JP2007164941A - 垂直磁気記録媒体 - Google Patents
垂直磁気記録媒体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007164941A JP2007164941A JP2005363354A JP2005363354A JP2007164941A JP 2007164941 A JP2007164941 A JP 2007164941A JP 2005363354 A JP2005363354 A JP 2005363354A JP 2005363354 A JP2005363354 A JP 2005363354A JP 2007164941 A JP2007164941 A JP 2007164941A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- soft magnetic
- perpendicular magnetic
- recording medium
- alloy
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
【解決手段】Taに代表される第1の下地膜と、Ptに代表される第2の下地膜と、Mn系合金膜と、一般式(FexCo1-x)y(A)1-y(ここで、0.6≦x≦0.8であり、0≦1−y≦0.3であり、AはB、C、Mg、Al、Si、Ti、V、Cr、Mn、Ni、Cu、Zn、Ga、Ge、Y、Zr、Nb、Mo、Ru、Rh、Pd、Ag、In、Hf、Ta、W、Ir、PtおよびAuからなる群より選択される少なくとも1種の元素を含む、単体金属、合金、酸化物または窒化物である)で表される軟磁性裏打ち膜と、中間膜と、垂直磁気異方性を有する記録膜とを有することを特徴とする垂直磁気記録媒体。
【選択図】 図1
Description
V、Cr、Fe、Nb、Mo、Ta、W、Ti、Co、Ru、Zr、Pt、ZnおよびHfからなる群より選択される少なくとも1種の元素を含有する第1の下地膜と、
Pt、Au、Ag、Ru、Pd、Al、Cu、Rh、IrおよびNiからなる群より選択される少なくとも1種の元素を含有する第2の下地膜(ただし第2の下地膜の材料は第1の下地膜の材料と異なる)と、
一般式MnaM1-a(ここで、0.4≦a≦0.95であり、MはFe、Ir、Pt、Cr、Rh、Ru、Pd、Ni、Co、Au、CuおよびAgからなる群より選択される少なくとも1種の元素を含む)で表されるMn系合金膜と、
一般式(FexCo1-x)y(A)1-y(ここで、0.6≦x≦0.8であり、0≦1−y≦0.3であり、AはB、C、Mg、Al、Si、Ti、V、Cr、Mn、Ni、Cu、Zn、Ga、Ge、Y、Zr、Nb、Mo、Ru、Rh、Pd、Ag、In、Hf、Ta、W、Ir、PtおよびAuからなる群より選択される少なくとも1種の元素を含む、単体金属、合金、酸化物または窒化物である)で表される軟磁性裏打ち膜と、
中間膜と、
垂直磁気異方性を有する記録膜と
を有することを特徴とする。
図1に本実施例において作製した垂直磁気記録媒体の断面図を示す。基板1上に、第1の下地膜2、第2の下地膜3、Mn系合金膜4、FeCo系軟磁性裏打ち膜5、中間膜6、および記録膜7が積層されている。
実施例1と同様の手順で、基板1上に、第1の下地膜2としてTaを5nmに固定して堆積し、第2の下地膜3としてPtを10nmに固定して堆積し、Mn系合金膜4としてMnIrを10nmに固定して堆積し、軟磁性裏打ち膜5として(Fe0.70Co0.30)0.99(Al2O3)0.01を種々の膜厚で堆積し、中間膜6としてRuを10nmに固定して堆積し、記録膜7として(Co0.80Pt0.20)−(TiO2)[CoPt:TiO2=70:30vol%]を15nmに固定して堆積した。
実施例1と同様の手順で、基板1上に、第1の下地膜2としてTaを5nmに固定して堆積し、第2の下地膜3としてPtを10nmに固定して堆積し、Mn系合金膜4としてMnIrを10nmに固定して堆積し、軟磁性裏打ち膜5として(Fe0.70Co0.30)0.99(Al2O3)0.01を50nmに固定して堆積し、中間膜6としてRuを種々の膜厚で堆積し、記録膜7として(Co0.80Pt0.20)−(TiO2)[CoPt:TiO2=70:30vol%]を15nmに固定して堆積した。
FeCo系軟磁性裏打ち膜のターゲットとして、Al2O3含有量が異なる(Fe0.70Co0.30)y(Al2O3)1-y(0.005≦1−y≦0.05)の焼結体を用い、実施例1と同様の手順で垂直磁気記録媒体を作製した。
FeCo系軟磁性裏打ち膜のターゲットとして、成分AがB、C、Mg、Al、Si、Ti、V、Cr、Mn、Ni、Cu、Zn、Ga、Ge、Y、Zr、Nb、Mo、Ru、Rh、Pd、Ag、In、Hf、Ta、W、Ir、PtおよびAuからなる群より選択される少なくとも1種の元素を含む、単体金属、合金、酸化物または窒化物である、(Fe0.70Co0.30)0.99(A)0.01の焼結体を用い、実施例1と同様の手順で垂直磁気記録媒体を作製した。
Mn系合金膜のターゲットとして合金成分MがFe、Ir、Pt、Cr、Rh、Ru、Pd、Ni、Co、Au、CuまたはAgであるMnaM1-a(0.4≦a≦0.95)を用い、実施例1と同様の手順で垂直磁気記録媒体を作製した。
第1の下地膜のターゲットとしてV、Cr、Fe、Nb、Mo、Ta、W、Ti、Co、Ru、Zr、Pt、ZnまたはHf、第2の下地膜のターゲットとしてPt、Au、Ag、Ru、Pd、Al、Cu、Rh、IrまたはNiを用い、実施例1と同様の手順で垂直磁気記録媒体を作製した。
Claims (2)
- V、Cr、Fe、Nb、Mo、Ta、W、Ti、Co、Ru、Zr、Pt、ZnおよびHfからなる群より選択される少なくとも1種の元素を含有する第1の下地膜と、
Pt、Au、Ag、Ru、Pd、Al、Cu、Rh、IrおよびNiからなる群より選択される少なくとも1種の元素を含有する第2の下地膜(ただし第2の下地膜の材料は第1の下地膜の材料と異なる)と、
一般式MnaM1-a(ここで、0.4≦a≦0.95であり、MはFe、Ir、Pt、Cr、Rh、Ru、Pd、Ni、Co、Au、CuおよびAgからなる群より選択される少なくとも1種の元素を含む)で表されるMn系合金膜と、
一般式(FexCo1-x)y(A)1-y(ここで、0.6≦x≦0.8であり、0≦1−y≦0.3であり、AはB、C、Mg、Al、Si、Ti、V、Cr、Mn、Ni、Cu、Zn、Ga、Ge、Y、Zr、Nb、Mo、Ru、Rh、Pd、Ag、In、Hf、Ta、W、Ir、PtおよびAuからなる群より選択される少なくとも1種の元素を含む、単体金属、合金、酸化物または窒化物である)で表される軟磁性裏打ち膜と、
中間膜と、
垂直磁気異方性を有する記録膜と
を有することを特徴とする垂直磁気記録媒体。 - 前記軟磁性裏打ち膜のX線回折プロファイルによるロッキングカーブの半値幅が6度以下であることを特徴とする請求項1に記載の垂直磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005363354A JP2007164941A (ja) | 2005-12-16 | 2005-12-16 | 垂直磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005363354A JP2007164941A (ja) | 2005-12-16 | 2005-12-16 | 垂直磁気記録媒体 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007164941A true JP2007164941A (ja) | 2007-06-28 |
Family
ID=38247665
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005363354A Pending JP2007164941A (ja) | 2005-12-16 | 2005-12-16 | 垂直磁気記録媒体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007164941A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007294032A (ja) * | 2006-04-26 | 2007-11-08 | Showa Denko Kk | 磁気記録媒体及びその製造方法、並びに磁気記録再生装置 |
JP2009191359A (ja) * | 2008-01-15 | 2009-08-27 | Hitachi Metals Ltd | Fe−Co−Zr系合金ターゲット材 |
JP2009301606A (ja) * | 2008-06-10 | 2009-12-24 | Fuji Electric Device Technology Co Ltd | 垂直磁気記録媒体 |
JP2014009992A (ja) * | 2012-06-28 | 2014-01-20 | Fujifilm Corp | 放射線画像検出装置 |
JP2015130227A (ja) * | 2015-02-09 | 2015-07-16 | 山陽特殊製鋼株式会社 | 磁気記録媒体に用いる低飽和磁束密度を有する軟磁性膜層用合金およびスパッタリングターゲット材 |
JP2016090388A (ja) * | 2014-11-05 | 2016-05-23 | コニカミノルタ株式会社 | シンチレータパネルおよび放射線検出器 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000215432A (ja) * | 1999-01-18 | 2000-08-04 | Nec Corp | 垂直磁気記録媒体 |
JP2003168207A (ja) * | 2001-11-29 | 2003-06-13 | Fuji Electric Co Ltd | 垂直磁気記録媒体及び垂直磁気記録媒体の製造方法 |
JP2005092918A (ja) * | 2003-09-12 | 2005-04-07 | Japan Science & Technology Agency | アモルファス軟磁性膜を有する垂直磁気記録媒体 |
-
2005
- 2005-12-16 JP JP2005363354A patent/JP2007164941A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000215432A (ja) * | 1999-01-18 | 2000-08-04 | Nec Corp | 垂直磁気記録媒体 |
JP2003168207A (ja) * | 2001-11-29 | 2003-06-13 | Fuji Electric Co Ltd | 垂直磁気記録媒体及び垂直磁気記録媒体の製造方法 |
JP2005092918A (ja) * | 2003-09-12 | 2005-04-07 | Japan Science & Technology Agency | アモルファス軟磁性膜を有する垂直磁気記録媒体 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007294032A (ja) * | 2006-04-26 | 2007-11-08 | Showa Denko Kk | 磁気記録媒体及びその製造方法、並びに磁気記録再生装置 |
JP4637785B2 (ja) * | 2006-04-26 | 2011-02-23 | 昭和電工株式会社 | 磁気記録媒体並びに磁気記録再生装置 |
JP2009191359A (ja) * | 2008-01-15 | 2009-08-27 | Hitachi Metals Ltd | Fe−Co−Zr系合金ターゲット材 |
JP2009301606A (ja) * | 2008-06-10 | 2009-12-24 | Fuji Electric Device Technology Co Ltd | 垂直磁気記録媒体 |
JP2014009992A (ja) * | 2012-06-28 | 2014-01-20 | Fujifilm Corp | 放射線画像検出装置 |
JP2016090388A (ja) * | 2014-11-05 | 2016-05-23 | コニカミノルタ株式会社 | シンチレータパネルおよび放射線検出器 |
JP2015130227A (ja) * | 2015-02-09 | 2015-07-16 | 山陽特殊製鋼株式会社 | 磁気記録媒体に用いる低飽和磁束密度を有する軟磁性膜層用合金およびスパッタリングターゲット材 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3809418B2 (ja) | 磁気記録媒体及び磁気記録装置 | |
JP3641611B2 (ja) | 磁気記録媒体及びその製造方法並びに磁気記録装置 | |
JP2010211921A (ja) | 垂直磁気記録ディスクの製造方法及び垂直磁気記録ディスク | |
US8034470B2 (en) | Perpendicular magnetic recording medium and method of manufacturing the medium | |
WO2016194383A1 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
JPWO2006003922A1 (ja) | 垂直磁気記録ディスク及びその製造方法 | |
KR20060054100A (ko) | 수직 자기 기록 매체 | |
JP2009059402A (ja) | 垂直磁気記録媒体及びそれを用いた磁気記録再生装置 | |
JP5923337B2 (ja) | 積層体、および積層体を作製する方法 | |
KR20070067600A (ko) | 내식성을 개선하기 위한 초박형 핵형성 막을 가진 수직자기 기록 디스크 및 이 디스크의 제조 방법 | |
JP2002190108A (ja) | 磁気記録媒体およびその製造方法 | |
JP2007164941A (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
JP6156518B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
US6686071B2 (en) | Magnetic recording medium and magnetic recording apparatus using the same | |
JP5325945B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 | |
JP2005521980A (ja) | 磁気記録媒体及び磁気記憶装置 | |
US20120114975A1 (en) | Sputtering Targets And Recording Materials Of Hard Disk Formed From The Sputtering Target | |
JP4453479B2 (ja) | 交換結合型軟磁性材料 | |
JP5535293B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
JP2003203330A (ja) | 磁気記録媒体 | |
EP1887568B1 (en) | Heat assisted magnetic recording medium and method for fabricating the same | |
WO2016067579A1 (ja) | 磁気記録媒体 | |
JP2004127502A (ja) | 磁気記録媒体 | |
JP2007102833A (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
JP6451011B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20071207 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20080303 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20091106 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091117 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100330 |