JP2008182174A - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ウエハWにCu配線層6を形成し、Cu配線層6の上に、炭化水素ガスを含む処理ガスを用いたCVDによりCu拡散バリアとしてアモルファスカーボン膜7を成膜し、その上にLow−k膜8を形成する。
【選択図】図1
Description
T.Saito et al. in proceeding of IITC, 2001 PP15−17
また、そのような方法を実行するためのプログラムが記憶された記憶媒体を提供することを目的とする。
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法を提供する。
図1は本発明の第1の実施形態に係る半導体装置の製造方法を説明するための工程図である。
図2は本発明の第1の実施形態に係る半導体装置の製造方法に用いられる半導体装置製造システムの概略構成を示す図である。この半導体装置製造システムは、アモルファスカーボン膜成膜装置101と、Cu膜成膜装置102と、Low−k膜成膜装置103とを備えた処理部100、およびプロセスコントローラ111、ユーザーインターフェース112、記憶部113を含むメイン制御部110を備えている。なお、処理部100の装置間でウエハWを搬送する方法としては、オペレータによる搬送方法や、図示しない搬送装置による搬送方法が用いられる。
半導体デバイスの製造工程においては、各層の変質や寸法の変化等が生じることを防止することを目的として、または工程の要請から、膜を形成した後にアニール処理等、加熱処理を行うことが多いが、アモルファスカーボン膜をCu配線層の表面に直接成膜した場合に、アニール処理等の加熱処理を所定温度以上で行うと、アモルファスカーボン膜に膜減りが生じることが判明した。
図4にアモルファスカーボン膜の加熱試験に用いた実験用ウエハの構造を示す。図4に示すように、下地にSi基板51を用いて、その上に順次P−SiN膜52、Cu膜53、アモルファスカーボン膜54を成膜して実験用ウエハTWを作製した。この実験用ウエハTWをアニール処理する前と、350℃および400℃でアニール処理した後に、それぞれSIMS(2次イオン質量分析)により測定した結果を図5〜7に示す。図5はアニール処理する前、図6は350℃でアニール処理した後、図7は400℃でアニール処理した後の測定結果についてそれぞれ示す。
図9は本発明の第2の実施形態に係る半導体装置の製造方法に用いられる半導体装置製造システムの概略構成を示す図である。この半導体装置製造システムは、処理部100がアモルファスカーボン成膜装置101と、Cu膜成膜装置102と、Low−k膜成膜装置103に加えて、さらに金属膜成膜装置104を有している点が図2の処理システムと異なっているが、他は全く同様に構成されている。
本実施形態では、膜減り防止用に上記第2の実施形態の金属膜9に代えてシリサイド膜10を形成するものである。図10は本発明の第3の実施形態に係る半導体装置の製造方法を説明するための工程図である。本実施形態にいては、図10の(a)〜(d)は、第2の実施形態における図8の(a)〜(d)と全く同様であり、Cu配線層6を形成する。その後、図10の(e)に示すように、Cu配線層6の表面に選択的にシリサイド膜(Cu5Si)10を形成する。シリサイド膜10の形成に際しては、Cu配線層6の表面にSi含有ガスを供給することによりCu配線層6の表面にSiを拡散させて、CuとSiとを反応させることによりCu5Siからなるシリサイド膜とする。Si含有ガスとしては、SiH4(シラン)ガス、Si2H6(ジシラン)ガス、Si(CH3)4(テトラメチルシラン)ガス、SiH(CH3)3(トリメチルシラン)ガス、SiH2(CH3)2(ジメチルシラン)ガス、SiH3(CH3)(モノメチルシラン)ガス、(SiH3)3N(トリシリルアミン)ガスから選択されたものを好適に用いることができる。特に、(SiH3)3Nガスは良好な反応性を有しており好ましい。この工程は、基板温度を例えば150〜200℃の範囲として行うことができる。シリサイド膜10の膜厚は100nm以下であることが好ましく、効果が発揮される限り薄いほうが好ましい。より好ましくは5〜20nm、さらには5〜10nmである。
図11は本発明の第3の実施形態に係る半導体装置の製造方法に用いられる半導体装置製造システムの概略構成を示す図である。この半導体装置製造システムは、処理部100がアモルファスカーボン成膜装置101と、Cu膜成膜装置102と、Low−k膜成膜装置103に加えて、さらにシリサイド形成装置105を有している点が図2の処理システムと異なっているが、他は全く同様に構成されている。
2,8;Low−k膜
3;ビアホール
4;トレンチ
5;バリアメタル膜
6;Cu配線層
7;アモルファスカーボン膜
8;Low−k膜
9;金属膜
10;シリサイド膜
21;チャンバ
22;サセプタ
25;ヒータ
30;シャワーヘッド
34,50;ガス供給機構
36;高周波電源
42;装置コントローラ
51;還元ガス供給源
52;Si含有ガス供給源
53;成膜ガス供給源
100;処理部
101;アモルファスカーボン膜成膜装置
102;Cu膜成膜装置
103;Low−k膜成膜装置
104;金属膜成膜装置
105;シリサイド形成装置
106;シリサイド形成・アモルファスカーボン膜成膜装置
110;メイン制御部
111;プロセスコントローラ
112;ユーザーインターフェース
113;記憶部
W;半導体ウエハ
Claims (33)
- 基板と、
基板の上に形成された銅または銅合金からなる配線層と、
前記配線層の上に形成され、炭化水素ガスを含む処理ガスを用いたCVDにより成膜されたアモルファスカーボン膜からなる銅拡散バリア膜と、
前記銅拡散バリア膜の上に形成された低誘電率絶縁膜と
を有することを特徴とする半導体装置。 - 基板と、
基板の上に形成された銅または銅合金からなる配線層と、
前記配線層の上に形成された金属膜と、
前記金属膜の上に形成され、炭化水素ガスを含む処理ガスにより成膜されたアモルファスカーボンからなる銅拡散バリア膜と、
前記銅拡散バリア膜の上に形成された低誘電率絶縁膜と
を有することを特徴とする半導体装置。 - 前記金属膜の厚さは、1〜5nmであることを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。
- 前記金属膜は下地の配線層と合金化していることを特徴とする請求項2または請求項3に記載の半導体装置。
- 前記金属膜は、Co、Ni、W、Al、In、Sn、Mn、Zn、Zrの少なくとも1種を含むことを特徴とする請求項2から請求項4のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 基板と、
基板の上に形成された銅または銅合金からなる配線層と、
前記配線層の上に形成されたシリサイド膜と、
前記シリサイド膜の上に形成され、炭化水素ガスを含む処理ガスにより成膜されたアモルファスカーボンからなる銅拡散バリア膜と、
前記銅拡散バリア膜の上に形成された低誘電率絶縁膜と
を有することを特徴とする半導体装置。 - 前記シリサイド膜は、Si含有ガスを前記配線層に供給することによりその中の銅とSiとの反応によって形成されることを特徴とする請求項6に記載の半導体装置。
- 前記シリサイド膜の厚さは、100nm以下であることを特徴とする請求項6または請求項7に記載の半導体装置。
- 前記銅拡散バリア膜の厚さは、5nm以下であることを特徴とする請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記銅拡散バリア膜は、アセチレンガスと水素ガスを含む処理ガスにより成膜されたアモルファスカーボン膜からなることを特徴とする請求項1から請求項9のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記銅拡散バリア膜は、化学式がC4H6で表されるガスを含む処理ガスにより成膜されたアモルファスカーボン膜からなることを特徴とする請求項1から請求項9のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記化学式がC4H6で表されるガスは、2−ブチン、ブタジエンの少なくとも1種であることを特徴とする請求項11に記載の半導体装置。
- 基板上に銅または銅合金からなる配線層を形成する工程と、
前記配線層の上に、銅拡散バリア膜として、炭化水素ガスを含む処理ガスを用いたCVDによりアモルファスカーボン膜を成膜する工程と、
前記銅拡散バリア膜の上に低誘電率絶縁膜を成膜する工程と
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 基板上に銅または銅合金からなる配線層を形成する工程と、
前記配線層の上に金属膜を形成する工程と、
前記金属膜の上に、銅拡散バリア膜として、炭化水素ガスを含む処理ガスを用いたCVDによりアモルファスカーボン膜を成膜する工程と、
前記銅拡散バリア膜の上に低誘電率絶縁膜を成膜する工程と
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記金属膜はその厚さが1〜5nmになるように成膜されることを特徴とする請求項14に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記金属膜は下地の配線層と合金化していることを特徴とする請求項14または請求項15に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記金属膜は、Co、Ni、W、Al、In、Sn、Mn、Zn、Zrの少なくとも1種を含むことを特徴とする請求項14から請求項16のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記金属膜は、めっき処理またはCVD処理により形成されることを特徴とする請求項14から請求項16のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記金属膜を前記めっき処理を用いて成膜する場合に、前記金属膜は、W、Co、Niの少なくとも1種を含むことを特徴とする請求項18に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記金属膜を前記CVD処理を用いて成膜する場合に、前記金属膜は、W、Alの少なくとも1種を含むことを特徴とする請求項18に記載の半導体装置の製造方法。
- 基板上に銅または銅合金からなる配線層を形成する工程と、
前記配線層の上にシリコン含有ガスを供給して前記配線層中の銅とシリコンとの反応によりシリサイド膜を形成する工程と、
前記シリサイド膜の上に、銅拡散バリア膜として、炭化水素ガスを含む処理ガスを用いたCVDによりアモルファスカーボン膜を成膜する工程と、
前記銅拡散バリア膜の上に低誘電率絶縁膜を成膜する工程と
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記シリサイド膜はその厚さが100nm以下になるように成膜されることを特徴とする請求項21に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記シリコン含有ガスは、SiH4ガス、Si2H6ガス、Si(CH3)4ガス、SiH(CH3)3ガス、SiH2(CH3)2ガス、SiH3(CH3)ガス、(SiH3)3Nガスからなる群から選択されたものであることを特徴とする請求項21または請求項22に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記シリサイド膜を形成する工程と、前記アモルファスカーボン膜を成膜する工程とは真空処理により行い、真空を破らずに連続して行うことを特徴とする請求項21から請求項23のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記シリサイド膜を形成する工程と、前記アモルファスカーボン膜を成膜する工程とは同一のチャンバ内で行うことを特徴とする請求項24に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記配線層の表面の酸化膜を除去する工程をさらに有することを特徴とする請求項13から請求項25のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 基板上に銅または銅合金からなる配線層を形成する工程と、
前記配線層の表面の酸化膜を除去する工程と、
前記配線層の上にシリコン含有ガスを供給して前記配線層中の銅とシリコンとの反応によりシリサイド膜を形成する工程と、
前記シリサイド膜の上に、銅拡散バリア膜として、炭化水素ガスを含む処理ガスを用いたCVDによりアモルファスカーボン膜を成膜する工程と、
を有し、
これら工程はいずれも真空処理により行い、真空を破らずに連続して行うことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記配線層の表面の酸化膜を除去する工程と、前記シリサイド膜を形成する工程と、前記アモルファスカーボン膜を成膜する工程とは同一のチャンバ内で行うことを特徴とする請求項27に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記アモルファスカーボン膜は、拡散バリア膜の厚さが5nm以下になるように成膜されることを特徴とする請求項13から請求項28のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記処理ガスは、アセチレンガスと水素ガスとを含むことを特徴とする請求項13から請求項29のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記処理ガスは、化学式がC4H6で表されるガスを含むことを特徴とする請求項13から請求項29のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記化学式がC4H6で表されるガスは、2−ブチン、ブタジエンの少なくとも1種であることを特徴とする請求項31に記載の半導体装置の製造方法。
- コンピュータ上で動作し、半導体装置の製造システムを制御するプログラムが記憶された記憶媒体であって、前記プログラムは、実行時に、請求項13から請求項32のいずれかの半導体装置の製造方法が行われるように、コンピュータに前記半導体装置の製造システムを制御させることを特徴とする記憶媒体。
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