラミックアクチュエータ。
- 前記第2の材料の粒子の平均サイズは、前記第3の材料の粒子の平均サイズより大きい、請求項1から4までのいずれか1項記載の多層圧電セラミックアクチュエータ。
- 前記第2の材料の粒子の平均的形状は、前記第3の材料の粒子の平均的形状と異なる、請求項1から5までのいずれか1項記載の多層圧電セラミックアクチュエータ。
- 前記第2の材料の粒子の表面は浸出されている、請求項1から6までのいずれか1項記載の多層圧電セラミックアクチュエータ。
- 前記第2の材料の粒子は、焼結活性度を低減するコーティングを提供する、請求項1から7までのいずれか1項記載の多層圧電セラミックアクチュエータ。
- 多層圧電セラミックアクチュエータ(10)の製造方法において、
・後の加熱ステップで圧電セラミック材料を含む圧電セラミック層(12)に変換される複数のグリーン層を提供するステップ(91)と、
・セキュリティ層材料を提供するステップ(92)と、
・内部電極材料を提供するステップ(93)と、
・該複数のグリーン層の第1のグリーン層と第2のグリーン層との間に該セキュリティ層材料を積層し、該複数のグリーン層の該第2のグリーン層と第3のグリーン層との間に該内部電極材料を積層することにより、グリーン状態のスタックを形成するステップ(94)と、
・該グリーン状態のスタックを焼結温度に加熱し、該グリーン層を該圧電セラミック層(12)に変換するステップ(95)
とを有し、
該セキュリティ層材料の焼結度は該内部電極材料の焼結度より低いことを特徴とする製造方法。 - 前記セキュリティ層材料の融点は前記内部電極材料の融点より高い、請求項9記載の製造方法。
- 前記スタックを焼結温度に加熱するステップにおいて、前記セキュリティ層材料は焼結しないか、または実質的に焼結しない、請求項9または10記載の製造方法。
- 前記セキュリティ層材料は実質的にPdまたはPtである、請求項9から11までのいずれか1項記載の製造方法。
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