JP2008166265A - 電子放出源 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、希土類六硼化物からなる電子放出源チップと、それを把持し加熱するための炭素質部材からなるヒーターを有する電子放出源において、電子放出源チップとヒーターとの間隙の前記電子放出源チップ側の面が導電性物質で被覆されていることを特徴とする電子放出源である。他の発明は、導電性物質がカーボン、レニウム、炭化ホウ素、ホウ素化ジルコニウムの群から選ばれた1種以上を含有する導電性物質であることを特徴とする電子放出源である。
【選択図】図2
Description
図2に例示する本発明に於いては、電子放出源チップ4とヒーター5の間に間隙を埋めるようにペースト状のカーボン6を塗布しており、ペースト状のカーボン6にはコロイダルグラファイト(水性コロイド黒鉛)を選定した。このようなペースト状の導電性物質を用いることで、容易に電子放出源チップ表面に塗布することが可能となる。また図3に例示する本発明においては、電子放出源チップ4とヒーター5の間のチップ側の面にレニウム層7が被覆されている。これらの構造より、LaB6等の希土類六硼化物からなる電子放出源チップの気相との接触部分がなくなり、従来の電子放出源で見られたチップとヒーターとの界面で生じる反応生成物が生成するのを抑制することができる。
電子放出源チップ材料としてLaB6単結晶を最大長さ方向が<100>結晶方位であり、0.6mm×0.75mm×2mmの大きさの角柱状に切り出し、0.6mm×0.75mmの面を有する一端を90°の円錐状にし、円錐の頂点部分を半径15μmの球状に加工した。
同様に実施例2では図3に示すように、厚み25μm、幅0.75mmのレニウム箔(ニラコ社製)をコの字型に折り曲げ、電子放出源チップとその両側面に配置させたヒーターの間に介した。その後碍子1に端子及び導電性の支柱を取り付け、この支柱の先端に、レニウム箔を介してある電子放出源チップ、およびヒーターを挟み込み、これら電子放出源チップ、レニウム箔、ヒーターを把持した。
比較例においては図1に示すように碍子に端子及び導電性の支柱を取り付け、この支柱の先端に、チップおよびチップの両側面に配置させた直方体のヒーターを挟み込み、これらのチップ、ヒーターを把持して、実施例1,2及び比較例の電子放出源を得た。
2a、2b 端子
3 導電性支柱
4 電子放出源チップ
5 ヒーター
6 ペースト状カーボン
7 レニウム層
Claims (4)
- 希土類六硼化物からなる電子放出源チップと、前記電子放出源チップを把持し加熱するための炭素質部材からなるヒーターとを有する電子放出源において、前記電子放出源チップとヒーターの間隙の前記電子放出源チップ側の面が導電性物質で被覆されていることを特徴とする電子放出源。
- 前記導電性物質がカーボン、レニウム、炭化ホウ素、ホウ素化ジルコニウムの群から選ばれた1種以上を含有する導電性物質であることを特徴とする請求項1記載の電子放出源。
- 前記導電性物質の主成分がカーボンであることを特徴とする請求項1記載の電子放出源。
- 前記電子放出源の製造方法において、前記電子放出源チップの面にペースト状の前記導電物質を塗布する工程を含むことを特徴とする前記電子放出源の製造方法。
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