JP2008159177A - 磁気記録媒体及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板と、該基板上に形成されたグラニュラー層と、該グラニュラー層上に形成されたアモルファス磁性膜からなる記録層と、を少なくとも有する磁気記録媒体であって、該グラニュラー層は、Fe、Co、Niのうち少なくとも1種類の元素とPt、Pdのうち少なくとも1種類の元素を主成分とする複数の柱状磁性体と、該柱状磁性体を取り囲むSiO2、Al2O3、MgOのうち少なくとも1種類の酸化物を主成分とする非磁性体マトリックス領域と、を含み、及び、該柱状磁性体の平均直径は、2nm以上6nm以下の範囲内であり、かつ前記柱状磁性体の平均周期は、4nm以上8nm以下の範囲であることを特徴とする。
【選択図】図5
Description
本発明の製造方法に従って、本発明の磁気記録媒体を製造した。
実施例1と同様の方法で、本発明に従う磁気記録媒体を製造した。しかし、実施例1とは、グラニュラー層における柱状構造の直径及び周期が異なっている。
グラニュラー層を形成しない以外は実施例1と同様にして、2.5インチガラス基板上にMgO(001)層を15nm、TbCoFe記録層を8nm、保護膜のDLC、及び潤滑層のPFPE(パーフルオロエーテル)を形成して磁気記録媒体を作製した。
12、22、42、52、72 下地層
13、23、43、53、73 グラニュラー層
14、24、34、44、54 マトリックス部材
15 球状結晶
25、35、45、55 柱状結晶部材
31 周期
32 直径
46 連続膜
57、77 記録層
78 保護層
79 潤滑層
Claims (11)
- 基板と、該基板上に形成されたグラニュラー層と、該グラニュラー層上に形成されたアモルファス磁性膜からなる記録層と、を少なくとも有する磁気記録媒体であって、
該グラニュラー層は、Fe、Co、Niのうち少なくとも1種類の元素とPt、Pdのうち少なくとも1種類の元素を主成分とする複数の柱状磁性体と、該柱状磁性体を取り囲むSiO2、Al2O3、MgOのうち少なくとも1種類の酸化物を主成分とする非磁性体マトリックス領域と、を含み、及び、該柱状磁性体の平均直径は、2nm以上6nm以下の範囲内であり、かつ前記柱状磁性体の平均周期は、4nm以上8nm以下の範囲であることを特徴とする磁気記録媒体。 - 前記グラニュラー層の膜厚は、前記柱状磁性体の平均直径に対してアスペクト比が2以上であり、かつ膜厚の上限が10nmとなるように構成されていることを特徴とする請求項1に記載の磁気記録媒体。
- 前記グラニュラー層は、L10構造を有するFePtを主成分とする柱状磁性体がSiO2を主成分とする非磁性体マトリックス領域に分散している構成をしており、及び、前記記録層は、TbFeCoを主成分とするアモルファス磁性膜であることを特徴とする請求項1又は2に記載の磁気記録媒体。
- 前記非磁性体マトリックス領域のSiO2の含有率は、40体積%以上90体積%以下であることを特徴とする請求項3に記載の磁気記録媒体。
- 基板と、該基板上に形成されたグラニュラー層と、該グラニュラー層上に形成されたアモルファス磁性膜からなる記録層と、を少なくとも有する磁気記録媒体の製造方法であって、
該基板上に、複数の柱状磁性体と、該柱状磁性体を取り囲む非磁性体マトリックス領域と、を有するグラニュラー層を形成する第1工程と、
該グラニュラー層上に連続膜を形成する第2工程と、
該第2工程と同時に、又は該第1工程及び該第2工程の後に熱処理を行なう第3工程と、
該連続膜を除去する第4工程と、
該連続膜が除去された該グラニュラー層上に、該記録層を形成する第5工程と、
からなることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。 - 前記柱状磁性体はFePtを主成分としており、前記非磁性マトリックス領域はSiO2を主成分としており、及び、前記アモルファス磁性膜はTbFeCoを主成分としていることを特徴とする請求項5に記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 前記第2工程は、スパッタリング法によってなされることを特徴とする請求項5又は6に記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 熱処理前の前記柱状磁性体の平均直径は、1nm以上5nm以下であることを特徴とする請求項5から7のいずれか1項に記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 前記連続膜は、前記柱状磁性体と同じ化合物であることを特徴とする請求項5から8のいずれか1項に記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 前記連続膜の膜厚は、1nm以上30nm以下であることを特徴とする請求項5から9のいずれか1項に記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 前記第3工程は、水素を含む還元性雰囲気下で行なわれることを特徴とする請求項5から10のいずれか1項に記載の磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006347663A JP4641524B2 (ja) | 2006-12-25 | 2006-12-25 | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008159177A true JP2008159177A (ja) | 2008-07-10 |
JP2008159177A5 JP2008159177A5 (ja) | 2009-12-03 |
JP4641524B2 JP4641524B2 (ja) | 2011-03-02 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006347663A Expired - Fee Related JP4641524B2 (ja) | 2006-12-25 | 2006-12-25 | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP4641524B2 (ja) |
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Date | Code | Title | Description |
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RD01 | Notification of change of attorney |
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A521 | Written amendment |
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RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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|
RD01 | Notification of change of attorney |
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|
A977 | Report on retrieval |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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