JP2008205112A - 電解コンデンサおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電解コンデンサの製造方法は、陽極を構成する金属基体表面に凹凸を形成する工程と、前記凹凸を形成した金属基体表面に、エアロゾルデポジション法により、前記金属基体を構成する金属元素以外の金属元素を含む酸化物、窒化物あるいは炭化物よりなる粒子を堆積させる工程と、前記凹凸を形成した金属基体表面を、前記粒子の堆積工程の後陽極酸化させ、前記金属基体を構成する金属元素の酸化物よりなり前記粒子を担持する複合誘電体膜を形成する工程と、を含む。
【選択図】図4
Description
前記凹凸を形成した金属基体表面に、エアロゾルデポジション法により、前記金属基体を構成する金属元素以外の金属元素を含む酸化物、窒化物あるいは炭化物よりなる粒子を堆積させる工程と、前記凹凸を形成した金属基体表面を、前記粒子の堆積工程の後陽極酸化させ、前記金属基体を構成する金属元素の酸化物よりなり前記粒子を内部に含む誘電体膜を形成する工程と、を含むことを特徴とする電解コンデンサの製造方法を提供する。
11A 陽極
11a 陽極酸化膜
11b 高誘電体セラミック粒子
11B 陰極
11C セパレータ
12A,12B 引き出し電極
61 処理容器
61A ステージ
61B ノズル
61a X−Yステージ駆動機構
61b Zステージ駆動機構
61c ジェット
62 メカニカルブースタポンプ
63 原料容器
63A 振動台
63B バルブ
64 高圧ガス源
Claims (6)
- 陽極を構成する金属基体と、
前記陽極上に形成された誘電体膜と、
電解質媒体よりなり前記誘電体膜に接する陰極と、
よりなる電解コンデンサであって、
前記誘電体膜は、前記金属基体を構成する金属元素の酸化物膜よりなり、
さらに前記誘電体膜は、前記金属基体を構成する金属元素以外の金属元素を含む酸化物、窒化物あるいは炭化物よりなる粒子を含むことを特徴とする電解コンデンサ。 - 前記粒子は扁平な形状を有することを特徴とする請求項1記載の電解コンデンサ。
- 前記粒子は、ペロブスカイト型構造を有する高誘電体粒子であることを特徴とする請求項1または2記載の電解コンデンサ。
- 前記粒子は、チタン酸バリウム、チタン酸ストロンチウム、酸化チタン、PZT,PLZTのいずれかを少なくとも一つ含むことを特徴とする請求項1〜3のうち、いずれか一項記載の電解コンデンサ。
- 前記金属基体表面には凹凸が形成されており、前記誘電体膜は前記凹凸に整合した形状を有し、前記粒子は、前項凹凸の底部近傍領域よりも頂部近傍領域に多く存在することを特徴とする請求項1〜4のうち、いずれか一項記載の電解コンデンサ。
- 陽極を構成する金属基体表面に凹凸を形成する工程と、
前記凹凸を形成した金属基体表面に、エアロゾルデポジション法により、前記金属基体を構成する金属元素以外の金属元素を含む酸化物、窒化物あるいは炭化物よりなる粒子を堆積させる工程と、
前記凹凸を形成した金属基体表面を、前記粒子の堆積工程の後陽極酸化させ、前記金属基体を構成する金属元素の酸化物よりなり前記粒子を担持する複合誘電体膜を形成する工程と、
を含むことを特徴とする電解コンデンサの製造方法。
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