JP2008159651A - 多層配線、積層アルミニウム配線、半導体装置、及びそれらの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 多層配線接続プラグ124を形成し、そのプラグ上に配線層125となるバリアメタル層125−1とAlCu層125−2を堆積させる。AlCu層の表面をCMPにより平坦化してから導電性反射防止膜であるTiN膜125−3を形成する。その後、レジスト41を形成して配線層を加工する。
【選択図】図4
Description
試料の断面を図4(d)に示す。
110 トランジスタ層
111 素子分離
112 ウェル
113 拡散領域
114 ポリシリコン
115 ゲート金属
116 SiN膜
117 第1の層間絶縁膜
118 第1の接続プラグ
120 多層配線層
121 第1の配線層
121−1 TiN膜
121−2 W膜
122 SiN膜
123 第2の層間絶縁膜
124 第2の接続プラグ
124−1 バリアメタル層
124−2 タングステン膜
125 第2の配線層
125−1 TiN/Ti膜
125−2 AlCu膜
125−3 TiN膜
125−5 TaN/Ta膜
125−6 TaN膜
126 第3の層間絶縁膜
127 第3の接続プラグ
127−1 TiN膜
127−2 タングステン膜
128 第3の配線層
128−1 バリアメタル層
128−2 AlCu膜
128−3 キャップTiN膜
128−5 TaN/Ta膜
125−6 TaN膜
130 SiO2ハードマスク
41 フォトレジスト
51 SiO2膜
52 フォトレジスト
71 反射防止膜
Claims (15)
- アルミニウム又はアルミニウムを主成分とするアルミニウム合金からなる主配線層を形成する工程と、
前記主配線層の表面をCMP法により平坦化する工程と、
前記主配線層をパターニングする工程と、
を含むことを特徴とする多層配線の製造方法。 - 請求項1に記載の多層配線の製造方法において、
前記主配線層を形成する工程の前に、バリアメタル層としてTiN膜、TiN/Ti積層膜、TaN膜、又はTaN/Ta積層膜を形成する工程を含み、
前記主配線層をパターニングする工程の後に、前記バリアメタル層を前記主配線層と実質的に同一パターンとなるようにパターニングする工程を含む、
ことを特徴とする多層配線の製造方法。 - 層間絶縁膜に形成された接続ホール内に接続プラグを形成する工程と、
前記層間絶縁膜及び前記接続プラグ上にバリアメタル層を形成する工程と、
前記バリアメタル層上にアルミニウム又はアルミニウムを主成分とするアルミニウム合金からなる主配線層を形成する工程と、
前記主配線層の表面をCMP法により平坦化する工程と、
前記主配線層をパターニングする工程と、
を含むことを特徴とする多層配線の製造方法。 - 請求項3に記載の多層配線の製造方法において、
前記接続プラグを形成する際、不要接続プラグ材料の除去にエッチバック法が用いられることを特徴とする多層配線の製造方法。 - 請求項3又は4に記載の多層配線の製造方法において、
前記接続プラグを形成する工程の後、前記層間絶縁膜の表面をエッチングする工程をさらに含むことを特徴とする多層配線の製造方法。 - 請求項5に記載の多層配線の製造方法において、
前記層間絶縁膜のエッチングが、前記接続プラグの上面と前記層間絶縁膜の表面との間の段差を縮小するために、又は、前記接続プラグの上面を前記層間絶縁膜の表面から突出させるために、行なわれることを特徴とする多層配線の製造方法。 - 請求項1乃至6のうちのいずれか一つに記載された方法により製造されたことを特徴とする多層配線。
- バリアメタル層を形成する工程と、
前記バリアメタル層上に、アルミニウム又はアルミニウムを主成分とするアルミニウム合金からなる主配線層を形成する工程と、
主配線層の表面を平坦化する工程と、
レジストパターンを形成し、該レジストパターンを用いて前記主配線層をパターニングする工程と、
を含むことを特徴とする積層アルミニウム配線の製造方法。 - 請求項8に記載の積層アルミニウム配線の製造方法において、
前記主配線層の表面を平坦化する工程の後であって、前記レジストパターンを形成する工程の前に、キャップ層を形成する工程をさらに含むことを特徴とする積層アルミニウム配線の製造方法。 - 請求項9に記載の積層アルミニウム配線の製造方法において、
前記キャップ層がTiN膜又はTaN膜であることを特徴とする積層アルミニウム配線の製造方法。 - 請求項9又は10に記載の積層アルミニウム配線の製造方法において、
前記キャップ層を形成する工程の後であって、前記レジストパターンを形成する工程の前に、絶縁膜からなるハードマスク層を形成する工程をさらに含むことを特徴とする積層アルミニウム配線の製造方法。 - 請求項11に記載の積層アルミニウム配線の製造方法において、
前記ハードマスク層を形成する工程の後であって、前記レジストパターンを形成する工程の前に、塗布系反射防止膜を形成する工程をさらに含むことを特徴とする積層アルミニウム配線の製造方法。 - 請求項8乃至12のうちのいずれか一つに記載された方法により製造された積層アルミニウム配線を含むことを特徴とする多層配線。
- 層間絶縁膜に形成された接続ホールに接続プラグを形成する工程と、
前記層間絶縁膜をエッチングして前記接続プラグの上部を当該層間絶縁膜の表面より突出させる工程と、
前記層間絶縁膜及び前記接続プラグ上にバリアメタル層を形成する工程と、
前記バリア層上にアルミニウム又はアルミニウムを主成分とするアルミニウム合金からなる主配線層を形成する工程と、
前記主配線層の表面をCMPにより平坦化する工程と、
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - アルミニウム又はアルミニウムを主成分とするアルミニウム合金からなる主配線層を形成する工程と、
前記主配線層の表面の反射率及び膜厚の少なくとも一方を測定し、当該配線層の平坦化処理が必要か否か判定する工程と、
平坦化処理が必要と判定された場合に前記主配線層の表面を平坦化する工程と、
を含むことと特徴とする半導体装置の製造方法。
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