JP2013045990A - 保磁力に優れた鉄−白金系磁性合金の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明では、鉄-白金系磁性合金の製造する際、熱処理を行う前に、鉄-白金系合金にNイオンビームを照射して窒素原子を直接注入する工程を採用したことにより、従来の反応性スパッタ法よりも窒素元素の添加量を大幅に増やすことが可能となる。
【選択図】 図1
Description
本発明の実施例1について、以下に説明する。まずこの実施例1では、電子ビーム加熱蒸着装置を用いてFe/Pt多層膜の成膜を行った。なお、成膜基板には、表面が酸化被膜(厚さ:120nm)で覆われたシリコンウェハ(厚さ:0.5mm)を使用し、成膜時の装置内の真空度は1×10-4Paに設定した。
次に、本発明の実施例2について、以下に説明する。この実施例2では、上記実施例1と同じ方法・条件でFe/Pt多層膜の成膜、及び窒素原子の注入を行う一方、Fe/Pt多層膜の熱処理については、高真空中での熱処理だけでなく水素雰囲気下での熱処理も組み合わせて行った。
次に、本発明の保磁力増大効果を実証するために行った実証試験について説明する。この実証試験では、実施例1の方法で作製したFePt薄膜合金(試料A〜G,比較試料S)と、実施例2の方法で作製したFePt薄膜合金(試料A’〜G’,比較試料S’)についてそれぞれ保磁力を測定した。
次に、本発明の作用・効果を裏付けるために行った検証試験(I)について説明する。この検証試験(I)では、窒素の注入量が1.6×1017atoms/cm2及び3.2×1017atoms/cm2の2種類のFePt薄膜について、窒素注入前、熱処理前、熱処理後の各段階で6.0MeVの4He2+イオンビームを照射して後方散乱スペクトルの測定を行った。
次に、本発明の作用・効果を裏付けるために行った検証試験(II)について説明する。この検証試験(II)では、窒素元素の注入量および熱処理の条件の異なる5つの試料についてX線回折装置(Rigaku,RINT2500)を用いて、X線回折パターンの測定を行った。なお、測定は入射X線をCu Kα(l=1.54 A)とし、q-2q法により行った。
Claims (5)
- 鉄-白金系合金にNイオンビームを照射して合金中に窒素原子を注入した後、合金の熱処理を行うことを特徴とする保磁力に優れた鉄-白金系磁性合金の製造方法。
- Nイオンビーム照射によって鉄-白金系合金に窒素原子を20at.%以上添加することを特徴とする請求項1記載の保磁力に優れた鉄-白金系磁性合金の製造方法。
- 鉄-白金系合金の熱処理を水素雰囲気中で行うことを特徴とする請求項1または2に記載の保磁力に優れた鉄-白金系磁性合金の製造方法。
- 鉄-白金系合金の熱処理を1.0×10-3Pa以下の高真空中でも行うことを特徴とする請求項3記載の保磁力に優れた鉄-白金系磁性合金の製造方法。
- Nイオンビームを照射する鉄-白金系合金が、Fe層とPt層を交互に積層したFe/Pt多層薄膜であることを特徴とする請求項1〜4の何れか一つに記載の保磁力に優れた鉄-白金系磁性合金の製造方法。
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