JP4453479B2 - 交換結合型軟磁性材料 - Google Patents
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Description
K. Shintaku, K. Yamakawa, and K. Ouchi, "High-Bs Fe-Co-Al-O soft magnetic films," J. Appl. Phys., vol. 93, no. 10, pp. 6474-6476, 2003.
ターゲットとして、直径100mm、厚さ3mmの円盤状のPt、Mn0.8Ir0.2および(Fe0.70Co0.30)0.99(Al2O3)0.01の焼結体を用いた。基板として、10mm角、厚さ1mmのシリコンの表面に酸化シリコンを形成したものを用いた。
実施例1と同様の手順で、基板上にPt膜の膜厚を10nmに固定して堆積し、その上にMnIr膜の膜厚を10nmに固定して堆積し、その上に(Fe0.70Co0.30)0.99(Al2O3)0.01膜を種々の膜厚で堆積した。
実施例1と同様の手順で、基板上にPt膜を種々の膜厚で堆積し、その上にMnIr膜の膜厚を10nmに固定して堆積し、その上に(Fe0.70Co0.30)0.99(Al2O3)0.01膜を膜厚約100nmに固定して堆積した。
実施例1と同様の手順で、基板上にPt膜を膜厚10nmに固定して堆積し、その上にMnIr膜を種々の膜厚で堆積し、その上に(Fe0.70Co0.30)0.99(Al2O3)0.01膜を膜厚約100nmに固定して堆積した。
FeCo系軟磁性膜のターゲットとして、Al2O3含有量が異なる(Fe0.70Co0.30)y(Al2O3)1-y(0.005≦1−y≦0.05)の焼結体を用いた以外、実施例1と同様の手順で、基板上にMnIr/Pt下地膜を介して種々の含有量でAl2O3を含有したFeCo系軟磁性膜を堆積した。
金属下地膜(M’)のターゲットとしてAg、Al、Au、Co、Cr、Cu、Fe、Mn、Ir、Mo、Nb、Ni、Pd、Pt、Rh、Ru、Ta、Ti、V、W、Zrからなる群より選択される少なくとも1種からなる単体金属または合金を用い、実施例1と同様の手順で、基板上に金属下地膜を堆積し、その上にMnIr膜を堆積し、その上に(Fe0.70Co0.30)0.99(Al2O3)0.01膜を堆積した。
Mn系合金下地膜ターゲットとして合金成分MがFe、Ir、Pt、Cr、Rh、Ru、Pd、Ni、Co、Au、CuまたはAgであるMnaM1-a(0.4≦a≦0.95)を用い、実施例1と同様の手順で、基板上にPt下地膜を堆積し、その上にMn系合金下地膜を堆積し、その上に(Fe0.70Co0.30)0.99(Al2O3)0.01膜を堆積した。
FeCo系軟磁性膜のターゲットとして、Aが異なる(Fe0.70Co0.30)0.99(A)0.01の焼結体を用いた以外は、上記実施例1と同様の手順で、基板上にPt下地膜を堆積し、その上にMn系合金下地膜を堆積し、その上にFeCo系軟磁性膜を堆積した。
ターゲットとして、Al2O3含有量が異なる(Fe0.70Co0.30)y(Al2O3)1-y(0.005≦1−y≦0.3)の焼結体を用いた以外、実施例1と同様の手順で、基板上にMnIr/Pt下地膜を介して種々の含有量でAl2O3を含有量したFeCo系軟磁性膜を堆積した。
Claims (3)
- Ag、Al、Au、Co、Cr、Cu、Fe、Ir、Mo、Nb、Ni、Pd、Pt、Rh、Ru、Ta、Ti、V、W、Zrからなる群より選択される少なくとも1種を含む金属下地膜と、
前記金属下地膜上に設けられた、下記一般式
Mn a M 1-a
(ここで、0.4≦a≦0.95であり、MはFe、Ir、Pt、Cr、Rh、Ru、Pd、Ni、Co、Au、CuおよびAgからなる群より選択される少なくとも1種である)
で表されるMn系合金下地膜と、
前記Mn系合金下地膜上に設けられた、下記一般式
(FexCo1-x)y(A)1-y
(ここで、0.6≦x≦0.8であり、0<1−y≦0.05であり、AはMg、Al、Si、Ti、V、CrおよびMnの酸化物および窒化物からなる群より選択される少なくとも1種である)
で表される軟磁性膜と
を含むことを特徴とする交換結合により磁気異方性が制御された軟磁性材料。 - Ag、Al、Au、Co、Cr、Cu、Fe、Ir、Mo、Nb、Ni、Pd、Pt、Rh、Ru、Ta、Ti、V、W、Zrからなる群より選択される少なくとも1種を含む金属下地膜と、
前記金属下地膜上に設けられた、下記一般式
Mn a M 1-a
(ここで、0.4≦a≦0.95であり、MはFe、Ir、Pt、Cr、Rh、Ru、Pd、Ni、Co、Au、CuおよびAgからなる群より選択される少なくとも1種である)
で表されるMn系合金下地膜と、
前記Mn系合金下地膜上に設けられた、下記一般式
(FexCo1-x)y(A)1-y
(ここで、0.6≦x≦0.8であり、0.05≦1−y≦0.3であり、AはMg、Al、Si、Ti、V、CrおよびMnの酸化物および窒化物からなる群より選択される少なくとも1種である)
で表される軟磁性膜と
を含むことを特徴とする交換結合により磁気異方性が制御された軟磁性材料。 - 前記金属下地膜の膜厚が3nm以上、前記Mn系合金下地膜の膜厚が5nm以上、前記(FexCo1-x)y(A)1-y で表される軟磁性膜の膜厚が20〜1000nmであることを特徴とする請求項1または2に記載の交換結合により磁気異方性が制御された軟磁性材料。
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