JP2005092918A - アモルファス軟磁性膜を有する垂直磁気記録媒体 - Google Patents
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Abstract
【課題】高い飽和磁束密度、低い抗磁力、優れた表面平坦性、および優れた熱安定性を有するFe基アモルファス軟磁性膜を備える垂直磁気記録媒体、並びにスパイクノイズの低減に有効な交換結合型裏打ち層を備える垂直磁気記録媒体を提供する。
【解決手段】非磁性基板上に少なくとも裏打ち層と、垂直磁気記録層とを備え、前記裏打ち層が次式、(Fex−Co(1-x))k−(Siy−Ge(1-y))l−Bm−Cnの組成の軟磁性膜から構成されていることを特徴とする。但し、x、y、k、l、m、nは原子分率であり、x≧0.7、y≧0.5、0.74≦k≦0.80、0.05≦l≦0.20、0.05≦m≦0.21、n≦0.1、k+l+m+n=1である。
【選択図】 図1
【解決手段】非磁性基板上に少なくとも裏打ち層と、垂直磁気記録層とを備え、前記裏打ち層が次式、(Fex−Co(1-x))k−(Siy−Ge(1-y))l−Bm−Cnの組成の軟磁性膜から構成されていることを特徴とする。但し、x、y、k、l、m、nは原子分率であり、x≧0.7、y≧0.5、0.74≦k≦0.80、0.05≦l≦0.20、0.05≦m≦0.21、n≦0.1、k+l+m+n=1である。
【選択図】 図1
Description
本発明は、高密度磁気記録技術に係わり、特に垂直磁気記録媒体を構成する裏打ち層において、優れた磁気特性と表面平坦性と熱安定性を実現するアモルファス軟磁性膜の組成に関するものである。
磁気記録技術は、膨大な情報量を記録する技術として広く用いられている。この中で、コンピュータ用ハードディスク装置に用いられる磁気記録媒体および磁気ヘッドは、近年、盛んに研究開発が行われており、非常な勢いで記録面密度の高密度化が進んでいる。
この高密度化をさらに促進する記録方式として、垂直磁気記録方式が注目されている。
垂直磁気記録方式における記録媒体には、裏打ち層と呼ばれる軟磁性膜と記録層と呼ばれる垂直磁気異方性を示す磁性膜の二種類の磁性膜から構成される二層膜磁気記録媒体が用いられる。
さらに、実用性を高める目的から、下地膜と交換結合型裏打ち層と非磁性層と垂直磁気記録層を順次備える構造の二層膜磁気記録媒体が盛んに研究されている。
ここで、交換結合型裏打ち層は、反強磁性膜と軟磁性層との積層構造(非特許文献1)、硬質磁性膜と軟磁性膜との積層構造(非特許文献2)、または軟磁性膜と非磁性膜と軟磁性膜との積層構造(非特許文献3および4)からなり、裏打ち層として機能する。
この交換結合型構造の目的は、軟磁性膜における磁化ベクトルを固定し、磁壁の発生または発生した磁壁の動きを抑制することにあり、その効果として、記録情報の再生時に生ずるスパイクノイズを低減することができる。また、下地層は、交換結合型裏打ち層における交換結合磁界を大きくしたり、軟磁性膜の抗磁力を低減する機能を有する。さらに、非磁性層は、記録層の垂直磁気異方性を高める機能を有している。
二層膜磁気記録媒体における上記の裏打ち層は、記録および再生時に磁気ヘッドと磁路を構成し、記録分解能、記録感度および再生感度の向上に寄与する。この時、裏打ち層と磁気ヘッドの間隔(以下、磁気スペーシングと記述する)は狭いほど、大きな記録磁場と急峻な磁場勾配が得られることから、高密度記録に適する。従って、記録媒体の表面が平坦であるほど、磁気スペーシングを狭くでき、高密度記録に有利である。
裏打ち層を構成する軟磁性膜は、通常50nm程度から500nm程度の膜厚であり、他の層の膜厚より厚いことから、軟磁性膜の表面の平坦性が記録媒体の表面平坦性に大きく影響する。従って、裏打ち層用軟磁性膜に要求される特性としては、磁気特性とともに表面平坦性は非常に重要な特性である。
現在、二層膜磁気記録媒体の裏打ち層に用いる軟磁性膜としては、Fe基合金からなる結晶性の膜とCo基アモルファス合金膜が主に研究されている。
Fe基合金からなる結晶性の膜は、組成により、飽和磁束密度として1.5T以上の高い値が得られるものの、裏打ち層に用いる膜厚においては、膜成長過程で結晶粒が大きくなり易く、それに伴い膜表面の平坦性を損なう。この際、前述の磁気スペーシングが大きくなることから、高密度記録を困難にする。また、優れた軟磁性特性、即ち1Oe以下の
低い抗磁力を得るためには、結晶粒径の制御およびその配向性の制御が必要となる。これらの課題を改善するため、現在、下地層の探索、結晶粒を微細化する微量元素の添加、さらに多層膜化等の検討が進められている。
低い抗磁力を得るためには、結晶粒径の制御およびその配向性の制御が必要となる。これらの課題を改善するため、現在、下地層の探索、結晶粒を微細化する微量元素の添加、さらに多層膜化等の検討が進められている。
一方、Co−Zr−Nbアモルファス合金、Co−Zr−Taアモルファス合金などのCo基アモルファス合金は、表面平坦性の良好な膜を得ることが容易である。さらに、これらの膜は、1Oe以下の優れた抗磁力が得られ易い。しかしながら、飽和磁束密度が約1.2Tと低く、さらに350℃以上の熱処理により一部結晶化が起こり、軟磁気特性だけでなく、表面平坦性、さらに形成されていた媒体層構造の界面を乱し、例えば垂直磁気記録層の結晶配向性を損なう等の問題を生ずる。このため、高温成膜が必要となる。例えばL10型結晶構造の規則合金薄膜を垂直磁気記録層として用いることが困難である。
一方、上記の従来裏打ち層として研究されている軟磁性材料に対し、液体超急冷法を用いて作製されるFe−Co−Si−B合金(非特許文献5および6)、Fe−Si−B−C合金(非特許文献7)等のFe基アモルファス薄帯は、その組成により、高い飽和磁束密度が得られることが知られている。
しかしながら、これまでのところ垂直磁気記録媒体への適用の報告はなく、裏打ち層として用いることの出来る組成および作製方法、さらに交換結合膜構造は不明である。
上記したように、現在の磁気記録技術においては、さらなる高密度化と高性能化が要求されており、垂直磁気記録媒体に用いる裏打ち層として、より高い飽和磁束密度、低い抗磁力、優れた表面平坦性を有する軟磁性膜の開発と、スパイクノイズの低減に有効な交換結合型裏打ち層の開発が強く求められている。特に、高温成膜が必要なL10形規則合金薄膜を記録層とする垂直磁気記録媒体の裏打ち層に適用可能な熱安定性を有する軟磁性膜が切望されている。
K.Tanahashi, A.Kikukawa, N.Shimizu, and Y.Hosoe; Journal of Applied Physics, vol.91, pp.8049-8051(2002) T.Ando and T.Nishihara; IEEE Transactions on Magnetics, vol. 33, pp.2983-2985(1997) 斉藤伸、平井健一、橋本篤志、角田匡清、高橋研;日本応用磁気学会誌、vol.27, pp.224-229(2003) 島津武仁、本間一人、渡辺功、村岡裕明、中村慶久;日本応用磁気学会誌、vol.27, pp.230-233(2003) K.I.Arai and N.Tsuya; Journal of Applied Physics, vol.49, pp.1718-1720(1978) M.A.Mitchell, A.E.Clark, H.T.Savage, and R.J.Abbundi; IEEE Transactions on Magnetics, vol.14, pp.1169-1171(1978) M.Mitera, T.Masumoto and N.S.Kazama; Journal of Applied Physics, vol.50, pp.7609-7611(1979)
K.Tanahashi, A.Kikukawa, N.Shimizu, and Y.Hosoe; Journal of Applied Physics, vol.91, pp.8049-8051(2002) T.Ando and T.Nishihara; IEEE Transactions on Magnetics, vol. 33, pp.2983-2985(1997) 斉藤伸、平井健一、橋本篤志、角田匡清、高橋研;日本応用磁気学会誌、vol.27, pp.224-229(2003) 島津武仁、本間一人、渡辺功、村岡裕明、中村慶久;日本応用磁気学会誌、vol.27, pp.230-233(2003) K.I.Arai and N.Tsuya; Journal of Applied Physics, vol.49, pp.1718-1720(1978) M.A.Mitchell, A.E.Clark, H.T.Savage, and R.J.Abbundi; IEEE Transactions on Magnetics, vol.14, pp.1169-1171(1978) M.Mitera, T.Masumoto and N.S.Kazama; Journal of Applied Physics, vol.50, pp.7609-7611(1979)
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、高い飽和磁束密度、低い抗磁力、優れた表面平坦性、および優れた熱安定性を有するFe基アモルファス軟磁性膜を備える垂直磁気記録媒体、並びにスパイクノイズの低減に有効な交換結合型裏打ち層を備える垂直磁気記録媒体を提供することを目的とする。
本発明の一態様に係る垂直磁気記録媒体は、非磁性基板上に少なくとも裏打ち層と、垂直磁気記録層とを備え、前記裏打ち層が次式、(Fex−Co(1-x))k−(Siy−Ge(1-y))l−Bm−Cnの組成の軟磁性膜から構成されていることを特徴とする。但し、x、y、k、l、m、nは原子分率であり、x≧0.7、y≧0.5、0.74≦k≦0.80、0.05≦l≦0.20、0.05≦m≦0.21、n≦0.1、k+l+m+n=1である。
本発明の他の態様に係る垂直磁気記録媒体は、非磁性基板上に下地膜と、交換結合型裏打ち層と、非磁性層と、垂直磁気記録層とを備え、前記交換結合型裏打ち層が、次式、(Fex−Co(1-x))k−(Siy−Ge(1-y))l−Bm−Cnの組成の軟磁性膜を備えることを特徴とする。但し、x、y、k、l、m、nは原子分率であり、x≧0.7、y≧0.5、0.74≦k≦0.80、0.05≦l≦0.20、0.05≦m≦0.21、n≦0.1、k+l+m+n=1である。
本発明に係る垂直磁気記録媒体は、さらに、前記交換結合型裏打ち層が、反強磁性Mn−Ir合金膜と、前記の式で表わされる組成の軟磁性膜とを備えることを特徴とする。
本発明に係る垂直磁気記録媒体は、さらに、前記交換結合型裏打ち層が、反強磁性Mn−Ir合金膜と、Co−Fe合金膜と、前記の式で表わされる組成の軟磁性膜とを備えることを特徴とする。
本発明に係る垂直磁気記録媒体は、さらに、前記垂直磁気記録層が、L10形規則合金薄膜であることを特徴とする。
本発明に係る垂直磁気記録媒体は、さらに、前記L10形規則合金薄膜が、FePt規則合金、CoPt規則合金及びFePd規則合金、並びにこれらの合金からなる群から選択されることを特徴とする。
本発明のアモルファス軟磁性膜は、優れた磁気特性と熱安定性を有していることから、高温成膜が必要となる、例えばL10形規則合金薄膜を記録層とする垂直磁気記録媒体の裏打ち層として適用が可能である。また、優れた表面平坦性を有していることから、磁気スペーシングを低減でき、高密度記録に有望な垂直磁気記録媒体を提供できる。さらに、本発明のアモルファス軟磁性膜を用いる交換結合型裏打ち層は、良好な交換結合磁界を発現でき、垂直磁気記録媒体のスパイクノイズの低減にも有効となる。
以下、本発明の実施の形態を図面に従って説明する。なお、本発明は以下の実施形態に限定されるわけではない。
図1に、本発明の一態様に係る垂直磁気記録媒体の構造を示す。非磁性基板1の上に裏打ち層(軟磁性膜)5と非磁性層7と垂直磁気記録層8が順次積層された層構造である。ここで、裏打ち層を構成する軟磁性膜5は、下記(式1)の組成を有する。
(Fex−Co(1-x))k−(Siy−Ge(1-y))l−Bm−Cn (式1)
但し、x、y、k、l、m、nは原子分率であり、x≧0.7、y≧0.5、0.74≦k≦0.80、0.05≦l≦0.20、0.05≦m≦0.21、n≦0.1、k+l+m+n=1である。
但し、x、y、k、l、m、nは原子分率であり、x≧0.7、y≧0.5、0.74≦k≦0.80、0.05≦l≦0.20、0.05≦m≦0.21、n≦0.1、k+l+m+n=1である。
図2に、本発明の他の態様に係る垂直磁気記録媒体の構造を示す。非磁性基板1の上に下地膜2と交換結合型裏打ち層6と非磁性層7と垂直磁気記録層8が順次積層された層構造である。ここで、前記交換結合型裏打ち層は、(式1)の組成の軟磁性膜を備える。
交換結合型裏打ち層6は、反強磁性膜と(式1)の組成の軟磁性膜との積層構造、硬質磁性膜と(式1)の組成の軟磁性膜との積層構造、または(式1)の組成の軟磁性膜と非磁性膜と該軟磁性膜との積層構造を用いることができる。
図3に、本発明の他の態様に係る垂直磁気記録媒体の構造を示す。非磁性基板1の上に下地膜2と反強磁性Mn−Ir合金膜3と(式1)の組成の軟磁性膜5と非磁性層7と垂直磁気記録層8が順次積層された層構造である。
図4に、本発明の他の態様に係る垂直磁気記録媒体の構造を示す。非磁性基板1の上に下地膜2と反強磁性Mn−Ir合金膜3とCo−Fe合金膜4と(式1)の組成の軟磁性膜5と非磁性膜7と垂直磁気記録層8が順次積層された層構造である。
(式1)の組成の軟磁性膜5は、各元素の組成のうち、本発明の目的とする、優れた磁気特性と膜表面平坦性と熱安定性の実現のためには、kの値の範囲が特に重要となる。すなわち、kの値を大きくするに伴い、飽和磁束密度は増加するが、一方、熱安定性は低下しそれに伴い膜表面平坦性を損ねる。従って、(式1)の組成範囲において、kを上記範囲にすることにより、従来用いられているCo基アモルファス材料の飽和磁束密度1.2Tより大きな飽和磁束密度、すなわち1.3Tから1.6Tの飽和磁束密度が達成でき、さらに350℃以上の熱処理においてもアモルファス状態に維持でき、1Oe以下の低い抗磁力と優れた膜表面平坦性を得ることが出来る。
前記kの値の範囲で、より大きな飽和磁束密度を得るためには、xの値を0.7以上にすることが好ましい。また、yの値を小さくすると熱安定性が低下する傾向が見られることから、yの値は0.5以上が好ましい。一方、C元素の添加は、抗磁力の熱処理温度による変化を小さくする傾向が見られ媒体作製上望ましいが、添加量nの増加は飽和磁束密度を小さくすることから、nの値は0.1以下にすることが好ましい。
なお、(式1)の組成の軟磁性膜5の製造方法は、スパッタ成膜法を用いるとアモルファス相が形成し易くなり好ましい。
次に、図面に示された他の構成部材について説明する。
非磁性基板1は、基板の種類には特に制約はなく、磁気記録媒体に用いられるガラス基板および多結晶基板を用いることができる。
下地膜2は、例えば、Mn−Ir合金と同じ結晶構造である面心立方格子のパーマロイ合金膜、Cu膜、Pd膜等を用いると大きな交換結合磁界を得ることができ好ましい。さらに、必要に応じて、これらの膜のさらに下地にTa膜、MgO膜を用いることも可能である。また、下地膜2の膜厚は、特に制約はないが、約5nm以上20nm以下で表面平坦性に優れる交換結合膜を得ることができる。
パーマロイ(Ni−Fe)合金とは、例えば「磁性体ハンドブック」(近角聡信、太田恵造、安達健吾、津屋昇、石川義和編集、(株)朝倉書店発行、第9刷、p. 1081-1090)に記載されているように、二元系Ni−Fe合金、およびCr,Cu,Mn,Mo,Nb,V,W等を添加した多元系Ni−Fe合金を指す。この時、合金膜組成については、結晶構造が面心立方格子となる組成範囲であることが好ましい。例えば、二元系Ni−Fe合金であれば、Ni元素の原子分率は70%〜90%が好ましい。また、多元系Ni−Fe合金においては、数%の添加元素を含有していてもよい。さらに、本発明においては、多元系Ni−Fe合金が強磁性を示す必要はなく、非磁性組成、例えば、(Ni−Fe)−Cr合金でCr元素を原子分率で20%以上添加した合金も用いることが出来る。以下においては、このようなNi−Fe合金をパーマロイ合金ということがある。
反強磁性Mn−Ir合金膜3の組成に関しては、Mn元素が原子分率で50%未満または80%を超えると交換結合磁界が低下することが一般的に知られていることから、Mn元素の原子分率は50%から80%の範囲が好ましい。また、反強磁性Mn−Ir合金膜3の膜厚は、特に制約はないが、約5nm以上20nm以下の膜厚において大きな交換結合磁界が得られ、かつ膜表面平坦性に優れる交換結合膜を得ることができることからこの範囲が好ましい。
Co−Fe合金膜4の組成に関しては、Co元素の原子分率が50%から80%の範囲で特に大きな交換結合磁界が得られることから、この範囲が特に好ましい。また、Co−Fe合金膜4の膜厚は、約1nm以上でその効果が見られる。しかしながら、10nm以上になると交換結合膜の抗磁力が大きくなる傾向にある。従って、膜厚は1nmから10nm、特に好ましい範囲は3nmから約8nmである。
非磁性層7は、垂直磁気記録層の垂直磁気異方性を高める層を設けることが好ましく、例えば、L10形規則合金薄膜であればMgO膜、Co−Cr−Pt系膜であれば、Ti膜、Pt膜、Ru膜等を用いることができる。
垂直磁気記録層8としては、L10形規則合金薄膜、Co−Cr−Pt合金膜、Co−Cr−Pt合金に酸化物を添加した膜、さらにCo/Pd人工格子膜を用いることができ、特に、高温成膜を必要とするFePt規則合金、CoPt規則合金及びFePd規則合金、並びにこれらの合金から選ばれるL10形規則合金薄膜を用いることができる。
(実施例)
以下、本発明の実施例について説明する。なお、本発明は以下の実施例に限定されるわけではない。
以下、本発明の実施例について説明する。なお、本発明は以下の実施例に限定されるわけではない。
以下の各実施例において作製した垂直磁気記録媒体については、次の4つの方法で評価を行っている。
(1)垂直磁気記録層の磁気特性は、記録媒体の膜面法線方向に最大13kOeの磁界を印加することにより、極カー効果を用いてヒステリシスループを測定し、垂直抗磁力および角型比を求めた。なお、角型比は、残留磁化状態におけるカー回転角と最大印加磁界におけるカー回転角の比とする。
(2)裏打ち層の磁気特性は、記録媒体の膜面方向に最大200Oeの磁界を印加することにより、軟磁性用振動試料型磁力計を用いてヒステリシスループを測定し、抗磁力と飽和磁束密度を求めた。なお、抗磁力は、磁化容易軸方向の値を評価した。また、交換結合膜型裏打ち層の交換結合磁界は、ヒステリシスループのシフト量とした。
(3)結晶構造の評価は、Cu−Kα線を用いたX線回折により行った。
(4)表面粗さの評価は、原子間力顕微鏡を用いて表面形態を観測し、その平均粗さRaを求めて行った。このRaは、測定試料の基準面に対する表面の凹凸の平均値である。なお、以下の実施例で用いたハードディスク用ガラスディスク基板のRaの値は、0.32nmから0.45nmの範囲の値である。
(実施例1)
図1に示す垂直磁気記録媒体を以下のように作製した。
ハードディスク用ガラスディスク基板1上に、裏打ち層5として膜厚100nmのFe0.74Si0.088B0.132C0.04膜(すなわち、本発明の(式1)において、x=1、y=1、k=0.74、l=0.088、m=0.132、n=0.04)をDCマグネトロンスパッタ法により作製し、次に、非磁性層7として膜厚10nmのMgO膜をRFマグネトロンスパッタ法により作製し、さらに、記録層8として膜厚7.5nmのFePt規則合金膜をRFスパッタ法で作製した。この時、裏打ち層6と非磁性層7は基板温度50℃で作製し、記録層8は基板温度375℃で作製した。また、スパッタ成膜にはArガスを用い、スパッタガス圧及びターゲット基板間距離はそれぞれ、裏打ち層では0.07Paと50mm、MgO膜では0.2Paと50mm、FePt膜では50Paと95mmとした。
図1に示す垂直磁気記録媒体を以下のように作製した。
ハードディスク用ガラスディスク基板1上に、裏打ち層5として膜厚100nmのFe0.74Si0.088B0.132C0.04膜(すなわち、本発明の(式1)において、x=1、y=1、k=0.74、l=0.088、m=0.132、n=0.04)をDCマグネトロンスパッタ法により作製し、次に、非磁性層7として膜厚10nmのMgO膜をRFマグネトロンスパッタ法により作製し、さらに、記録層8として膜厚7.5nmのFePt規則合金膜をRFスパッタ法で作製した。この時、裏打ち層6と非磁性層7は基板温度50℃で作製し、記録層8は基板温度375℃で作製した。また、スパッタ成膜にはArガスを用い、スパッタガス圧及びターゲット基板間距離はそれぞれ、裏打ち層では0.07Paと50mm、MgO膜では0.2Paと50mm、FePt膜では50Paと95mmとした。
極カー効果を用いたFePt規則合金膜の磁気特性を測定した結果、垂直抗磁力5.1kOe、角型比1が得られ、垂直磁気記録媒体における記録層として優れた磁気特性であることがわかった。さらに、媒体の表面の平均粗さRaは0.43nmであり、用いた基板と同等で表面性に優れていることがわかった。
次に、実施例1で作製した垂直磁気記録媒体における裏打ち層の特性を評価するため、以下の試料を作製した。すなわち、ハードディスク用ガラスディスク基板上に、実施例1と同じ条件で裏打ち層のみを作製し、その後、真空度2×10-5Pa〜3×10-5Paにおいて、基板温度を実施例1の記録層成膜温度と同じ375℃にして、1時間の加熱試験を行った。
この裏打ち層の磁気特性および膜表面の平均粗さを評価した結果を表1に示す(裏打ち層1)。飽和磁束密度が1.37Tであり、抗磁力が0.44Oeであることから、裏打ち層として、優れた特性であることがわかる。また、膜表面の平均粗さRaは0.36nmであり、良好な表面性を有している。X線回折測定では、回折線は観測されなかったことから、アモルファス相であることがわかった。すなわち、375℃の加熱試験においても、裏打ち層として要求される優れた軟磁気特性と表面平坦性と熱安定性を有していることがわかった。
さらに、裏打ち層の組成を変えて試料を作製した。組成以外の条件はすべて同じである。作製した(Fex−Co(1-x))k−(Siy−Ge(1-y))l−Bm−Cn膜の組成を表1に示す。
作製した裏打ち膜の磁気特性および膜表面の平均粗さを評価した結果を同じく表1に示す(裏打ち層2〜7)。本発明の組成の範囲においては、飽和磁束密度は1.3T以上、さらに抗磁力は1Oe以下の優れた値が得られた。また、膜表面の平均粗さは0.45nm以下である。X線回折測定では、回折線は観測されなかったことから、アモルファス相であることがわかった。従って、本発明の範囲の組成においては、375℃の加熱試験においても、裏打ち層として要求される、優れた軟磁気特性と表面平坦性と熱安定性を有する軟磁性裏打ち層が得られることから、高い成膜温度が必要な、例えばFePt規則合金膜を記録層として用いても優れた二層膜磁気記録媒体を得ることができる。さらに、磁気スペーシングの低減に有利な表面性であることから、高密度記録に適する二層膜磁気記録媒体を提供できる。
(実施例2)
図3に示す垂直磁気記録媒体を以下のように作製した。
図3に示す垂直磁気記録媒体を以下のように作製した。
ハードディスク用ガラスディスク基板1上に、第一の下地膜として膜厚20nmのTa膜を作製し第二の下地膜として膜厚5nmのパーマロイ合金膜を作製し、次に、膜厚10nmの反強磁性Mn−Ir合金膜3を作製し、さらに、裏打ち層5として膜厚50nmのFe0.74Si0.088B0.132C0.04膜(すなわち、本発明の(式1)において、x=1、y=1、k=0.74、l=0.088、m=0.132、n=0.04)を作製し、その後、非磁性層7として膜厚10nmのMgO膜を作製し、最後に、記録層8として膜厚7.5nmのFePt規則合金膜を作製した。なお、FePt膜は基板温度375℃で作製し、他の膜は50℃で作製した。また、スパッタ成膜にはArガスを用い、スパッタガス圧は、Ta膜では0.4Pa、パーマロイ膜とMgO膜では0.2Pa、Mn−Ir膜では0.5Pa、裏打ち層では0.07Pa、FePt膜では50Paである。ターゲット基板間距離はMn−Ir膜とFePt膜で95mm、その他の膜は50mmである。また、パーマロイ合金膜の作製は原子分率でNi0.81Fe0.16Nb0.03合金のスパッタターゲットを、Mn−Ir合金膜の作製にはMn0.8Ir0.2合金のスパッタターゲットを用いた。
実施例2で作製した垂直磁気記録媒体に対して、極カー効果を用いたFePt規則合金膜の磁気特性を測定した結果、垂直抗磁力5.3kOe、角型比1が得られ、垂直磁気記録媒体における記録層として優れた磁気特性であることがわかった。さらに、媒体の表面の平均粗さRaは0.42nmであり、用いた基板と同等で表面性に優れていることがわかった。
次に、実施例2で作製した垂直磁気記録媒体における交換結合型裏打ち層の磁気特性を評価するため、以下の試料を作製した。すなわち、ハードディスク用ガラスディスク基板上に、実施例2と同じ条件で第一の下地膜、第二の下地膜、反強磁性膜、さらに軟磁性膜を作製し、その後、真空度2×10-5Pa〜3×10-5Paにおいて、基板温度を実施例2の記録層成膜温度と同じ375℃にして、1時間の加熱試験を行った。
この交換結合型裏打ち層の磁気特性を評価した結果を表2に示す(交換結合型裏打ち層1)。この交換結合型裏打ち層の交換結合磁界は19Oeであり、すなわち、軟磁性層の磁化ベクトルが固定されていることを示す。従って、高い成膜温度が必要な記録層を用いた二層膜磁気記録媒体で、スパイクノイズを低減する交換結合型裏打ち層を提供できる。
さらに、交換結合型裏打ち層の下地層を変えて試料を作製した。他の膜および作製条件は同じである。用いた下地層材料とその膜厚を表2に示す(交換結合型裏打ち層2〜6)。
作製した交換結合型裏打ち層の磁気特性を評価した結果を同じく表2に示す。表に示す下地層を用いた交換結合膜で交換結合磁界が得られていることから、このような下地膜を本発明の記録媒体で用いることが出来る。
以上、実施例2の交換結合型裏打ち層は、交換結合により裏打ち層の磁化ベクトルが固定されていることが示されている。従って、スパイクノイズの原因となる裏打ち層の磁壁の発生およびその動きを抑制でき、しかも、高い成膜温度が必要な、例えばFePt規則合金膜を記録層とする二層膜磁気記録媒体に適用でき、実用的な記録媒体を提供できる。
(実施例3)
図4に示す垂直磁気記録媒体を以下のように作製した。
実施例2における反強磁性Mn−Ir合金膜3と軟磁性Fe0.74Si0.088B0.132C0.04膜5の間に膜厚5nmのCo0.7Fe0.3合金膜4を設けることにより、本実施例の垂直磁気記録媒体を作製した。この時、Co0.7Fe0.3合金膜は基板温度50℃、スパッタガス圧0.2Paの条件で成膜し、他の膜および作製条件については実施例2と同じとした。
図4に示す垂直磁気記録媒体を以下のように作製した。
実施例2における反強磁性Mn−Ir合金膜3と軟磁性Fe0.74Si0.088B0.132C0.04膜5の間に膜厚5nmのCo0.7Fe0.3合金膜4を設けることにより、本実施例の垂直磁気記録媒体を作製した。この時、Co0.7Fe0.3合金膜は基板温度50℃、スパッタガス圧0.2Paの条件で成膜し、他の膜および作製条件については実施例2と同じとした。
本実施例における交換結合型裏打ち層の磁気特性を評価した結果、84Oeの交換結合磁界が得られた。この値は、極めて大きな値であることから、高い成膜温度が必要な記録層を用いた二層膜磁気記録媒体で、スパイクノイズを低減するのに有効な交換結合型裏打ち層となる。
以上、好適な実施形態例と具体的な複数の実施例に従って本発明を説明したが、本発明はこれらにより限定されるものではなく、例えば、成膜される層の膜厚、下地膜の種類および非磁性層の種類などは、本発明の交換結合膜の層構造が実質的に等価である限り適宜変更、組み合わせができる。そのほかにも本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変形実施が可能である。
1:非磁性基板、2:下地膜、3:反強磁性Mn−Ir合金膜、4:Co−Fe合金膜、5:裏打ち層(軟磁性膜)、6:交換結合型裏打ち層、7:非磁性層、8:垂直磁気記録層
Claims (6)
- 非磁性基板上に、少なくとも裏打ち層と、垂直磁気記録層とを備える垂直磁気記録媒体において、前記裏打ち層が下記(式1)の組成の軟磁性膜から構成されていることを特徴とする垂直磁気記録媒体。
(Fex−Co(1-x))k−(Siy−Ge(1-y))l−Bm−Cn (式1)
但し、x、y、k、l、m、nは原子分率であり、以下の条件を満たす。
x≧0.7;y≧0.5;0.74≦k≦0.80;0.05≦l≦0.20;0.05≦m≦0.21;n≦0.1;k+l+m+n=1 - 非磁性基板上に、下地膜と、交換結合型裏打ち層と、非磁性層と、垂直磁気記録層とを備えた垂直磁気記録媒体において、前記交換結合型裏打ち層が、下記(式1)の組成の軟磁性膜を備えることを特徴とする垂直磁気記録媒体。
(Fex−Co(1-x))k−(Siy−Ge(1-y))l−Bm−Cn (式1)
但し、x、y、k、l、m、nは原子分率であり、以下の条件を満たす。
x≧0.7;y≧0.5;0.74≦k≦0.80;0.05≦l≦0.20;0.05≦m≦0.21;n≦0.1;k+l+m+n=1 - 前記交換結合型裏打ち層が、反強磁性Mn−Ir合金膜と、前記(式1)の組成の軟磁性膜とを備えることを特徴とする請求項2に記載の垂直磁気記録媒体。
- 前記交換結合型裏打ち層が、反強磁性Mn−Ir合金膜と、Co−Fe合金膜と、前記(式1)の組成の軟磁性膜とを備えることを特徴とする請求項2に記載の垂直磁気記録媒体。
- 前記垂直磁気記録層が、L10形規則合金薄膜であることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載の垂直磁気記録媒体。
- 前記L10形規則合金薄膜が、FePt規則合金、CoPt規則合金及びFePd規則合金、並びにこれらの合金からなる群から選択されることを特徴とする請求項5に記載の垂直磁気記録媒体。
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JP2009151891A (ja) * | 2007-12-21 | 2009-07-09 | Ulvac Japan Ltd | 磁気デバイスの製造方法 |
JP2012094202A (ja) * | 2010-10-25 | 2012-05-17 | Fuji Electric Co Ltd | 垂直磁気記録媒体の製造方法 |
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