JP2008189537A - 複数の金属イオンを含むリン酸水溶液から精製リン酸を得る方法及び装置 - Google Patents
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- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 258
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 129
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 69
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 55
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims abstract description 80
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims abstract description 54
- 229910017053 inorganic salt Inorganic materials 0.000 claims abstract description 51
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 50
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 41
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 41
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 41
- 239000002699 waste material Substances 0.000 claims abstract description 39
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims abstract description 33
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims abstract description 22
- 239000000706 filtrate Substances 0.000 claims abstract description 18
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims abstract description 16
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims abstract description 16
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 claims abstract description 10
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims abstract description 4
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 claims description 95
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 36
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 claims description 32
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 claims description 28
- 238000000975 co-precipitation Methods 0.000 claims description 22
- 239000000155 melt Substances 0.000 claims description 13
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 9
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 claims description 6
- 238000007670 refining Methods 0.000 claims description 6
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 claims description 5
- 238000000935 solvent evaporation Methods 0.000 claims description 4
- 230000001376 precipitating effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 2
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910001867 inorganic solvent Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000003049 inorganic solvent Substances 0.000 claims 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 claims 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 abstract description 27
- 238000002156 mixing Methods 0.000 abstract description 3
- 239000012266 salt solution Substances 0.000 abstract description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 30
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 24
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 17
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 9
- 238000004064 recycling Methods 0.000 description 8
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 description 7
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 6
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 6
- LXFUCSMCVAEMCD-UHFFFAOYSA-N acetic acid;nitric acid;phosphoric acid Chemical compound CC(O)=O.O[N+]([O-])=O.OP(O)(O)=O LXFUCSMCVAEMCD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000000909 electrodialysis Methods 0.000 description 4
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 4
- 239000012452 mother liquor Substances 0.000 description 4
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- PMZURENOXWZQFD-UHFFFAOYSA-L Sodium Sulfate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]S([O-])(=O)=O PMZURENOXWZQFD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 3
- 150000001450 anions Chemical class 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000000502 dialysis Methods 0.000 description 3
- 238000004821 distillation Methods 0.000 description 3
- 229910000403 monosodium phosphate Inorganic materials 0.000 description 3
- 235000019799 monosodium phosphate Nutrition 0.000 description 3
- AJPJDKMHJJGVTQ-UHFFFAOYSA-M sodium dihydrogen phosphate Chemical compound [Na+].OP(O)([O-])=O AJPJDKMHJJGVTQ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 229910052938 sodium sulfate Inorganic materials 0.000 description 3
- 235000011152 sodium sulphate Nutrition 0.000 description 3
- NWUYHJFMYQTDRP-UHFFFAOYSA-N 1,2-bis(ethenyl)benzene;1-ethenyl-2-ethylbenzene;styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1.CCC1=CC=CC=C1C=C.C=CC1=CC=CC=C1C=C NWUYHJFMYQTDRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910019142 PO4 Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 2
- 238000011221 initial treatment Methods 0.000 description 2
- 239000003456 ion exchange resin Substances 0.000 description 2
- 229920003303 ion-exchange polymer Polymers 0.000 description 2
- ZXEKIIBDNHEJCQ-UHFFFAOYSA-N isobutanol Chemical compound CC(C)CO ZXEKIIBDNHEJCQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 235000021317 phosphate Nutrition 0.000 description 2
- 150000003013 phosphoric acid derivatives Chemical class 0.000 description 2
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910001415 sodium ion Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 description 2
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 2
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 2
- 150000003467 sulfuric acid derivatives Chemical class 0.000 description 2
- USFZMSVCRYTOJT-UHFFFAOYSA-N Ammonium acetate Chemical compound N.CC(O)=O USFZMSVCRYTOJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005695 Ammonium acetate Substances 0.000 description 1
- NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Chemical compound CC(C)CC(C)=O NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Natural products CCC(C)C(C)=O UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VMHLLURERBWHNL-UHFFFAOYSA-M Sodium acetate Chemical compound [Na+].CC([O-])=O VMHLLURERBWHNL-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 235000011054 acetic acid Nutrition 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 229940043376 ammonium acetate Drugs 0.000 description 1
- 235000019257 ammonium acetate Nutrition 0.000 description 1
- LFVGISIMTYGQHF-UHFFFAOYSA-N ammonium dihydrogen phosphate Chemical compound [NH4+].OP(O)([O-])=O LFVGISIMTYGQHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000387 ammonium dihydrogen phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- BFNBIHQBYMNNAN-UHFFFAOYSA-N ammonium sulfate Chemical compound N.N.OS(O)(=O)=O BFNBIHQBYMNNAN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052921 ammonium sulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000011130 ammonium sulphate Nutrition 0.000 description 1
- 230000003190 augmentative effect Effects 0.000 description 1
- 238000010533 azeotropic distillation Methods 0.000 description 1
- 238000005345 coagulation Methods 0.000 description 1
- 230000015271 coagulation Effects 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- BHEPBYXIRTUNPN-UHFFFAOYSA-N hydridophosphorus(.) (triplet) Chemical compound [PH] BHEPBYXIRTUNPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 238000005342 ion exchange Methods 0.000 description 1
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- GVALZJMUIHGIMD-UHFFFAOYSA-H magnesium phosphate Chemical compound [Mg+2].[Mg+2].[Mg+2].[O-]P([O-])([O-])=O.[O-]P([O-])([O-])=O GVALZJMUIHGIMD-UHFFFAOYSA-H 0.000 description 1
- 239000004137 magnesium phosphate Substances 0.000 description 1
- 229960002261 magnesium phosphate Drugs 0.000 description 1
- 229910000157 magnesium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000010994 magnesium phosphates Nutrition 0.000 description 1
- 235000019341 magnesium sulphate Nutrition 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- -1 molybdate ions Chemical class 0.000 description 1
- 235000019837 monoammonium phosphate Nutrition 0.000 description 1
- 229910000402 monopotassium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000019796 monopotassium phosphate Nutrition 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K phosphate Chemical compound [O-]P([O-])([O-])=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- PJNZPQUBCPKICU-UHFFFAOYSA-N phosphoric acid;potassium Chemical compound [K].OP(O)(O)=O PJNZPQUBCPKICU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 description 1
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 1
- 239000001632 sodium acetate Substances 0.000 description 1
- 235000017281 sodium acetate Nutrition 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 239000002351 wastewater Substances 0.000 description 1
- 230000004580 weight loss Effects 0.000 description 1
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23F—NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
- C23F1/00—Etching metallic material by chemical means
- C23F1/46—Regeneration of etching compositions
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B25/00—Phosphorus; Compounds thereof
- C01B25/16—Oxyacids of phosphorus; Salts thereof
- C01B25/18—Phosphoric acid
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- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
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Abstract
【解決手段】〔1〕複数の金属イオンを含むリン酸水溶液に無機塩水溶液を混合し、次いでリン酸に可溶でかつ無機塩を溶解しない有機溶媒(以下、貧溶媒という)を加えて混合することにより無機塩の結晶を析出させると同時に、前記金属イオンを共沈させた後、該金属イオンを含む無機塩の結晶を濾過して固液分離する工程、〔2〕濾過した濾液中の貧溶媒及び水を蒸発させる工程、を含むことを特徴とする精製リン酸を得る方法。
【選択図】図3
Description
Al金属エッチング装置から排出される混酸水溶液廃液を精製する最初の段階は、蒸発又は蒸留法により揮発性物質(硝酸、酢酸、水の大部分)を蒸発させて分離することである。リン酸と金属イオンは共に非揮発性物質であるから、この蒸発又は蒸留では分離できない。この段階でのリン酸(以下、濃縮リン酸という)は濃度約90重量%であり、水を約10重量%含む。
イオン交換樹脂法では、高濃度の酸に溶解している金属イオンをイオン交換することは困難である。また樹脂の再生効率が低いことが分った。拡散透析法では、得られるリン酸が希釈され、また大量の透析残液が発生する。隔膜電気透析法では、混酸水溶液廃液中の硝酸の酸化によるNOx発生が問題となる。電気透析法では、リン酸イオンとモリブデン酸イオンのイオン半径が近似していて移動速度が同等であるため分離できない。活性炭による吸着法では、混酸水溶液廃液が活性炭により着色してしまう。
他の濃縮リン酸液の精製方法としては晶析法(特許文献2〜3)があるが、何れもバッチ処理法であり、微妙な温度制御が必要で処理時間が長いなど問題がある。
更に他の濃縮リン酸の精製方法として晶析法(非特許文献1)がある。しかし、この方法を濃縮リン酸に適用した場合、リン酸半水結晶の精製純度は母液金属濃度に依存するため、品質的に収率は約80重量%程度が限界であり、資源有効利用の点から更に収率をアップすることが望まれる。
「共沈とは、ある沈殿物が沈殿するとき、可溶性の物質がそれに伴って沈殿する現象をいう。共沈現象は、混晶の生成によって起こることもあり、沈殿の生成過程でイオンが吸着されるために起こることもある。前者の場合は不純物が沈殿物の結晶格子の中に実際に入り込む。後者の場合は、吸着されたイオンが凝析の過程で沈殿物に引きずられてしまう現象である。」
しかし、非特許文献2は一般的な共沈現象について説明しているだけであり、本発明のような濃縮リン酸中の金属イオンの共沈については全く記載されていない。
そこで、本発明では、複数の金属イオンを含むリン酸水溶液から金属イオンを分離除去して精製リン酸を得る方法及び装置の提供、更には、金属エッチング工程で排出される高濃度のリン酸を含む混酸水溶液廃液に応用することにより、回収した精製リン酸を再利用するシステムの提供を目的とする。
1) 〔1〕複数の金属イオンを含むリン酸水溶液に無機塩水溶液を混合し、次いでリン酸に可溶でかつ無機塩を溶解しない有機溶媒(以下、貧溶媒という)を加えて混合することにより無機塩の結晶を析出させると同時に、前記金属イオンを共沈させた後、該金属イオンを含む無機塩の結晶を濾過して固液分離する工程、
〔2〕濾過した濾液中の貧溶媒及び水を蒸発させる工程、
を含むことを特徴とする精製リン酸を得る方法。
2) 〔1〕〔2〕の工程を複数回繰り返すことを特徴とする1)記載の精製リン酸を得る方法。
3) 複数の金属イオンを含むリン酸水溶液が、高濃度(重量基準で500ppm〜金属イオンとしてリン酸水溶液に溶解する上限まで)の金属イオンを含むことを特徴とする1)又は2)記載の精製リン酸を得る方法。
4) 金属イオンを共沈させ濾過した無機塩の結晶を温水で溶解し、次いで、無機塩の結晶を析出させ、共沈していた金属を無機塩から分離した後、濾過して無機塩を回収し再利用することを特徴とする1)〜3)の何れかに記載の精製リン酸を得る方法。
5) 少なくとも、無機塩を溶解する機能を有する無機塩溶解槽、複数の金属イオンを含むリン酸水溶液と貧溶媒と無機塩水溶液を混合するための攪拌機を具備した晶析・共沈槽、無機塩結晶の濾過装置、及び、濾液から貧溶媒と水を蒸発させるための加熱設備を具備した有機溶媒蒸発装置を有することを特徴とする1)〜3)の何れかに記載の方法を実施するための装置。
6) 濾過した無機塩の結晶を温水で溶解し再度結晶を析出させるための無機塩精製晶析槽、及び、析出させた無機塩の結晶を分離するための濾過装置を有することを特徴とする5)記載の装置。
7) 金属エッチング装置、エッチング後液を貯留する混酸水溶液タンク、混酸水溶液廃液タンク、混酸水溶液廃液から硝酸・酢酸・水を蒸発させて留去する装置(蒸発装置)、及び5)又は6)記載の装置を有し、混酸水溶液を再利用するように設計されていることを特徴とする金属のエッチングシステム。
8) 更に、前記蒸発装置で硝酸・酢酸・水を留去した後の濃縮リン酸の溶融晶析装置を有することを特徴とする7)記載の金属のエッチングシステム。
本発明者等は、鋭意研究を行った結果、高濃度(重量基準で500ppm〜金属イオンとしてリン酸水溶液に溶解する上限まで)の金属イオンを含むリン酸水溶液に対して特に有効な、晶析・共沈現象を利用することにより金属イオンを分離除去し精製リン酸を得る方法及び装置を見出し、更に金属エッチング工程における複数の金属イオンを含む濃縮リン酸に応用すれば、リン酸を高収率で回収して再利用できることを見出した。なお、本発明でいう精製リン酸とは、金属イオンを分離除去したリン酸のことであり、リン酸の濃度は90重量%程度である。
処理対象となるリン酸水溶液中の金属イオン濃度は重量基準で500ppm程度以上が好ましい。本発明では金属イオンを晶析・共沈させるのに無機塩を用いるが、除去対象の金属イオンの濃度が低くなると、晶析・共沈、固液分離後の濾液中に含まれる陽イオンのうち、無機塩を構成する陽イオンの占める割合が大きくなり、除去したい金属イオンと無機塩の陽イオンとを交換したに過ぎないことになってしまうので、本発明の効果が得難くなる。
また、処理対象となるリン酸水溶液中のリン酸濃度は約90重量%以上が好ましい。リン酸濃度が低いと水の割合が増えるため、水に溶けた無機塩中の陽イオンが濾液中に多く残ることになり、本発明の効果が得にくくなる。
図1は、金属エッチング工程の装置の概要を示す図であり、エッチング液受槽を備えたエッチングを行なう部分、混酸水溶液タンク、混酸水溶液廃液タンク、本発明に係る混酸水溶液精製装置、及びこれらを結ぶ配管などからなる。工程の流れは次の通りである。
まず混酸水溶液新液を混酸水溶液タンクに供給し、次いで、混酸水溶液タンクから混酸水溶液を汲み上げ、シャワーリングしながら被エッチング材をエッチングする。
エッチングを終えた混酸水溶液は、エッチング液受槽を経てエッチング後液として混酸水溶液タンクに戻す。
混酸水溶液新液を混酸水溶液廃液タンクに供給した際に、混酸水溶液タンクから溢れた混酸水溶液を、混酸水溶液廃液として混酸水溶液廃液タンクに移送する。
混酸水溶液廃液タンクに集めた混酸水溶液廃液を、混酸水溶液精製装置に供給し、エッチングの際に混酸水溶液に溶解した金属イオンを晶析・共沈法により分離精製し、処理済の混酸水溶液を回収して混酸水溶液タンクに戻す。一部は廃液として排出する。
まず図1の混酸水溶液廃液タンクから供給される混酸水溶液廃液をリボイラーを介して液受槽に供給する。
次いで、系内を2000〜7000Pa程度の減圧に保持し、ポンプにより混酸水溶液廃液を液受槽とリボイラーの間で循環させながら、リボイラーにスチームを通して混酸水溶液廃液を加熱し、硝酸・酢酸・水を蒸発させて留去する。
留去した硝酸・酢酸・水は、冷却水を通したコンデンサーで凝縮し、留出液受けに貯留した後、エッチング液濃度調整の原料として再利用する。
硝酸・酢酸・水を留去した濃縮リン酸は、晶析・共沈工程又は溶融晶析工程へ移送する。
エッチング装置及び蒸発装置はそれぞれ図1、図2で説明したのと同様の装置である。特に説明がない限り、操作温度及び圧力は常温・常圧である。
前述したように、エッチング装置から排出された混酸水溶液廃液を蒸発装置に移送し、濃縮リン酸と留出液(硝酸・酢酸・水)とに分離する。
留出液はエッチング液濃度調製装置に移送し再利用する。
濃縮リン酸は晶析・共沈槽に移送し、無機塩溶解槽で予め混合しておいた無機塩水溶液と混合する。無機塩としては、リン酸二水素ナトリウム、リン酸二水素カリウム、リン酸二水素アンモニウム、リン酸マグネシウムなどのリン酸塩、或いは硫酸ナトリウム、硫酸アンモニウムなどの硫酸塩、酢酸ナトリウム、酢酸アンモニウムなどの酢酸塩などが挙げられるが、リン酸塩、硫酸塩が好ましい。
十分に混合したら、貧溶媒を添加し、無機塩の結晶を析出させると共に、濃縮リン酸中の金属を共沈させる。貧溶媒の量は、容量比でリン酸の2〜10倍、好ましくは3〜5倍程度とする。貧溶媒としては、アルコール類、ケトン類など、無機塩を0.1重量%未満程度しか溶解しないものを用いる必要がある。具体例としてはイソプロピルアルコール(以下、IPAという)、イソブタノール、アセトン、メチルイソブチルケトンなどが挙げられる。
晶析・共沈が完了したら、スラリーを濾過装置へ移送し固液分離を行う。濾過装置は、フィルタープレス又はヌッチェ式濾過器が好ましい。
なお、無機塩や貧溶媒の種類とその添加量は、濃縮リン酸中の金属イオン濃度により適宜決めればよい。
貧溶媒を留去した精製リン酸は、エッチング液濃度調整装置で前記蒸発装置留出液と混合し、混酸水溶液新液と同程度となるように不足成分を補充して、リサイクル混酸水溶液としてエッチング装置で循環使用する。
本発明の方法及び装置は、溶融晶析法・溶媒抽出法などで比較的低濃度(重量基準で500ppm未満)の金属イオンを1次処理したのち廃棄される高濃度(重量基準で500ppm〜金属イオンとしてリン酸水溶液に溶解する上限まで)の金属イオンを含むリン酸水溶液の処理に好適である。
無機塩精製晶析槽では、水を一定量留去したのち、槽内を冷却して無機塩を晶析させ、0.5〜1時間程度保持した後に遠心濾過装置へ移送し精製無機塩と廃水とに分離する。精製無機塩は無機塩溶解槽で再利用する。
前記晶析・共沈槽における無機物の結晶は貧溶媒の添加により添加した場所の極所的な溶解度変化により発生するため、結晶形状が粗く微孔を有し、この粗い組織に吸着された状態で金属イオンが共沈する。しかし、無機塩精製晶析槽では、液の濃縮及び冷却により槽全体が均一な状態に保持されるため、発生する結晶は強固で緻密となり、結晶表面に付着した母液を遠心濾過装置(G=1500以上)で精製することにより、金属イオンを含まない結晶を取り出すことが出来る。
図3に示したシステムとの大きな違いは、晶析・共沈槽の前に溶融晶析装置を設けたことであり、その他は図3の場合とほぼ同じである。
蒸発装置で分離した濃縮リン酸を溶融晶析装置に移送し、10℃前後に冷却してリン酸半水結晶を析出させた後、濾過装置(図示せず)で固液分離する。
分離したリン酸半水結晶は加熱溶解してエッチング液濃度調整装置に移送し、不足成分を補充した後、金属エッチング工程で再利用する。
濾液として排出される金属濃縮リン酸は、晶析・共沈槽に移送し、以下、図3の場合と同様に処理する。
但し、有機溶媒蒸発装置で貧溶媒を留去した精製リン酸に含まれる金属イオンの濃度が十分満足できないレベルである場合には、溶融晶析装置に戻して(図5中の点線で示した経路)再処理してもよい。
なお、図5には晶析・共沈槽の前に溶融晶析装置を設ける例を示したが、溶融晶析装置から排出されるリン酸半水結晶中の金属量は母液金属濃度に依存するため、濃縮リン酸の金属イオン濃度が極めて高い場合には、溶融晶析装置と晶析・共沈槽の順序を入れ替えるとよい。
また、金属エッチング装置のオンライン上に本発明の精製リン酸を得る装置を組み込むことにより、混酸水溶液タンクの金属イオン濃度を常に一定以下に保持することが可能となり、エッチング工程が安定すると共に、混酸水溶液新液の補給量を大幅に減らす(従来の10重量%以下)ことができる。
図3に示すリサイクルシステムを用いてAlエッチング工程の混酸水溶液廃液の処理を行った。なお、組成の単位は「kg」であり、「N.D.」は検出下限以下を表す。
エッチング工程から排出される混酸水溶液廃液(約100kg)の組成は次の通りであった。AlとMo以外の金属イオンは極めて少量のため無視した。
リン酸 硝酸 酢酸 水 Al Mo
65 10 3.5 21.5 0.030 0.045
また、蒸発装置からの留出液(約27.8kg)の組成は次の通りであった。
リン酸 硝酸 酢酸 水 Al Mo
N.D. 10 3.5 14.3 N.D. N.D.
また、蒸発装置を通った濃縮リン酸(約72.2kg)の組成は次の通りであった。
リン酸 硝酸 酢酸 水 Al Mo
65 N.D. N.D. 7.2 0.030 0.045
なお、Naは無機物由来のものであり無機物に含まれるが、金属イオンについて説明する都合上、組成を記載した。後述する濾液、残渣、精製リン酸についても同様である。
リン酸 水 無機物 IPA Al Mo (Na)
65 17.2 7.4 260 0.030 0.045 1.43
また、濾過装置を通った濾液(約338.7kg)の組成は次の通りであった。
リン酸 水 無機物 IPA Al Mo (Na)
64 16.7 0.04 258 0.003 0.016 0.008
また、濾過装置の残渣(約10.9kg)の組成は次の通りであった。
リン酸 水 無機物 IPA Al Mo (Na)
1 0.5 7.36 2 0.027 0.029 1.422
上記濾液と残渣中のAl、Mo量を比較すると、Al、Moが残渣の方へ移行(共沈)しており、この操作で濃縮リン酸中のAl、Moが分離されていることが分かる。しかし添加した無機物によりNaイオンが付加されたため、これをできる限り除く必要があり、また、リン酸の純度を上げるため、濃縮リン酸中に溶解している無機物をできる限り除く必要がある。
得られた精製リン酸(約71.1kg)の組成は次の通りであった。
リン酸 水 無機物 IPA Al Mo (Na)
64 7.1 0.04 N.D. 0.003 0.016 0.008
上記精製リン酸は晶析・共沈操作を1回行ったものであるが、この組成で満足できない場合は、再度同様の操作を行い、金属イオンの除去を行えばよい。次にその例を示す。
1回目より母液の金属イオン濃度が低いため、無機物(リン酸二水素ナトリウム)の添加量を1/5量として行った。
得られた精製リン酸(約70.5kg)の組成は次の通りであり、更に純度の高い精製リン酸を得ることができた。
リン酸 水 無機物 IPA Al Mo
63.5 7.0 0.02 N.D. 0.00004 0.00061
(Na)
0.004
リン酸 水 無機物 IPA Al Mo (Na)
N.D. 0.5 7.0 N.D. N.D. N.D. 1.34
以上のように、本発明のシステムによれば、混酸水溶液廃液中のリン酸の約98重量%を再利用することができ、混酸水溶液新液の投入量を大幅に削減することが可能である。
実施例1と同じAlエッチング工程の混酸水溶液廃液の処理を行った。
エッチング工程から排出される混酸水溶液廃液(約100kg)の組成、蒸発装置からの留出液(約27.8kg)の組成、蒸発装置を通った濃縮リン酸(約72.2kg)の組成は実施例1と同じである。
次に、無機塩を硫酸ナトリウム4.43kgに変え、水18kgに溶解して用いた点以外は実施例1と同様の操作を行った。この段階での処理液(約354.6kg)の組成は次の通りであった。
なお、Na量と無機物量の関係については、実施例1と同様である。
リン酸 水 無機物 IPA Al Mo (Na)
65 25.2 4.43 260 0.030 0.045 1.43
また、濾過装置を通った濾液(約346.5kg)の組成は次の通りであった。
リン酸 水 無機物 IPA Al Mo (Na)
64 24.5 0.02 258 0.002 0.010 0.006
また、濾過装置の残渣(約8.1kg)の組成は次の通りであった。
リン酸 水 無機物 IPA Al Mo (Na)
1 0.7 4.41 2 0.028 0.035 1.424
上記濾液と残渣中のAl、Mo量を比較すると、Al、Moが残渣の方へ移行(共沈)しており、この操作で濃縮リン酸中のAl、Moが分離されていることが分かる。しかし添加した無機物によりNaイオンとSO4 2−イオンが付加されたため、これをできる限り除く必要があり、また、リン酸の純度を上げるため、濃縮リン酸中に溶解している無機物をできる限り除く必要がある。
次に、濾液を有機溶媒蒸発装置に供給し、実施例1と同様の操作を行った結果、得られた精製リン酸(約71.1kg)の組成は次の通りであった。SO4 2−イオンについては、除去されずに僅かに残ったNa(0.006kg)と硫酸ナトリウム塩を形成する分が残存している。
リン酸 水 無機物 IPA Al Mo (Na)
64 7.1 0.02 N.D. 0.002 0.010 0.006
図3に示すリサイクルシステムを用いて、実施例1と同様にしてAlエッチング工程の混酸水溶液廃液の処理を行った。図4は基本ブロック毎の物質収支を示したものである。
本実施例において、混酸水溶液タンクの金属イオン濃度(Al、Mo、Naの総量)を重量基準で500ppm以下に保持するためには、混酸水溶液廃液の処理量を100kg/h、リサイクル混酸水溶液を90kg/hとし、リサイクル混酸水溶液の金属イオン濃度を重量基準で30ppm以下に抑え、混酸水溶液新液(補充用)を10kg/h補充するとした場合、エッチング金属量の上限は、次式のように、0.0473kg/hとなる。
100kg/h×0.0005−100kg/h×0.9×0.00003
=0.0473kg/h
図5に示すリサイクルシステムを用いてAlエッチング工程の混酸水溶液廃液の処理を行った。エッチング工程から排出される混酸水溶液廃液(約100kg)の組成、蒸発装置からの留出液(約27.8kg)の組成、蒸発装置を通った濃縮リン酸(約72.2kg)の組成は実施例1と同じである。
次に、濃縮リン酸を溶融晶析装置に移送し、約10℃に冷却してリン酸半水結晶を晶析させた。次いで、濾過装置でリン酸半水結晶を固液分離した後、加熱溶解してエッチング液濃度調整装置に移送し、不足成分を補充して金属エッチング工程で再利用した。得られたリン酸半水結晶の組成は次の通りである。
リン酸 水 Al Mo
52 4.8 0.001 0.0015
また、濾液の組成は次の通りである。
リン酸 水 Al Mo
13 2.4 0.029 0.0435
上記濾液を晶析・共沈槽に移送し、実施例1と同様な処理を行った結果、得られた精製リン酸(13.8kg)の組成は次の通りであった。
リン酸 水 無機物 IPA Al Mo
12.4 1.4 0.01 N.D. 0.0008 0.0035
(Na)
0.002
上記精製リン酸を溶融晶析工程へ戻して、再度上記と同様の処理を行ったところ、次のような組成の精製リン酸が得られた。
リン酸 水 無機物 IPA Al Mo
9.9 0.9 0.0003 N.D. 0.00003 0.0001
(Na)
0.00007
上記のように溶融晶析を繰り返せば、純度の高い精製リン酸が得られることが分かる。
図5に示すリサイクルシステムを用いて、実施例1と同様にしてAlエッチング工程の混酸水溶液廃液の処理を行った。図6は基本ブロック毎の物質収支を示したものである。
本実施例において、混酸水溶液タンクの金属イオン濃度(Al、Mo、Naの総量)を重量基準で500ppm以下に保持するためには、混酸水溶液廃液の処理量を100kg/h、リサイクル混酸水溶液を98kg/hとし、リサイクル混酸水溶液の金属イオン濃度を重量基準で30ppm以下に抑え、混酸水溶液新液(補充用)を2kg/h補充するとした場合、エッチング金属量の上限は、次式のように、0.04706kg/hとなる。
100kg/h×0.0005−100kg/h×0.98×0.00003
=0.04706kg/h
Claims (8)
- 〔1〕複数の金属イオンを含むリン酸水溶液に無機塩水溶液を混合し、次いでリン酸に可溶でかつ無機塩を溶解しない有機溶媒(以下、貧溶媒という)を加えて混合することにより無機塩の結晶を析出させると同時に、前記金属イオンを共沈させた後、該金属イオンを含む無機塩の結晶を濾過して固液分離する工程、
〔2〕濾過した濾液中の貧溶媒及び水を蒸発させる工程、
を含むことを特徴とする精製リン酸を得る方法。 - 〔1〕〔2〕の工程を複数回繰り返すことを特徴とする請求項1記載の精製リン酸を得る方法。
- 複数の金属イオンを含むリン酸水溶液が、高濃度(重量基準で500ppm〜金属イオンとしてリン酸水溶液に溶解する上限まで)の金属イオンを含むことを特徴とする請求項1又は2記載の精製リン酸を得る方法。
- 金属イオンを共沈させ濾過した無機塩の結晶を温水で溶解し、次いで、無機塩の結晶を析出させ、共沈していた金属を無機塩から分離した後、濾過して無機塩を回収し再利用することを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載の精製リン酸を得る方法。
- 少なくとも、無機塩を溶解する機能を有する無機塩溶解槽、複数の金属イオンを含むリン酸水溶液と貧溶媒と無機塩水溶液を混合するための攪拌機を具備した晶析・共沈槽、無機塩結晶の濾過装置、及び、濾液から貧溶媒と水を蒸発させるための加熱設備を具備した有機溶媒蒸発装置を有することを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載の方法を実施するための装置。
- 濾過した無機塩の結晶を温水で溶解し再度結晶を析出させるための無機塩精製晶析槽、及び、析出させた無機塩の結晶を分離するための濾過装置を有することを特徴とする請求項5記載の装置。
- 金属エッチング装置、エッチング後液を貯留する混酸水溶液タンク、混酸水溶液廃液タンク、混酸水溶液廃液から硝酸・酢酸・水を蒸発させて留去する装置(蒸発装置)、及び、請求項5又は6記載の装置を有し、混酸水溶液を再利用するように設計されていることを特徴とする金属のエッチングシステム。
- 更に、前記蒸発装置で硝酸・酢酸・水を留去した後の濃縮リン酸の溶融晶析装置を有することを特徴とする請求項7記載の金属のエッチングシステム。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007028820A JP5242061B2 (ja) | 2007-02-08 | 2007-02-08 | 複数の金属イオンを含むリン酸水溶液から精製リン酸を得る方法及び装置 |
TW097103530A TWI452010B (zh) | 2007-02-08 | 2008-01-30 | 由含有多數金屬離子之磷酸水溶液製得精製磷酸之方法及裝置 |
CN2008100048058A CN101239710B (zh) | 2007-02-08 | 2008-02-02 | 从含多种金属离子的磷酸水溶液中获得精制磷酸的方法和装置 |
KR1020080011942A KR101410594B1 (ko) | 2007-02-08 | 2008-02-05 | 복수의 금속 이온을 포함하는 인산 수용액으로부터 정제인산을 얻는 방법 및 장치 |
SG200801052-2A SG144902A1 (en) | 2007-02-08 | 2008-02-05 | Method and apparatus for obtaining purified phosphoric acid from phosphoric acid aqueous solution containing plural metal ions |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007028820A JP5242061B2 (ja) | 2007-02-08 | 2007-02-08 | 複数の金属イオンを含むリン酸水溶液から精製リン酸を得る方法及び装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008189537A true JP2008189537A (ja) | 2008-08-21 |
JP5242061B2 JP5242061B2 (ja) | 2013-07-24 |
Family
ID=39710888
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007028820A Active JP5242061B2 (ja) | 2007-02-08 | 2007-02-08 | 複数の金属イオンを含むリン酸水溶液から精製リン酸を得る方法及び装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5242061B2 (ja) |
KR (1) | KR101410594B1 (ja) |
CN (1) | CN101239710B (ja) |
SG (1) | SG144902A1 (ja) |
TW (1) | TWI452010B (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009061414A (ja) * | 2007-09-07 | 2009-03-26 | Sumitomo Precision Prod Co Ltd | エッチング廃液の再生方法及び再生装置 |
CN101857216A (zh) * | 2010-06-29 | 2010-10-13 | 贵州川恒化工有限责任公司 | 一种萃取净化湿法磷酸生产工业级磷酸的方法 |
JP4742202B1 (ja) * | 2010-05-25 | 2011-08-10 | エム・テクニック株式会社 | ドープ元素量を制御された析出物質の製造方法 |
JP2014161826A (ja) * | 2013-02-27 | 2014-09-08 | Jfe Engineering Corp | 水処理方法および装置 |
JP2016016375A (ja) * | 2014-07-09 | 2016-02-01 | 株式会社アナック | 燐酸系混酸廃液を処理して肥料を製造する方法及び装置 |
TWI570273B (zh) * | 2014-09-17 | 2017-02-11 | 東芝股份有限公司 | Processing apparatus and treatment liquid |
CN108837551A (zh) * | 2018-07-28 | 2018-11-20 | 湖南懋天世纪新材料有限公司 | 一种超细仲钨酸铵蒸发结晶装置及结晶方法 |
CN114534501A (zh) * | 2022-01-04 | 2022-05-27 | 中国原子能科学研究院 | 一种用于分离硝酸和乙酸的电渗析装置和方法 |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101439849B (zh) * | 2008-12-31 | 2010-12-08 | 孟庆深 | 一种废铝刻蚀液的综合利用工艺 |
CN102502547A (zh) * | 2011-10-10 | 2012-06-20 | 浙江兴达活性炭有限公司 | 一种磷酸法生产活性炭中的磷酸除杂工艺 |
CN102730656A (zh) * | 2012-06-26 | 2012-10-17 | 瓮福(集团)有限责任公司 | 利用萃余酸微波加热生产高浓度磷酸的方法 |
KR102228425B1 (ko) * | 2013-01-14 | 2021-03-16 | 술저 매니지멘트 에이지 | 화합물을 정제하기 위한 멀티스테이지 결정화 공정 및 장치 |
CN103979509B (zh) * | 2014-04-28 | 2016-04-06 | 合肥茂腾环保科技有限公司 | 一种回收废铝刻蚀液中磷酸的方法 |
CN107089650B (zh) * | 2017-05-27 | 2019-10-11 | 深圳市深投环保科技有限公司 | 化学抛光废磷酸处理方法和磷酸一铵的制备方法 |
KR20200054890A (ko) * | 2018-11-12 | 2020-05-20 | 주식회사 동진쎄미켐 | 폐 에천트로부터 정제 인산의 제조방법 |
CN109942408A (zh) * | 2019-03-24 | 2019-06-28 | 雒晓兵 | 一种废蚀刻混酸溶液的废物利用方法 |
CN110980675A (zh) * | 2019-12-30 | 2020-04-10 | 南京乐透思环保科技有限公司 | 一种湿法磷酸的脱氟方法 |
CN112499606B (zh) * | 2021-01-20 | 2022-04-08 | 江苏电科环保有限公司 | 一种磷酸废液的提纯方法 |
WO2023034158A1 (en) * | 2021-09-03 | 2023-03-09 | Texas Tech University System | Preparation of ionic pharmaceutical cocrystals using solid and liquid components |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5252196A (en) * | 1975-10-15 | 1977-04-26 | Centre Dechiyuudo E Do Rushier | Refining process for phosphoric acid |
JPS62123006A (ja) * | 1985-11-22 | 1987-06-04 | Mitsui Toatsu Chem Inc | 抽残液または再抽残液からのカドミウムの除去方法 |
JPS63270303A (ja) * | 1987-04-24 | 1988-11-08 | Matsushita Electric Works Ltd | リン酸の再生法 |
JP2005022919A (ja) * | 2003-07-01 | 2005-01-27 | Nippon Chem Ind Co Ltd | 高純度リン酸及びその製造方法 |
JP2006069845A (ja) * | 2004-09-02 | 2006-03-16 | Nippon Refine Kk | リン酸およびリン酸以外の少なくとも1種の酸とを含む金属含有混酸水溶液からリン酸を回収する方法および装置 |
JP2006315931A (ja) * | 2005-05-16 | 2006-11-24 | Nippon Refine Kk | リン酸およびリン酸以外の少なくとも1種の酸を含む金属イオン含有混酸水溶液からリン酸を回収する方法および装置 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SU1046346A1 (ru) * | 1981-12-25 | 1983-10-07 | Всесоюзный Научно-Исследовательский И Проектный Институт По Очистке Технологических Газов,Сточных Вод И Использованию Вторичных Энергоресурсов Предприятий Черной Металлургии | Способ регенерации отработанных фторсодержащих травильных растворов |
FR2629812B1 (fr) * | 1988-04-12 | 1991-01-25 | Cerphos | Procede d'elimination des metaux lourds, et notamment du cadmium, contenus dans l'acide phosphorique |
CN1039800C (zh) * | 1996-01-18 | 1998-09-16 | 昆明理工大学 | 溶剂沉淀法净化湿法磷酸 |
JP3382561B2 (ja) * | 1999-06-28 | 2003-03-04 | 日本化学工業株式会社 | 高純度リン酸 |
JP3493603B2 (ja) * | 2000-11-20 | 2004-02-03 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 塩化銅含有エッチング廃液の処理方法、処理剤及び銅の回収方法 |
US7238295B2 (en) * | 2002-09-17 | 2007-07-03 | m·FSI Ltd. | Regeneration process of etching solution, etching process, and etching system |
KR20060002636A (ko) * | 2004-07-03 | 2006-01-09 | 주식회사 에이제이테크 | 인산 함유 폐식각액의 재생방법 |
JP4873894B2 (ja) | 2005-06-27 | 2012-02-08 | 下関三井化学株式会社 | 高純度の精製リン酸の製造方法 |
KR100655429B1 (ko) * | 2005-11-10 | 2006-12-08 | 삼성전자주식회사 | 인산 용액을 재생하는 방법 및 장치, 그리고 인산 용액을사용하여 기판을 처리하는 장치 |
-
2007
- 2007-02-08 JP JP2007028820A patent/JP5242061B2/ja active Active
-
2008
- 2008-01-30 TW TW097103530A patent/TWI452010B/zh active
- 2008-02-02 CN CN2008100048058A patent/CN101239710B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2008-02-05 SG SG200801052-2A patent/SG144902A1/en unknown
- 2008-02-05 KR KR1020080011942A patent/KR101410594B1/ko not_active IP Right Cessation
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5252196A (en) * | 1975-10-15 | 1977-04-26 | Centre Dechiyuudo E Do Rushier | Refining process for phosphoric acid |
JPS62123006A (ja) * | 1985-11-22 | 1987-06-04 | Mitsui Toatsu Chem Inc | 抽残液または再抽残液からのカドミウムの除去方法 |
JPS63270303A (ja) * | 1987-04-24 | 1988-11-08 | Matsushita Electric Works Ltd | リン酸の再生法 |
JP2005022919A (ja) * | 2003-07-01 | 2005-01-27 | Nippon Chem Ind Co Ltd | 高純度リン酸及びその製造方法 |
JP2006069845A (ja) * | 2004-09-02 | 2006-03-16 | Nippon Refine Kk | リン酸およびリン酸以外の少なくとも1種の酸とを含む金属含有混酸水溶液からリン酸を回収する方法および装置 |
JP2006315931A (ja) * | 2005-05-16 | 2006-11-24 | Nippon Refine Kk | リン酸およびリン酸以外の少なくとも1種の酸を含む金属イオン含有混酸水溶液からリン酸を回収する方法および装置 |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009061414A (ja) * | 2007-09-07 | 2009-03-26 | Sumitomo Precision Prod Co Ltd | エッチング廃液の再生方法及び再生装置 |
US9346685B2 (en) | 2010-05-25 | 2016-05-24 | M. Technique Co., Ltd. | Method for producing substances to be separated having controlled amounts of dopant element |
JP4742202B1 (ja) * | 2010-05-25 | 2011-08-10 | エム・テクニック株式会社 | ドープ元素量を制御された析出物質の製造方法 |
CN101857216B (zh) * | 2010-06-29 | 2012-04-25 | 贵州川恒化工有限责任公司 | 一种萃取净化湿法磷酸生产工业级磷酸的方法 |
CN101857216A (zh) * | 2010-06-29 | 2010-10-13 | 贵州川恒化工有限责任公司 | 一种萃取净化湿法磷酸生产工业级磷酸的方法 |
JP2014161826A (ja) * | 2013-02-27 | 2014-09-08 | Jfe Engineering Corp | 水処理方法および装置 |
JP2016016375A (ja) * | 2014-07-09 | 2016-02-01 | 株式会社アナック | 燐酸系混酸廃液を処理して肥料を製造する方法及び装置 |
TWI635054B (zh) * | 2014-07-09 | 2018-09-11 | 日本愛納克股份有限公司 | Method and apparatus for producing fertilizer by treating phosphoric acid mixed acid waste liquid |
TWI570273B (zh) * | 2014-09-17 | 2017-02-11 | 東芝股份有限公司 | Processing apparatus and treatment liquid |
US9718710B2 (en) | 2014-09-17 | 2017-08-01 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Treatment apparatus and method for reusing treatment liquid |
CN108837551A (zh) * | 2018-07-28 | 2018-11-20 | 湖南懋天世纪新材料有限公司 | 一种超细仲钨酸铵蒸发结晶装置及结晶方法 |
CN108837551B (zh) * | 2018-07-28 | 2024-04-02 | 湖南懋天世纪新材料有限公司 | 一种超细仲钨酸铵蒸发结晶装置及结晶方法 |
CN114534501A (zh) * | 2022-01-04 | 2022-05-27 | 中国原子能科学研究院 | 一种用于分离硝酸和乙酸的电渗析装置和方法 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
KR101410594B1 (ko) | 2014-06-20 |
KR20080074791A (ko) | 2008-08-13 |
CN101239710B (zh) | 2013-07-10 |
JP5242061B2 (ja) | 2013-07-24 |
TW200846280A (en) | 2008-12-01 |
CN101239710A (zh) | 2008-08-13 |
SG144902A1 (en) | 2008-08-28 |
TWI452010B (zh) | 2014-09-11 |
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